一种密闭空间内剧毒气体的检测装置

    公开(公告)号:CN115356442A

    公开(公告)日:2022-11-18

    申请号:CN202210980957.1

    申请日:2022-08-16

    IPC分类号: G01N33/00 G01N1/24

    摘要: 本发明涉及气体检测技术领域,且公开了一种密闭空间内剧毒气体的检测装置,包括密封箱体,密封箱体上设置有仓门,还包括进气阀,密封箱体的顶部设置有进气阀,密封箱体的底部设置有第一排气阀,进气阀的排气端与第一排气阀的进气端通过芯管连通。该密闭空间内剧毒气体的检测装置,通过密封箱体配合真空泵、进气阀、第一排气阀、第二排气阀、芯管、三通管、取样阀、取样管和气体检测组件对待测密闭空间内部气体进行抽取及检测,从而避免气体在检测过程中与人员接触而引发安全事故的情况发生,同时通过芯管与密封箱体双腔体便于控制流过气体检测组件的气压差,实现简单方便高精度检测及高安全性的效果。

    一种远程等离子体源发生装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115346852A

    公开(公告)日:2022-11-15

    申请号:CN202210968057.5

    申请日:2022-08-12

    摘要: 本发明涉及等离子体处理技术领域,且公开了一种远程等离子体源发生装置,包括连接法兰,连接法兰用于与薄膜沉积腔体连接。该远程等离子体源发生装置,通过外部抽真空装置对薄膜沉积腔体进行抽真空,避免该等离子体源发生装置内部存留其余气体而造成等离子体发生污染,再通过进气组件精准控制流入直管段内的气源,并通过放电组件对气体进行电感耦合放电式或者电容耦合放电式,从而使得气源发生等离子体启辉并与薄膜沉积腔体内的半导体或者集成电路基体表面发生薄膜沉积,同时通过弯管段对输入直管段内的气体进行过渡,避免直管段内的等离子体与金属连接件直接轰击而造成等离子体发生污染,达到简单方便多级防污染及精准控制薄膜沉积效果。