-
公开(公告)号：CN117805114A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311871521.X
申请日：2023-12-29
申请人： 中国科学院西安光学精密机械研究所
摘要： 本发明公开了一种航空发动机叶片表面缺陷检测方法及系统，解决了了现有检测方法的检测效率低、可信度低且检测精度低的技术问题，具体包括：步骤1、获取相机参数；步骤2、搭建检测系统；步骤3、红外条纹图拍摄；步骤4、条纹中心坐标提取；步骤5、表面点云数据获取；步骤6、表面重建；步骤7、表面检测；本发明测量速度快，能够有效缩短整个测量周期。
-
公开(公告)号：CN117647204A
公开(公告)日：2024-03-05
申请号：CN202311627086.6
申请日：2023-11-30
申请人： 中国科学院西安光学精密机械研究所
摘要： 本发明公开了一种基于X射线干涉仪的多重倍频激光读数头测量装置及方法，以解决现有的多重倍频激光测量装置测量范围小、测量速度低、应用范围受限的问题。具体包括X射线干涉仪和多重倍频激光干涉仪；X射线干涉仪包括X射线光源、第一至第三透射光栅、第一光电探测器和第二光电探测器；X射线光源用于发射X射线；第一至第三透射光栅的光栅面及栅线方向一致，且依次沿X射线出射方向设置；第三透射光栅上安装待测基准镜；第一光电探测器和第二光电探测器设置于第三透射光栅远离第二透射光栅一侧的光路上；多重倍频激光干涉仪设置于待测基准镜远离X射线干涉仪一侧，以获取待测基准镜在Y向上的位置及其沿X向和Z向的位移。
-
公开(公告)号：CN117629588A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311567805.X
申请日：2023-11-22
申请人： 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 本发明涉及散射信号探测装置及方法，具体涉及一种光学元件近红外波段散射信号探测装置及方法，用于解决现有光学元件散射信号探测装置在近红外波段散射信号探测时，系统响应率直线下降，灵敏度急速降低，探测精度大幅下降，探测难度很大的不足之处。该光学元件近红外波段散射信号探测装置包括激光器、组合透镜组、斩波器、分光镜、第一探测组件和第二探测组件；由分光镜得到相同的光线I和光线II，第二探测组件用采集待测光学元件的散射光提取待测光学元件的散射特征，第一探测组件用于为第二探测组件提供实时参考信号，以提高检测结果的准确性。
-
公开(公告)号：CN117470092A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202311420264.8
申请日：2023-10-30
申请人： 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC分类号： G01B9/02 , G01B9/02055 , G01B11/02
摘要： 本发明公开了一种基于双平行平板镜的多点激光测量装置及方法，以解决现有激光测量装置测量精度不够高的问题。具体包括双频激光器、第一平行平板镜、第二平行平板镜、偏振分光棱镜、第一反射棱镜、第二反射棱镜以及光纤耦合器；双频激光器出射两束正交线偏振光；第一平行平板镜设置于两束正交线偏振光所在光路上；第二平行平板镜将分光后的两束光线再次分光形成四束光线，并分别入射至偏振分光棱镜；偏振分光棱镜包括四侧，其中第一侧与第三侧相对，第二侧与第四侧相对；第二平行平板镜设置于第一侧；第三侧用于设置待测镜；第一反射棱镜和第二反射棱镜分别设置于第四侧和第二侧；光纤耦合器设置于偏振分光棱镜的第一侧，实现多点测量。
-
公开(公告)号：CN117470089A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202311420260.X
申请日：2023-10-30
申请人： 中国科学院西安光学精密机械研究所
摘要： 本发明公开了一种多点激光干涉测量装置，以解决现有干涉测量装置的测量精准度较低，无法实现高精准定位的技术问题。具体包括双频激光器、能量分束镜、偏振分光棱镜以及光纤耦合器等；双频激光器发射具有频差的正交线偏振光；能量分束镜设置在正交线偏振光所在光路上；偏振分光棱镜设置在分束后的光束所在光路上；偏振分光棱镜包括四侧，其中第一侧和第三侧相对，第二侧和第四侧相对；能量分束镜位于偏振分光棱镜的第一侧；第一波片位于偏振分光棱镜第三侧和待测镜之间，能够接收偏振分光棱镜直接透射的光束；第一直角棱镜和第二直角棱镜分别位于偏振分光棱镜第二侧和第四侧；光纤耦合器位于偏振分光棱镜的第一侧，用于接收最终的出射光。
-
公开(公告)号：CN118640791A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202410778728.0
申请日：2024-06-17
申请人： 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC分类号： G01B11/00
摘要： 本发明公开了一种机械臂自动化在线监测定位装置及方法，解决了现有的自动化机械臂监测定位方法的没有考虑机械臂整体运行过程中的误差累积效应，导致其监测定位精度低的问题。本发明采用三个不同角度的测量光栅和测量读数头，实现对待监测机械臂在空间位置运行过程进行精准反馈测量，并通过振动传感器和衍射光栅定位进行空间坐标系建立，以此获取更高的监测精度，来反演出待监测机械臂的实时运行轨迹信息和定位位置信息。
-
公开(公告)号：CN117782530A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311702610.1
申请日：2023-12-12
申请人： 中国科学院西安光学精密机械研究所
摘要： 本发明涉及一种系统的位姿标定方法，为解决现有标定方法存在的成本高、步骤繁琐和计算量大的问题，而提供一种条纹反射测量系统中各组件的位姿标定方法。本发明包括以下步骤：1)准备激光跟踪仪、相机、显示器、棋盘格靶标板、待测镜、型材架、光学平台、激光靶球和L型工装；2)安装激光跟踪仪至预设位置并调节，安装相机和显示器，将棋盘格靶标板和待测镜安装至光学平台上的预设位置，将激光靶球和L型工装放置在棋盘格靶标板的预设位置；3)建立世界坐标系、相机坐标系、显示器坐标系、镜面坐标系和棋盘格坐标系；4)计算出其他坐标系相对于世界坐标系的坐标变换矩阵，从而得到条纹反射测量系统中各组件的位姿关系。
-
公开(公告)号：CN117629102A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311558924.9
申请日：2023-11-21
申请人： 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 本发明涉及表面特性测量装置及方法，具体涉及一种超光滑表面光学元件的表面特性测量装置及方法，用于解决通过扫描探针式轮廓仪检测超光滑表面光学元件的表面特性，由于需要接触待测光学元件表面，因此存在极易对待测光学元件造成二次损伤，适用范围受到待测光学元件的材质限制，以及检测过程复杂，需要专业的技术人员进行操作，检测及维护成本较高的不足之处。该超光滑表面光学元件的表面特性测量装置通过偏振分光棱镜、第一测量组件、第二测量组件实现了双光路测量，同步采集系统的参考信号，与探测信号进行计算，有效降低了测量装置的误差，提高了测量精度。本发明可以实现亚纳米级别的测量精度，适用于高精度表面特性测量。
-
公开(公告)号：CN117470093A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202311420265.2
申请日：2023-10-30
申请人： 中国科学院西安光学精密机械研究所
摘要： 本发明公开了一种双重入射Littrow式光栅干涉仪及其测量方法，以解决现有的光栅干涉仪精度低且稳定性不足的技术问题。具体包括双频激光器、第一平行平板镜、第二平行平板镜等；双频激光器出射两束具有固定频差的正交线偏振光；第一平行平板镜设置在正交线偏振光所在光路上；第二平行平板镜位于第一光束和第二光束所在光路上，将第二束光分为两束参考光；偏振分光棱镜包括四侧，其中第一侧与第三侧相对，第二侧与第四侧相对，且第一侧与第二平行平板镜对应；第三侧出射的光线所在光路上用于设置待测光栅；第一反射棱镜和第二反射棱镜分别设置于第四侧和第二侧出射光线所在的光路上；第一光纤耦合器和第二光纤耦合器均设置于偏振分光棱镜的第一侧。
-
公开(公告)号：CN117470090A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202311420261.4
申请日：2023-10-30
申请人： 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/02 , G01B9/02055
摘要： 本发明公开了一种高精度激光干涉仪及其测量方法，以解决现有的激光干涉仪测量精度较低，导致其测量结果不可靠的技术问题。具体包括双频激光器、偏振分光棱镜、参考镜、第一反射棱镜、第二反射棱镜及光纤耦合器；偏振分光棱镜包括四侧，其中第一侧与第三侧相对，第二侧与第四侧相对；偏振分光棱镜的第二侧；参考镜设置于偏振分光棱镜第二侧出射光束所在的光路上；第一反射棱镜设置于偏振分光棱镜第四侧出射光束所在的光路上；双频激光器、第二反射棱镜和光纤耦合器均位于偏振分光棱镜的第一侧；第二反射棱镜能够接收经第一反射棱镜改变光束路径后从偏振分光棱镜出射的光束；光纤耦合器用于接收最终经偏振分光棱镜出射的光束。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
15 条记录 (耗时 0.039 秒)