公开(公告)号：CN114975213A

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202210883762.5

申请日：2022-07-26

Applicant: 之江实验室

Inventor： 陆宏杰 ,  杨青 ,  庞陈雷 ,  王智 ,  王兴锋 ,  牛春阳 ,  郭晋竹 ,  翟利军 ,  刘旭

IPC: H01L21/68

Abstract: 本发明公开了一种晶圆对准装置及对准方法。包括光源、成像相机、光路系统、图像处理器、晶圆载物台和二维运动平台；照明光源、成像相机、光路系统、图像处理器安装位置固定，待对准的晶圆置于晶圆载物台上，二维运动平台上安装有晶圆载物台，可实现晶圆的二维移动；通过相机对晶圆载物台上的晶圆实现宽视场快速成像，识别晶圆轮廓并拟合，得到高精度的晶圆定位信息，宽视场成像同时避免了晶圆摆放偏移量过大导致无法对准的问题。本发明的晶圆对准装置和对准方法，没有采用晶圆预对准器和二次对准即可实现高精度的晶圆定位，晶圆通过机械手直接从料盒中运送到载物台上，减少了预对准器的工作站点，能够同时提高晶圆对准的效率。

公开(公告)号：CN114975213B

公开(公告)日：2022-11-18

申请号：CN202210883762.5

申请日：2022-07-26

Applicant: 之江实验室

Inventor： 陆宏杰 ,  杨青 ,  庞陈雷 ,  王智 ,  王兴锋 ,  牛春阳 ,  郭晋竹 ,  翟利军 ,  刘旭

IPC: H01L21/68

Abstract: 本发明公开了一种晶圆对准装置及对准方法。包括光源、成像相机、光路系统、图像处理器、晶圆载物台和二维运动平台；照明光源、成像相机、光路系统、图像处理器安装位置固定，待对准的晶圆置于晶圆载物台上，二维运动平台上安装有晶圆载物台，可实现晶圆的二维移动；通过相机对晶圆载物台上的晶圆实现宽视场快速成像，识别晶圆轮廓并拟合，得到高精度的晶圆定位信息，宽视场成像同时避免了晶圆摆放偏移量过大导致无法对准的问题。本发明的晶圆对准装置和对准方法，没有采用晶圆预对准器和二次对准即可实现高精度的晶圆定位，晶圆通过机械手直接从料盒中运送到载物台上，减少了预对准器的工作站点，能够同时提高晶圆对准的效率。