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公开(公告)号：CN1938807A
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：CN200580010340.1
申请日：2005-03-02
申请人： 英特尔公司
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H59/0009 , H01H1/18 , H01H2059/0018 , H01H2059/0072
摘要： 本发明的实施例描述了接触开关，该接触开关可以包括底电极结构和顶电极结构，底电极结构包括底驱动电极，顶电极结构包括顶驱动电极和一个或多个当开关在弯折状态时能保持顶电极和底电极之间的预先确定的间隙的止动件。
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公开(公告)号：CN1417826A
公开(公告)日：2003-05-14
申请号：CN02150233.1
申请日：2002-11-05
申请人： 欧姆龙株式会社
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H59/0009 , H01H2001/0084 , H01H2059/0018 , H01H2059/0072
摘要： 通过抑制静电驱动器的接通电压和断开电压等工作电压特性的变动，防止向静电驱动器施加额定电压时，静电驱动器不接通，或断开驱动电压时，静电驱动器不断开的现象。相对置地设置固定电极30和可动电极38，在固定电极30的表面形成绝缘膜31。绝缘膜31以氮化膜(SiN)37为主要材料构成，在氮化膜37的正反两面形成氧化膜(SiO2)39、48。在绝缘膜31的上表面与可动电极38对置的区域设置有多个突起32。绝缘膜31的带电量主要由氧化膜48的膜厚决定，使用氮化膜47是为确保耐压特性等所需的必要膜厚。
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公开(公告)号：CN101425409A
公开(公告)日：2009-05-06
申请号：CN200810173971.0
申请日：2008-10-31
申请人： 通用电气公司
CPC分类号： H01H59/0009 , H01H2059/0018 , H01H2071/008
摘要： 提供了一种系统，其包含微机电系统开关电路(12)，例如可以由多个微机电开关(S1...Sn)构成。在系统操作过程中所述多个微机电开关可以通常工作在闭合开关状态。控制器(14)耦合到所述机电开关电路(12)。所述控制器(14)可以用于激活所述微机电开关中的至少一个为暂时断开开关状态，同时其余的微机电开关保持闭合开关状态以传导负载电流并且避免中断系统操作。所述开关的暂时断开开关状态的使用可以避免开关触点彼此粘着的倾向。
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公开(公告)号：CN1848342A
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：CN200610074716.1
申请日：2006-04-11
申请人： 株式会社东芝
发明人： 池桥民雄
CPC分类号： H01G5/16 , H01G5/18 , H01H59/0009 , H01H2001/0063 , H01H2057/006 , H01H2059/0018 , H01L41/094 , H01L41/0946 , H02N1/006
摘要： 一种半导体器件，它包括弹性部件、第一和第二电极、压电致动器、以及静电致动器。弹性部件的一个末端通过固定器被固定在衬底上，以便在弹性部件与衬底之间形成间隙。第一和第二电极分别被安置成面对弹性部件的另一末端和衬底。此压电致动器使弹性部件的另一末端形变，以便使之靠近衬底。静电致动器包括位于弹性部件中的第三电极和位于衬底上面对第三电极的第四电极，并使弹性部件的另一末端形变，以便使之靠近衬底。借助于驱动压电致动器和静电致动器，来改变第一电极与第二电极之间的距离。
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公开(公告)号：CN102422373B
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201080019992.2
申请日：2010-05-07
申请人： NXP股份有限公司
发明人： 皮特·杰拉德·斯普内肯 , 希尔柯·瑟伊 , 罗尔多夫·赫图斯特 , 特温·范利庞
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H59/0009 , H01H2059/0018
摘要： 本发明提供了一种电容性MEMS器件，包括：第一电极，处于平面中；以及第二电极，悬挂于第一电极的上方并且能够相对于第一电极移动。第一电极用作致动电极。在第一电极和第二电极之间存在间隙。第三电极位于第一电极和第二电极之间，间隙在第三电极和第二电极中间。第三电极中具有一个或多个孔，所述一个或多个孔优选被排列为有序阵列或不规则阵列。本发明的一方面集成了导电格栅(例如金属格栅)作为中间(或第三)电极。本发明的一个优点在于能够减小现有技术中的至少一个问题。该优点使得能够对开关的拉入电压和释放电压进行独立控制。
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公开(公告)号：CN102422373A
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201080019992.2
申请日：2010-05-07
申请人： NXP股份有限公司
发明人： 皮特·杰拉德·斯普内肯 , 希尔柯·瑟伊 , 罗尔多夫·赫图斯特 , 特温·范利庞
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H59/0009 , H01H2059/0018
摘要： 本发明提供了一种电容性MEMS器件，包括：第一电极，处于平面中；以及第二电极，悬挂于第一电极的上方并且能够相对于第一电极移动。第一电极用作致动电极。在第一电极和第二电极之间存在间隙。第三电极位于第一电极和第二电极之间，间隙在第三电极和第二电极中间。第三电极中具有一个或多个孔，所述一个或多个孔优选被排列为有序阵列或不规则阵列。本发明的一方面集成了导电格栅(例如金属格栅)作为中间(或第三)电极。本发明的一个优点在于能够减小现有技术中的至少一个问题。该优点使得能够对开关的拉入电压和释放电压进行独立控制。
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公开(公告)号：CN101276691A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：CN200810086194.6
申请日：2008-03-18
申请人： 富士通株式会社
CPC分类号： H01G5/16 , B81B7/008 , B81C99/003 , H01H2059/0018
摘要： 本发明提供了一种驱动控制微机械装置的设备和方法。在所述驱动控制微机械装置的方法中，所述微机械装置包括两个相对的电极和夹在电极之间的电介质层，在两个所述电极之间提供控制电压，所述控制电压为正极性和负极性交替反转的矩形波形。关于正侧和负侧检测由于提供所述控制电压而通过所述微机械装置的电流，基于检测到的电流，关于所述正侧和负侧获取与所述微机械装置的电容有关的参数。将所述控制电压控制为使得关于所述正侧和负侧获取的所述参数互相一致。这样，在可变电容装置的交换驱动中可抑制电容在正侧与负侧之间的变化。
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公开(公告)号：CN106463311A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580017830.8
申请日：2015-04-01
申请人： 维斯普瑞公司
发明人： 戴维·莫利内罗-希莱斯 , 肖恩·J·坎宁安 , 达娜·德雷乌斯
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H59/0009 , B81B3/0086 , B81B2203/04 , H01H49/00 , H01H2059/0018 , H01H2059/0072
摘要： 本主题涉及用于减少RF MEMS致动器元件中表面介电充电的系统、装置和方法。具体地，一种微机电系统(MEMS)可以包括：固定电极，其定位在基板上；可动电极，其定位在固定电极大致上方且与固定电极分离有间隙；以及至少一个孤立凸块，其定位在固定电极和可动电极之间，其中，至少一个孤立凸块延伸进入间隙中。在该构造中，固定电极或可动电极中的一个或两个可以被图案化以限定与至少一个孤立凸块中的一个或多个大致对齐的一个或多个孔。所述凸块和孔都可以有助于减少表面介电充电率和所产生的电荷总量。
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公开(公告)号：CN104715975A
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201410777866.3
申请日：2014-12-16
申请人： 亚德诺半导体集团
CPC分类号： H01L21/02524 , H01H59/0009 , H01H2059/0018 , H01L21/02002 , H01L21/02373 , H01L21/322
摘要： 本公开涉及适宜使用RF组件的硅衬底，此类硅衬底形成的RF组件。提供硅衬底可通过使用由Czochralski处理形成的硅层并具有沉积在硅层上的载流子寿命时间杀灭层而更便宜地便于形成RF组件。
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公开(公告)号：CN104170048A
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201280071504.1
申请日：2012-05-27
申请人： 雷斯昂公司
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H59/0009 , H01H2059/0018 , H01H2059/0072
摘要： 一种射频微机电系统电容式开关，该电容式开关使得其电极中的一个电极中的孔与电介质立柱对准，从而在不影响开关的电容比的情况下减少俘获电荷。当开关致动时，电极接触围绕多个孔的立柱的一个或更多个接触面，使得每个孔至少与该孔所对准的所述立柱的中心部分重叠。通过选择孔的尺寸，使得顶电极在射频频率下形成大致连续的导电片，孔与立柱的对准在不降低开关的电容的情况下减少俘获电荷的数量。在不同的实施例中，立柱的直径可以小于孔的直径，使得完全重叠，在这种情况下，俘获电荷在很大程度上被消除。
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