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公开(公告)号：CN117877975A
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202410274495.0
申请日：2024-03-11
申请人： 之江实验室
IPC分类号： H01L21/311
摘要： 本申请提供一种利用ICP刻蚀二氧化硅的方法。该方法包括：向抽真空后的反应腔内通入第一刻蚀气体、第二刻蚀气体和掺杂气体，控制刻蚀压力达到1~20mTorr后，开启并控制ICP功率为500~2500w，偏压功率为30~500w，对二氧化硅进行刻蚀，所述第一刻蚀气体为含氟化合物，所述含氟化合物中氟的分子量大于3，所述第二刻蚀气体为含有氟和碳的化合物，氟与碳的分子量之比小于3，所述第一刻蚀气体、第二刻蚀气体和掺杂气体三者的体积流量之比为1：（2~4）：（5~10）。该方案可以刻蚀出陡直且光滑的二氧化硅侧壁形貌。
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公开(公告)号：CN116861390B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202310997855.5
申请日：2023-08-09
申请人： 之江实验室
摘要： 本发明公开了一种基于聚合签名的跨区块链批量交易认证方法，该方法通过网关对业务信息所在的区块集合的签名进行聚合，并通过中继链对聚合签名进行验证从而实现了中继链机制下异构跨链系统中批量交易认证技术，从而使得中继链在跨链过程中不需要逐笔验证跨链数据同步交易的合法性，不需要保存和传输大量交易信息，仅仅传输固定长度的验证字段，以用于接收链确认区块集合中所有签名的合法性，实现了批量的数据同步，减少了跨链系统的信息传输和计算压力，提高了跨链系统的吞吐量与验证速率。本发明还公开一种基于聚合签名的跨区块链批量交易认证装置。
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公开(公告)号：CN117410300A
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202311350658.0
申请日：2023-10-18
申请人： 之江实验室
IPC分类号： H01L27/146 , G01J1/42
摘要： 本发明公开了一种基于超透镜的超导动态电感探测器，包括硅衬底；超导动态电感像素单元阵列，所述超导动态电感像素单元阵列沉积在所述硅衬底表面；和超透镜阵列，所述超透镜阵列通过以超导动态电感像素单元阵列为基准采用背面光刻对准工艺刻蚀所述硅衬底背面得到，所述超透镜阵列用于将垂直入射光聚焦到所述超导动态电感像素单元阵列上，通过所述超导动态电感像素单元阵列将聚焦的入射光转化为电信号从而完成对入射光的探测。该超导动态电感探测器能够将入射光准确的聚焦到超导动态电感像素单元阵列上从而能够准确的探测入射光。本发明还公开了该基于超透镜的超导动态电感探测器的制备方法。
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公开(公告)号：CN116318392A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310530068.X
申请日：2023-05-12
申请人： 之江实验室
IPC分类号： H04B10/079 , H04B10/516 , H04B10/61 , H04B17/30
摘要： 本发明涉及一种基于片上集成光芯片的微波测频装置和方法，该装置包括依次连接的可调谐激光光源、第一电光调制模块、光滤波器、第一光放大器、第二电光调制模块、第二光放大器、光隔离器、集成光芯片、光功率计和数据处理器，其中，第一电光调制模块还连接有信号发生器，第二电光调制模块还连接有信号接收器。与现有技术相比，本发明利用第一、第二电光调制模块与信号发生器、接收器相结合，实现两次光信号调制过程；利用集成光芯片的波长选择特性得到耦合输出光；利用光功率计探测光功率变化；利用数据处理器根据调制光的光功率变化，计算得到待测电信号的频率值，能够以较高的集成度、低廉的成本实现对待测电信号高准确率、高反应速度的测频。
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公开(公告)号：CN116153858A
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202211523539.6
申请日：2022-12-01
申请人： 之江实验室
IPC分类号： H01L21/768
摘要： 本发明涉及一种多层交叉结构的硅转接板的制备方法，通过进行硅基表面分步制作大规模的金属走线及其凸点的布局；选择的介质层如二氧化硅层和氮化硅、光敏性聚酰亚胺胶、BCB胶等介质层，作为绝缘分布于不同层间的金属走线的的绝缘介质层；金属层布线及介质层的交替布局，可以布大量金属走线，分布布局更多凸点，形成多层交错互连，凸点处于同一水平面；本发明通过在硅片表面上制备出不同膜层的硅转接板，使硅片尽可能增大线宽间距，减小工艺难度，增大线条的排布面积，增大密集度，使的在后续键合工艺中能方便容易，极大的降低了转接板的制作难度，也提高了硅转接板的利用率。
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公开(公告)号：CN115323470B
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202211239595.7
申请日：2022-10-11
申请人： 之江实验室
摘要： 本发明涉及晶圆封装领域，尤其涉及一种实现多片晶圆电镀的装置，包括电镀槽，放置在电镀槽内的设置成多层结构的晶圆底座，与所述晶圆底座配合设置的并联连接的电极结构，以及与晶圆位置对应的阳极金属条。本发明利用晶圆底座分层结构，实现多片晶圆同时电镀，既节约电镀时间，又可以有效避免电镀溶液的污染与浪费；利用环形电极阵列，实现电镀沉积，既可以稳定晶圆，又可以保证电镀质量，提高电镀晶圆表面的均匀性；利用晶圆底座的稳定，可以实施与传统方式不同的电镀方法，将晶圆表面保持水平状态，针对大尺寸晶圆电镀，可以有效节省电镀溶液，节约成本。
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公开(公告)号：CN117592003A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202410071684.8
申请日：2024-01-18
申请人： 之江实验室
IPC分类号： G06F18/25 , G06F18/213 , G06N3/0442 , G06N3/0464
摘要： 本发明公开一种基于多模态双线性池化的运动模式识别方法、装置及介质，包括：获取用户的多模态传感器数据；从所述多模态传感器数据中提取多个单模态传感器数据特征；将每个所述单模态传感器数据特征进行融合操作并拼接为一个多模态特征序列；将多模态特征序列输入LSTM，得到多模态时序特征序列，然后，通过软注意力机制，将多模态特征序列与多模态时序特征序列进行加权以及信息融合；将融合了时序信息的多模态特征输入多层感知机，预测运动模式。本发明提出多模态双线性注意力池化对多模态感知数据进行特征融合，通过利用模态间的信息增强、互补性来指导多运动模式识别；解决了多模态特征学习中面向复杂场景理解的信息间可信互补和增强问题。
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公开(公告)号：CN116861390A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202310997855.5
申请日：2023-08-09
申请人： 之江实验室
摘要： 本发明公开了一种基于聚合签名的跨区块链批量交易认证方法，该方法通过网关对业务信息所在的区块集合的签名进行聚合，并通过中继链对聚合签名进行验证从而实现了中继链机制下异构跨链系统中批量交易认证技术，从而使得中继链在跨链过程中不需要逐笔验证跨链数据同步交易的合法性，不需要保存和传输大量交易信息，仅仅传输固定长度的验证字段，以用于接收链确认区块集合中所有签名的合法性，实现了批量的数据同步，减少了跨链系统的信息传输和计算压力，提高了跨链系统的吞吐量与验证速率。本发明还公开一种基于聚合签名的跨区块链批量交易认证装置。
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公开(公告)号：CN116127148B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310391572.6
申请日：2023-04-04
申请人： 之江实验室
IPC分类号： G06F16/901 , G06F21/64
摘要： 本说明书公开了一种数据可信存储方法、装置、存储介质及电子设备，本说明书实施例第一区块链节点和第二区块链节点属于不同的区块链网络，第一区块链节点确定各待存储数据和执行针对各待存储数据的传输任务的任务并发数。基于任务并发数，对各待存储数据进行分组，得到每个数据组。将每个数据组包含的待存储数据并行发送给执行针对每个数据组的传输任务所需的中继链节点。每个中继链节点将接收到的每个待存储数据发送给第二区块链节点。第二区块链节点在对每个待存储数据进行共识校验后，将每个待存储数据存储在第二区块链节点对应的区块链上。此过程中，可以将第一区块链节点的批量数据并行发送给第二区块链节点，从而提高了跨链数据传输的效率。
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