Saved successfully
Save failed
Saved Successfully
Save Failed
公开(公告)号：CN202167465U
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201120272942.7
申请日：2011-07-29
Applicant: 五邑大学
Inventor： 杨铁牛 , 黄尊地 , 侯曙光 , 李昌明 , 黄辉 , 张祈莉 , 李鹤喜
IPC: H01L21/00
Abstract: 本实用新型公开了一种促进腔室气流均匀的双级组合式匀气结构，包括匀气罐，匀气罐为圆盘形开口的空腔结构，匀气罐上端中心位置设有进气口，匀气罐的空腔内设有上匀气盘，匀气罐的下端开口安装有下匀气盘，上匀气盘为弧形结构，其中凹弧面与进气口相对，下匀气盘上均匀分布有小孔，小孔按所在轴向位置不同而直径不同，实现气流的均匀性分布，保证了所沉积薄膜的质量。
