以含氟烯烃为构成成分的类共沸组合物

    公开(公告)号:CN107001997B

    公开(公告)日:2019-07-26

    申请号:CN201580062994.2

    申请日:2015-10-20

    Abstract: 本发明的液体组合物的特征在于,包含0.0001摩尔%~40摩尔%的(Z)‑1,2‑二氯‑3,3,3‑三氟丙烯(1223Z)和99.9999摩尔%~60摩尔%的(E)‑1,2‑二氯乙烯(t‑DCE)。该液体组合物对地球环境的影响小、表现出(类)共沸的性质。因此,即使在开放体系中使用、或者长期使用,实用上也不引起组成变动。即便在通过蒸馏的回收中也不易发生组成变动。因此,该液体混合物可以适合用作清洗剂(溶剂)。进而该组合物之中t‑DCE的量为90摩尔%以下的物质是消防法上的非危险物。

    蚀刻气体
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102648171A

    公开(公告)日:2012-08-22

    申请号:CN201080054665.0

    申请日:2010-11-19

    Abstract: 本发明公开一种含有CHF2COF而成的蚀刻气体。该蚀刻气体可以含有选自O2、O3、CO、CO2、F2、NF3、Cl2、Br2、I2、XFn(式中,X表示Cl、I或Br、n为1≤n≤7的整数)、CH4、CH3F、CH2F2、CHF3、N2、He、Ar、Ne、Kr等、或选自CH4、C2H2、C2H4、C2H6、C3H4、C3H6、C3H8、HI、HBr、HCl、CO、NO、NH3、H2等、或选自CH4、CH3F、CH2F2、CHF3中的至少1种气体作为添加物。该蚀刻气体不仅对抗蚀剂的选择比、加工形状等蚀刻性能优异,且容易获得,实质上不副产对环境有负担的CF4。

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