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公开(公告)号：CN113884707B
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202010633561.0
申请日：2020-07-02
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要： 本发明公开了一种加热架互联组件，包括小样品托、两个电极片以及固定件，小样品托为绝缘体，其上表面用于承载样品；两个电极片相互间隔设置，每个电极片的第一端由至少一个固定件固定在小样品托上且接触样品，每个电极片的第二端伸出小样品托外，以在小样品托安装到样品托上后接触样品托上的不同的电极。本发明还公开了具有加热架互联组件的转移真空样品托。本发明可利用加热架互联组件的小样品托承载样品，并在小样品托安装到样品托上后，利用其电极片与各种样品托上对应的电极的电极接触块接触而导通，从而对小样品托上的样品进行加热，可以兼容超低温扫描隧道显微镜和四探针扫描隧道显微镜，实现两种样品的互联实验及直流加热的互联。
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公开(公告)号：CN108068103B
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN201610999920.8
申请日：2016-11-14
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 , 上海磐颖实业有限公司
摘要： 本发明揭示一种全机械驱动并带防意外开启机构的机械手，包括一个机械手框架，至少两个铰接在机械手框架上可以自由转动的机械手手指，一个自由端朝向机械手开口方向、另一个端用连杆与机械手手指分别相铰接的开启推杆，一个跨装在机械手指及机械手框架上的手指锁和至少两个机械手手指锁死机构。该机械手不含电动或气动伺服机构，用简单机械外力推动手指锁来实现机械手的抓取、放下、防意外开启锁死的动作。该全机械驱动机械手克服了因电动或气动伺服系统的体积、线圈的挥发性、耐高性而无法满足真空、高洁净、高温、狭小空间环境对机械手的使用要求。
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公开(公告)号：CN112505335B
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN201910871823.4
申请日：2019-09-16
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC分类号： G01N35/00
摘要： 本发明公开了一种超高真空样品转移设备及转移方法，属于材料测试技术领域。该转移设备包括转移主体和辅助装置，转移主体包括用于放置样品的进样室和真空装置，进样室两端分别安装有第一阀门和第二阀门；辅助装置包括波纹管、传样装置和冷却装置，波纹管的一端与传样装置连通，另一端与进样室通过第一阀门连通或断开，传样装置能够抓取进样室内的样品并送至目标腔室内，冷却装置能够同时与进样室通过第二阀门连通或断开，与目标腔室连通，与移动泵组通过第三阀门连通，冷却装置设置有注液口和放空口。转移主体与冷却装置可分开运输，冷却装置内部流通液氮，可降至液氮温度，水汽吸附在内壁上，传递过程中样品不受污染。
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公开(公告)号：CN110646503B
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN201910937227.1
申请日：2019-09-29
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC分类号： G01N27/82
摘要： 本发明公开了一种二能级缺陷空间分布的测量方法及测量装置，该二能级缺陷空间分布的测量方法包括：对超导量子比特施加偏置磁场，并获取所述超导量子比特的频率‑偏置磁通的关系曲线；通过二能级缺陷空间分布的测量装置的扫描探针输出的局域扫描电场对超导量子比特表面逐点扫描；若所述超导量子比特的频率随着时间的变换存在震荡变化，则所述扫描探针所处扫描点存在二能级缺陷。本实施例提供一种二能级缺陷空间分布的测量方法及测量装置，以表征超导量子芯片中的二能级缺陷的空间分布情况。
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公开(公告)号：CN113106542B
公开(公告)日：2022-06-17
申请号：CN202110369810.4
申请日：2021-04-06
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要： 本发明公开了一种大面积铝单晶薄膜及其制备方法与应用。所述制备方法包括：将Si(111)衬底依次进行有机清洗、RCA1清洗、RCA2清洗、piranha溶液清洗及HF清洗，获得预处理后的Si(111)衬底；在真空条件下，将所述预处理后的Si(111)衬底置于分子束外延装置中表面处理，采用分子束外延技术在所述Si(111)衬底表面生长铝单晶薄膜，获得大面积铝单晶薄膜。本发明制备的Si(111)/Al单晶薄膜，与Si衬底传统工艺相比，实现了大面积Al单晶薄膜，没有孪晶，更可明显减少Si/Al界面C、H、O杂质含量，将谐振器本征品质因子提升到106，有助于制备高质量超导量子比特或超导量子计算机。
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公开(公告)号：CN113884707A
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN202010633561.0
申请日：2020-07-02
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要： 本发明公开了一种加热架互联组件，包括小样品托、两个电极片以及固定件，小样品托为绝缘体，其上表面用于承载样品；两个电极片相互间隔设置，每个电极片的第一端由至少一个固定件固定在小样品托上且接触样品，每个电极片的第二端伸出小样品托外，以在小样品托安装到样品托上后接触样品托上的不同的电极。本发明还公开了具有加热架互联组件的转移真空样品托。本发明可利用加热架互联组件的小样品托承载样品，并在小样品托安装到样品托上后，利用其电极片与各种样品托上对应的电极的电极接触块接触而导通，从而对小样品托上的样品进行加热，可以兼容超低温扫描隧道显微镜和四探针扫描隧道显微镜，实现两种样品的互联实验及直流加热的互联。
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公开(公告)号：CN112505335A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN201910871823.4
申请日：2019-09-16
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC分类号： G01N35/00
摘要： 本发明公开了一种超高真空样品转移设备及转移方法，属于材料测试技术领域。该转移设备包括转移主体和辅助装置，转移主体包括用于放置样品的进样室和真空装置，进样室两端分别安装有第一阀门和第二阀门；辅助装置包括波纹管、传样装置和冷却装置，波纹管的一端与传样装置连通，另一端与进样室通过第一阀门连通或断开，传样装置能够抓取进样室内的样品并送至目标腔室内，冷却装置能够同时与进样室通过第二阀门连通或断开，与目标腔室连通，与移动泵组通过第三阀门连通，冷却装置设置有注液口和放空口。转移主体与冷却装置可分开运输，冷却装置内部流通液氮，可降至液氮温度，水汽吸附在内壁上，传递过程中样品不受污染。
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公开(公告)号：CN109437093A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811257763.9
申请日：2018-10-26
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要： 本发明公开了一种自支撑微纳米结构的制作方法，包括：在衬底上形成牺牲层以及覆盖牺牲层的功能层；在功能层上预设图案化区域，在图案化区域内进行图案化处理，以在功能层中形成露出部分牺牲层的图案部；其中，部分牺牲层为图案化区域在牺牲层的投影范围内的牺牲层；将部分牺牲层去除，获得自支撑微纳米结构。本发明在制作自支撑微纳米结构时，可控性、重复性、成品率较高，能应用的微纳米材料种类较多，而且能够形成的自支撑微纳米结构更加复杂。
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公开(公告)号：CN108267609A
公开(公告)日：2018-07-10
申请号：CN201611268430.7
申请日：2016-12-31
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC分类号： G01N35/10
摘要： 本发明提供一种用于真空互联系统的样品运送架及真空装置，该样品运送架包括第一承托架和第二承托架，其中，第一承托架被设置为可在真空互联系统中的轨道上滑动；第二承托架设置于第一承托架之上，第二承托架顶部设有样品支撑平面及自样品支撑平面凹陷的第一凹槽，以使得样品叉可进入第一凹槽以顶起样品。本发明提供的用于真空互联系统的样品运送架及真空装置由于设有第二承托架，第二承托架上的第一凹槽可以使得样品叉进入第一凹槽从而顶起样品，实现在真空互联系统中机械传递，避免手动操作，提高样品表面的洁净度，并且能够节约时间成本。
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