公开(公告)号：CN117410300A

公开(公告)日：2024-01-16

申请号：CN202311350658.0

申请日：2023-10-18

Applicant: 之江实验室

Inventor： 张晓航 ,  张明珠 ,  杨丽慧 ,  余诗玲 ,  宋艳汝 ,  朱洪力 ,  洪悦 ,  王海涛 ,  穆堂杰 ,  邹黎明 ,  翟仁爽 ,  王轶文 ,  赵志峰 ,  冯毅 ,  段然 ,  李菂

IPC: H01L27/146 ,  G01J1/42

Abstract: 本发明公开了一种基于超透镜的超导动态电感探测器，包括硅衬底；超导动态电感像素单元阵列，所述超导动态电感像素单元阵列沉积在所述硅衬底表面；和超透镜阵列，所述超透镜阵列通过以超导动态电感像素单元阵列为基准采用背面光刻对准工艺刻蚀所述硅衬底背面得到，所述超透镜阵列用于将垂直入射光聚焦到所述超导动态电感像素单元阵列上，通过所述超导动态电感像素单元阵列将聚焦的入射光转化为电信号从而完成对入射光的探测。该超导动态电感探测器能够将入射光准确的聚焦到超导动态电感像素单元阵列上从而能够准确的探测入射光。本发明还公开了该基于超透镜的超导动态电感探测器的制备方法。