基于有机硅烷获得高Q值石英半球谐振子表面镀Au膜方法

    公开(公告)号:CN116970910A

    公开(公告)日:2023-10-31

    申请号:CN202310739487.4

    申请日:2023-06-21

    IPC分类号: C23C14/35 C23C14/18 C23C14/02

    摘要: 本发明属于谐振陀螺精密制造技术领域,解决石英半球谐振子表面低损耗镀Au膜的问题,本发明涉及一种基于有机硅烷获得高Q值石英半球谐振子表面镀Au膜方法,包括:将半球谐振子放在清洗工装上,依次采用丙酮、异丙醇、酒精和去离子水进行超声清洗,随后在烘箱中烘干待用,去除表面吸附水分子;采用食人鱼溶液对谐振子表面进行羟基化处理,在谐振子表面形成均匀的羟基;采用有机硅烷对谐振子表面进行氨基化处理,在谐振子表层形成一层有机硅烷分子;将氨基化谐振子冲洗干净并吹干;将氨基化谐振子放在镀膜机中镀Au薄膜,使氨基与Au薄膜形成共价键,在谐振子表形成牢固的纯Au薄膜。本发明提高了Au膜与SiO2基体的结合力、保持Au薄膜性能,形成了低损耗界面与高纯低损耗薄膜,提高了镀膜谐振子Q值。

    一种陀螺仪用具有开窗结构的半球谐振子及制造方法

    公开(公告)号:CN117308905B

    公开(公告)日:2024-01-26

    申请号:CN202311620784.3

    申请日:2023-11-30

    摘要: 本发明提供一种陀螺仪用具有开窗结构的半球谐振子及制造方法,属于谐振陀螺精密制造技术领域,包括半球壳,半球壳中心位置设置有内柱,半球壳端部边缘为唇沿,该半球壳内壁为内球面,内球面与内柱相交处设置有内圆角,唇沿与内柱的连接区域上设置有开窗结构;相邻开窗结构之间设置有振动连接条,唇沿相邻的环形球壳为质量敏感环。在开窗结构制造方面,采用超快激光对开窗区域进行局部改性处理。本发明以切断振动能量传递路径的方式,在半球谐振子唇沿与内柱的连接区域设计开窗结构,减少能量向整个支撑杆的传递,降低支撑损耗,提升陀螺精度,不仅减小了不平衡质量对支撑损耗的影响,降低了后续修调的难度,而且易于实现批量化生产。

    一种陀螺仪用具有开窗结构的半球谐振子及制造方法

    公开(公告)号:CN117308905A

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202311620784.3

    申请日:2023-11-30

    摘要: 本发明提供一种陀螺仪用具有开窗结构的半球谐振子及制造方法,属于谐振陀螺精密制造技术领域,包括半球壳,半球壳中心位置设置有内柱,半球壳端部边缘为唇沿,该半球壳内壁为内球面,内球面与内柱相交处设置有内圆角,唇沿与内柱的连接区域上设置有开窗结构;相邻开窗结构之间设置有振动连接条,唇沿相邻的环形球壳为质量敏感环。在开窗结构制造方面,采用超快激光对开窗区域进行局部改性处理。本发明以切断振动能量传递路径的方式,在半球谐振子唇沿与内柱的连接区域设计开窗结构,减少能量向整个支撑杆的传递,降低支撑损耗,提升陀螺精度,不仅减小了不平衡质量对支撑损耗的影响,降低了后续修调的难度,而且易于实现批量化生产。

    一种基于低损耗半球谐振子图案化电极的谐振陀螺

    公开(公告)号:CN116625344B

    公开(公告)日:2023-10-13

    申请号:CN202310923069.0

    申请日:2023-07-26

    IPC分类号: G01C19/5691

    摘要: 本发明涉及陀螺技术领域,尤其涉及一种基于低损耗半球谐振子图案化电极的谐振陀螺,包括半球谐振子及图案化电极,图案化电极包括基础电极、环形电极、电极条及辅助导电电极,基础电极镀设于谐振子内圆柱外表面及谐振子内圆角表面,环形电极镀设于谐振子唇沿上表面或镀设于谐振子唇沿下方的谐振子内球面,电极条为多个镀设于谐振子内球面且分别与基础电极、环形电极导通,辅助导电电极沿着谐振子内圆角表面向谐振子内球面延伸。本发明提供的陀螺提高了半球谐振子的Q值,提升了谐振陀螺的精度。

    一种基于低损耗半球谐振子图案化电极的谐振陀螺

    公开(公告)号:CN116625344A

    公开(公告)日:2023-08-22

    申请号:CN202310923069.0

    申请日:2023-07-26

    IPC分类号: G01C19/5691

    摘要: 本发明涉及陀螺技术领域,尤其涉及一种基于低损耗半球谐振子图案化电极的谐振陀螺,包括半球谐振子及图案化电极,图案化电极包括基础电极、环形电极、电极条及辅助导电电极,基础电极镀设于谐振子内圆柱外表面及谐振子内圆角表面,环形电极镀设于谐振子唇沿上表面或镀设于谐振子唇沿下方的谐振子内球面,电极条为多个镀设于谐振子内球面且分别与基础电极、环形电极导通,辅助导电电极沿着谐振子内圆角表面向谐振子内球面延伸。本发明提供的陀螺提高了半球谐振子的Q值,提升了谐振陀螺的精度。

    石英半球谐振子修调方法及修调装置

    公开(公告)号:CN115628730A

    公开(公告)日:2023-01-20

    申请号:CN202211568126.X

    申请日:2022-12-08

    摘要: 本发明涉及石英半球谐振陀螺技术领域,提供一种石英半球谐振子修调方法及修调装置。该石英半球谐振子修调方法,包括如下步骤S10、确定石英半球谐振子的修调位和去除质量;S20、使修调位旋转至预定位置;S30、通过移动机构驱动掩膜机构向靠近石英半球谐振子的方向移动,使掩膜机构的刻蚀窗口的内侧与修调位对应贴合;S40、采用刻蚀工艺对石英半球谐振子的修调位进行质量去除修调。本发明通过对石英半球谐振子的在线检测,确定修调位和去除质量,进而对石英半球谐振子的修调位进行质量去除修调,实现修调与检测的同步,进而减小石英半球谐振子的频率裂解,提升石英半球谐振子的修调和检测效率,进而提高半球谐振陀螺的精度。

    基于半球谐振陀螺的谐波缺陷识别方法及系统

    公开(公告)号:CN115790667B

    公开(公告)日:2023-05-16

    申请号:CN202310046214.1

    申请日:2023-01-31

    IPC分类号: G01C25/00

    摘要: 本发明涉及惯性导航领域,公开了一种基于半球谐振陀螺的谐波缺陷识别方法及系统,用于提高对半球谐振陀螺进行谐波缺陷识别时的准确率。该方法包括:对半球谐振陀螺中目标半球谐振子进行激振处理,并采集激振处理过程中的响应信号集合;通过所述响应信号进行谐波数据采集,确定对应的谐波数据集合;通过所述谐波数据集合对所述目标半球谐振子进行振动响应幅值识别,确定最大响应幅值集合;通过所述最大响应幅值集合对所述目标半球谐振子进行谐波缺陷分布分析,确定对应的谐波缺陷分布信息。

    石英半球谐振子修调方法及修调装置

    公开(公告)号:CN115628730B

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202211568126.X

    申请日:2022-12-08

    摘要: 本发明涉及石英半球谐振陀螺技术领域,提供一种石英半球谐振子修调方法及修调装置。该石英半球谐振子修调方法,包括如下步骤S10、确定石英半球谐振子的修调位和去除质量;S20、使修调位旋转至预定位置;S30、通过移动机构驱动掩膜机构向靠近石英半球谐振子的方向移动,使掩膜机构的刻蚀窗口的内侧与修调位对应贴合;S40、采用刻蚀工艺对石英半球谐振子的修调位进行质量去除修调。本发明通过对石英半球谐振子的在线检测,确定修调位和去除质量,进而对石英半球谐振子的修调位进行质量去除修调,实现修调与检测的同步,进而减小石英半球谐振子的频率裂解,提升石英半球谐振子的修调和检测效率,进而提高半球谐振陀螺的精度。

    谐振陀螺静电修调控制方法及系统

    公开(公告)号:CN116026299B

    公开(公告)日:2023-06-09

    申请号:CN202310332896.2

    申请日:2023-03-31

    摘要: 本发明涉及惯性仪表修调控制技术领域,提供一种谐振陀螺静电修调控制方法及系统。该方法包括如下步骤:生成驱动信号功率放大、驱动周期施加于谐振子、检测周期检测谐振子振动信号、解调振动信号正余弦分量、解算各回路误差信号、计算回路控制量、计算刚度修调、正交修调控制量、生成电极驱动信号和修调信号。本发明通过主动控制驻波旋转调制,解调算法辨识独立的刚度和正交误差量,分别设计刚度修调回路和正交修调回路,并通过分时复用,使修调回路和主控制回路独立工作,消除耦合干扰,实现刚度误差和正交误差的连续在线抑制,提升陀螺精度和稳定性。