公开(公告)号：CN105047484A

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：CN201510198260.9

申请日：2015-04-24

申请人： 亚德诺半导体集团

发明人： P·L·菲兹格拉德 ,  J-E·王 ,  R·C·格金 ,  B·P·斯坦森 ,  P·拉姆博肯 ,  M·舍默尔

IPC分类号： H01H59/00

CPC分类号： H01H1/0036 ,  H01H59/0009 ,  H01H2001/0084 ,  H01H2059/0018 ,  H01H2059/0072

摘要： 本公开涉及MEMS开关。公布了改进MEMS开关操作性能的几种特征，使得它们呈现出改进的在役寿命和开关打开与关闭的更好控制。

公开(公告)号：CN105023811A

公开(公告)日：2015-11-04

申请号：CN201510197325.8

申请日：2015-04-24

申请人： 亚德诺半导体集团

发明人： C·F·李 ,  R·C·格金 ,  P·L·菲兹格拉德 ,  B·P·斯坦森 ,  M·舍默尔 ,  J-E·王

IPC分类号： H01H59/00

CPC分类号： H01H59/0009 ,  B81B7/007 ,  B81C1/00341 ,  H01H1/0036 ,  H01H2001/0084

摘要： 本发明涉及具有内部导电通道的MEMS开关。MEMS开关具有由具有上表面的衬底形成的基底和形成在至少一部分顶部表面上的绝缘层。粘合材料将盖固定到基底上，以形成内部腔室。盖有效地形成在内部腔室外部的基底的外部区域。MEMS开关还具有有部件接触部分的可移动部件(在内部腔室中)、内部触点(也在内部腔室中)、和在基底外部区域的外部触点。可移动部件的接触部分配置以替代地接触内部触点。至少部分在绝缘层内的导体电气地将内部触点和外部触点连接起来。导体与固定盖到基底的粘合材料被空间隔离开和电气隔离开。

公开(公告)号：CN105047484B

公开(公告)日：2018-12-14

申请号：CN201510198260.9

申请日：2015-04-24

申请人： 亚德诺半导体集团

发明人： P·L·菲兹格拉德 ,  J-E·王 ,  R·C·格金 ,  B·P·斯坦森 ,  P·拉姆博肯 ,  M·舍默尔

IPC分类号： H01H59/00

摘要： 本公开涉及MEMS开关。公布了改进MEMS开关操作性能的几种特征，使得它们呈现出改进的在役寿命和开关打开与关闭的更好控制。

公开(公告)号：CN105023811B

公开(公告)日：2018-02-23

申请号：CN201510197325.8

申请日：2015-04-24

申请人： 亚德诺半导体集团

发明人： C·F·李 ,  R·C·格金 ,  P·L·菲兹格拉德 ,  B·P·斯坦森 ,  M·舍默尔 ,  J-E·王

IPC分类号： H01H59/00

CPC分类号： H01H59/0009 ,  B81B7/007 ,  B81C1/00341 ,  H01H1/0036 ,  H01H2001/0084

摘要： 本发明涉及具有内部导电通道的MEMS开关。MEMS开关具有由具有上表面的衬底形成的基底和形成在至少一部分顶部表面上的绝缘层。粘合材料将盖固定到基底上，以形成内部腔室。盖有效地形成在内部腔室外部的基底的外部区域。MEMS开关还具有有部件接触部分的可移动部件(在内部腔室中)、内部触点(也在内部腔室中)、和在基底外部区域的外部触点。可移动部件的接触部分配置以替代地接触内部触点。至少部分在绝缘层内的导体电气地将内部触点和外部触点连接起来。导体与固定盖到基底的粘合材料被空间隔离开和电气隔离开。