公开(公告)号：CN106282974A

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201610457284.6

申请日：2016-06-22

申请人： 丰田自动车株式会社

发明人： 佐藤羊治 ,  佐藤贵康 ,  中田博道 ,  橘和孝 ,  有屋田修 ,  高野裕二 ,  鹤本谅

IPC分类号： C23C16/517

CPC分类号： C23C16/513 ,  C23C16/455 ,  H01J37/32211 ,  H01J37/32311 ,  H01J37/32577 ,  C23C16/517

摘要： 等离子化学气相沉积装置包括腔室(12)、具有伸长形状的第一导体(20)、具有管状形状的第二导体(30)、高频输出装置(45)和直流电源的第一连接部(23)以及第一导体(20)的与直流电源(46)连接的第二连接部(24)均被放置在腔室(12)的外侧。从第一导体(20)的一端到第一连接部(23)的距离短于从第一导体(20)的所述一端到第二连接部(24)的距离。在第一导体(20)中在第一连接部(23)和第二连接部(24)之间设置阻抗变化部(25)，阻抗变化部具有的阻抗不同于在第一导体(20)的所述一端与第一连接部(23)之间的阻抗。(46)。第一导体(20)的与高频输出装置(45)连接

公开(公告)号：CN106282974B

公开(公告)日：2018-06-12

申请号：CN201610457284.6

申请日：2016-06-22

申请人： 丰田自动车株式会社

发明人： 佐藤羊治 ,  佐藤贵康 ,  中田博道 ,  橘和孝 ,  有屋田修 ,  高野裕二 ,  鹤本谅

IPC分类号： C23C16/517

CPC分类号： C23C16/513 ,  C23C16/455 ,  H01J37/32211 ,  H01J37/32311 ,  H01J37/32577

摘要： 等离子化学气相沉积装置包括腔室(12)、具有伸长形状的第一导体(20)、具有管状形状的第二导体(30)、高频输出装置(45)和直流电源(46)。第一导体(20)的与高频输出装置(45)连接的第一连接部(23)以及第一导体(20)的与直流电源(46)连接的第二连接部(24)均被放置在腔室(12)的外侧。从第一导体(20)的一端到第一连接部(23)的距离短于从第一导体(20)的所述一端到第二连接部(24)的距离。在第一导体(20)中在第一连接部(23)和第二连接部(24)之间设置阻抗变化部(25)，阻抗变化部具有的阻抗不同于在第一导体(20)的所述一端与第一连接部(23)之间的阻抗。