公开(公告)号：CN103698339B

公开(公告)日：2015-12-09

申请号：CN201310737527.8

申请日：2013-12-29

Applicant: 云南北方驰宏光电有限公司

Inventor： 赵逸群 ,  木锐 ,  程海娟 ,  朱俊 ,  李茂忠 ,  姜杰 ,  贾钰超 ,  朱智勇 ,  罗永芳 ,  王培钰 ,  褚祝军

IPC: G01N21/88 ,  G01N1/32

Abstract: 本发明公开了一种晶体位错腐蚀检测方法，属于缺陷腐蚀检测技术领域，主要技术方案包括以下步骤：将样品待测面处理到预定的表面光洁度；对样品的观测点进行确定并标识；对样品除观测点以外的表面进行涂覆；将涂覆好的样品进行抛光；将抛光好的样品进行清洗；对样品除观测点以外的表面补充涂覆；将涂覆好的样品进行腐蚀；将腐蚀好的样品进行清洗；对样品观测点进行位错测量，并计算出样品的位错密度。采用本方法对晶体进行位错检测，实现了位错测试中温度的有效控制，腐蚀效果好，同时腐蚀液使用量和晶体的腐蚀量大大降低。

公开(公告)号：CN103698339A

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：CN201310737527.8

申请日：2013-12-29

Applicant: 云南北方驰宏光电有限公司

Inventor： 赵逸群 ,  木锐 ,  程海娟 ,  朱俊 ,  李茂忠 ,  姜杰 ,  贾钰超 ,  朱智勇 ,  罗永芳 ,  王培钰 ,  褚祝军

IPC: G01N21/88 ,  G01N1/32

Abstract: 本发明公开了一种晶体位错腐蚀检测方法，属于缺陷腐蚀检测技术领域，主要技术方案包括以下步骤：将样品待测面处理到预定的表面光洁度；对样品的观测点进行确定并标识；对样品除观测点以外的表面进行涂覆；将涂覆好的样品进行抛光；将抛光好的样品进行清洗；对样品除观测点以外的表面补充涂覆；将涂覆好的样品进行腐蚀；将腐蚀好的样品进行清洗；对样品观测点进行位错测量，并计算出样品的位错密度。采用本方法对晶体进行位错检测，实现了位错测试中温度的有效控制，腐蚀效果好，同时腐蚀液使用量和晶体的腐蚀量大大降低。