一种六自由度调姿平台
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114123851A

    公开(公告)日:2022-03-01

    申请号:CN202111464682.8

    申请日:2021-12-03

    Abstract: 本发明涉及高精度定位设备技术领域,公开一种六自由度调姿平台。其中六自由度调姿平台包括载物板和三组调节单元。三组调节单元环设于载物板的底部,且三组调节单元分别连接于载物板的底部,使载物板底部形成三个支撑点;每组调节单元均包括沿竖直方向叠放安装的第一驱动组件、第二驱动组件和连接于支撑点的自适应高度调节组件,第一驱动组件被配置为驱动调节单元对应的支撑点沿径向移动,第二驱动组件被配置为驱动调节单元对应的支撑点沿切向移动,自适应高度调节组件被配置为调节单元对应的支撑点移动时的高度自适应调节。本发明实现了载物板能够六自由度姿态调节,以及提高了载物板沿六自由度方向的行程。

    一种位姿调节平台
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN114193407B

    公开(公告)日:2023-09-12

    申请号:CN202111480288.3

    申请日:2021-12-06

    Abstract: 本发明涉及六自由度平台技术领域,具体公开了一种位姿调节平台,该位姿调节平台中,载物台的一端设有至少六个第一安装件,载物台具有最高位置和最低位置;支撑件的数量与第一安装件的数量相同,且一一对应设置,支撑件一端和第一安装件活动连接;滑动件与支撑件一一对应设置,支撑件的另一端和滑动件活动连接;若干滑动件在初始位置和终点位置之间滑动,驱动载物台在最高位置和最低位置之间倾斜和/或升降和/或旋转;若干滑动件的滑动方向均平行于处于最低位置的载物台的承载面;驱动件用于驱动滑动件在初始位置和终点位置之间滑动。上述设置避免了导致位姿调节平台占用较大的高度空间,降低了总高度和重心,进而提高了位姿调节平台的稳定性。

    一种位姿调节平台
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114193407A

    公开(公告)日:2022-03-18

    申请号:CN202111480288.3

    申请日:2021-12-06

    Abstract: 本发明涉及六自由度平台技术领域,具体公开了一种位姿调节平台,该位姿调节平台中,载物台的一端设有至少六个第一安装件,载物台具有最高位置和最低位置;支撑件的数量与第一安装件的数量相同,且一一对应设置,支撑件一端和第一安装件活动连接;滑动件与支撑件一一对应设置,支撑件的另一端和滑动件活动连接;若干滑动件在初始位置和终点位置之间滑动,驱动载物台在最高位置和最低位置之间倾斜和/或升降和/或旋转;若干滑动件的滑动方向均平行于处于最低位置的载物台的承载面;驱动件用于驱动滑动件在初始位置和终点位置之间滑动。上述设置避免了导致位姿调节平台占用较大的高度空间,降低了总高度和重心,进而提高了位姿调节平台的稳定性。

    一种真空隔离阀
    10.
    实用新型

    公开(公告)号:CN217634151U

    公开(公告)日:2022-10-21

    申请号:CN202221341149.2

    申请日:2022-05-30

    Abstract: 本实用新型公开了一种真空隔离阀,所述的真空隔离阀包括隔离阀支撑框架、阀门支撑框架、阀门、弹簧机构和径向驱动机构,通过阀门隔离样品腔和散射腔,形成两个独立的空间,隔离阀支撑框架的下表面固定连接有导轨,导轨内部固定连接有真空电机。该真空隔离阀,阀门隔离样品腔和散射腔,形成两个独立的空间,阀门安装在样品腔内,当更换样品环境时,启动真空电机,真空电机带动螺纹杆进行转动,使滑块在导轨内部滑动,可带动阀门竖直向上移动,运动到顶部后阀门在径向驱动机构作用下转为径向运动,从样品腔内部运动至腔体密封面,并密封散射腔,保护散射腔的真空环境。

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