基于MEMS气室的Rb-131Xe原子自旋陀螺仪单光束检测系统和方法

    公开(公告)号:CN114322974B

    公开(公告)日:2023-01-03

    申请号:CN202111625960.3

    申请日:2021-12-28

    Abstract: 本发明公开一种基于MEMS气室的Rb‑131Xe原子自旋陀螺仪单光束检测系统和方法,通过选取Rb‑131Xe原子源可以大幅降低陀螺仪启动时间,并且能保证一定的陀螺仪测量灵敏度;选取131Xe原子可以降低陀螺仪的研制成本,易于芯片化。碱金属气室是原子自旋陀螺仪的敏感核心,基于MEMS技术的碱金属气室是未来芯片化原子自旋陀螺仪的敏感核心元器件。为了匹配MEMS平面化工艺,发明一种单光束的自旋抽运和探测系统,将原有原子自旋陀螺仪中的抽运‑探测正交光束方案大幅简化,适用于芯片化的需求。本发明有望在芯片原子自旋陀螺仪的工程化得到应用,在未来微小型化惯性导航、无人驾驶、水下无人系统等领域得到广泛应用。

    基于MEMS气室的Rb-131Xe原子自旋陀螺仪单光束检测系统和方法

    公开(公告)号:CN114322974A

    公开(公告)日:2022-04-12

    申请号:CN202111625960.3

    申请日:2021-12-28

    Abstract: 本发明公开一种基于MEMS气室的Rb‑131Xe原子自旋陀螺仪单光束检测系统和方法,通过选取Rb‑131Xe原子源可以大幅降低陀螺仪启动时间,并且能保证一定的陀螺仪测量灵敏度;选取131Xe原子可以降低陀螺仪的研制成本,易于芯片化。碱金属气室是原子自旋陀螺仪的敏感核心,基于MEMS技术的碱金属气室是未来芯片化原子自旋陀螺仪的敏感核心元器件。为了匹配MEMS平面化工艺,发明一种单光束的自旋抽运和探测系统,将原有原子自旋陀螺仪中的抽运‑探测正交光束方案大幅简化,适用于芯片化的需求。本发明有望在芯片原子自旋陀螺仪的工程化得到应用,在未来微小型化惯性导航、无人驾驶、水下无人系统等领域得到广泛应用。

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