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公开(公告)号：CN103895283A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201210575085.7
申请日：2012-12-26
申请人： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
摘要： 本发明公开了一种纳米多层结构的VC/Ni增韧涂层，由VC层和Ni层交替沉积而成，相邻的一层VC层和一层Ni层构成一个双层周期层，每个双层周期层的厚度为1～88nm，每个双层周期层中VC层与Ni层的厚度比为1.0～3.0：1，总厚度为1～5μm。本发明还公开了一种纳米多层结构VC/Ni增韧涂层的制备方法，其方法为：将VC靶和Ni靶分别安装在中频阴极上，靶面垂直于旋转工作台，采用磁控溅射方法，对基体进行沉积。本发明纳米多层结构的VC/Ni增韧涂层在保证涂层硬度的同时提高了涂层的韧性，可以满足防护涂层及耐磨涂层硬度和韧性的要求，降低了涂层的磨损率，其制备方法可操作性强、可控性好、易于工业化生产。
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公开(公告)号：CN103895283B
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201210575085.7
申请日：2012-12-26
申请人： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
摘要： 本发明公开了一种纳米多层结构的VC/Ni增韧涂层，由VC层和Ni层交替沉积而成，相邻的一层VC层和一层Ni层构成一个双层周期层，每个双层周期层的厚度为1～88nm，每个双层周期层中VC层与Ni层的厚度比为1.0～3.0：1，总厚度为1～5μm。本发明还公开了一种纳米多层结构VC/Ni增韧涂层的制备方法，其方法为：将VC靶和Ni靶分别安装在中频阴极上，靶面垂直于旋转工作台，采用磁控溅射方法，对基体进行沉积。本发明纳米多层结构的VC/Ni增韧涂层在保证涂层硬度的同时提高了涂层的韧性，可以满足防护涂层及耐磨涂层硬度和韧性的要求，降低了涂层的磨损率，其制备方法可操作性强、可控性好、易于工业化生产。
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公开(公告)号：CN103898446B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201210576514.2
申请日：2012-12-26
申请人： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
摘要： 本发明公开了一种陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层，以重量百分比计，组成元素为：39.6~69.8%的V、15.1~23.0%的C和7.2~45.3%的Ni，属于陶瓷涂层领域。本发明还公开了一种陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层的制备方法，其方法为：将VC靶安装在中频阴极上，Ni靶安装在直流阴极上，采用磁控溅射方法，对基体溅射沉积陶瓷/金属纳米复合VC-Ni韧性涂层，利用此种方法制备的陶瓷/金属纳米复合VC-Ni韧性涂层在保证涂层硬度的同时提高了涂层的韧性，硬度达到15GPa以上，降低了涂层的磨损率，其制备方法可操作性强、可控性好、易于工业化生产。
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公开(公告)号：CN103898446A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201210576514.2
申请日：2012-12-26
申请人： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
摘要： 本发明公开了一种陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层，以重量百分比计，组成元素为：39.6~69.8%的V、15.1~23.0%的C和7.2~45.3%的Ni，属于陶瓷涂层领域。本发明还公开了一种陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层的制备方法，其方法为：将VC靶安装在中频阴极上，Ni靶安装在直流阴极上，采用磁控溅射方法，对基体溅射沉积陶瓷/金属纳米复合VC-Ni韧性涂层，利用此种方法制备的陶瓷/金属纳米复合VC-Ni韧性涂层在保证涂层硬度的同时提高了涂层的韧性，硬度达到15GPa以上，降低了涂层的磨损率，其制备方法可操作性强、可控性好、易于工业化生产。
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