玻璃上的微器件
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103460336A

    公开(公告)日:2013-12-18

    申请号:CN201180069724.6

    申请日:2011-03-30

    IPC分类号: H01L21/00

    摘要: 本发明提出了一种在玻璃上制备具有微特征的微器件的方法。该方法包括以下步骤:预设第一玻璃基板,并在所述第一玻璃基板上制备金属图案,预设第二玻璃基板并在所述第二玻璃基板上设一个或多个通孔,在可控的升温中加热所述第一玻璃基板和所述第二玻璃基板,通过加压的方式键合所述第一玻璃基板和所述第二玻璃基板,以形成一个键合基板,其中,所述金属图案嵌于所述键合基板内,在可控的降温中冷却所述键合基板,然后将所述键合基板保持在一个适宜蚀刻的温度,蚀刻所述键合基板内的金属图案,其中,蚀刻剂通过所述通孔流入金属图案,在键合基板内形成的一个空间,其中,所述空间具有微特征。

    弯折形弹性梁的电容式加速度传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN102879608A

    公开(公告)日:2013-01-16

    申请号:CN201210418835.X

    申请日:2012-10-26

    IPC分类号: G01P15/125 B81C1/00

    摘要: 本发明提供一种弯折形弹性梁的电容式加速度传感器及制备方法。该传感器至少包括:第一电极结构层、中间结构层及第二电极结构层;其中,第一电极结构层与第二电极结构层分别设置有电极引出通孔;所述中间结构层包括:基于具有双器件层的含氧硅基片所形成的边框、双面对称的质量块、及一边连接边框、另一边连接质量块的弯折形弹性梁,其中,在两质量块的两面对称地设有防过载凸点及阻尼调节槽,且处于不同平面的弯折形弹性梁交错分布、在空间上不重叠。由于弯折形弹性梁的弯折次数、梁总长、梁总宽可基于需要来确定,故本发明能制备不同灵敏度的电容式加速度传感器,灵活性大。

    变面积型电容式横向加速度传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN103063876B

    公开(公告)日:2014-08-20

    申请号:CN201310002407.3

    申请日:2013-01-05

    IPC分类号: G01P15/125 B81C3/00 B81B7/02

    摘要: 本发明提供一种变面积型电容式横向加速度传感器及制备方法。该加速度传感器至少包括:由相互电性隔离的第一基底、第二基底及第三基底键合成的三层层叠结构,其中,第二基底包括可动质量块、围绕可动质量块的边框、连接可动质量块及边框的弹性梁、处于可动质量块两表面的多个第二栅状电极、设于所述可动质量块的防过载结构等;第一基底的多个第一栅状电极与第二基底的多个第二栅状电极分别对应成电容结构,第三基底的多个第三栅状电极与第二基底的多个第二栅状电极分别对应成电容结构,并且此两组电容形成差分电容结构。本发明的优点包括灵敏度高、线性度好,且可基于需要来设计不同梁形状,故能制备不同灵敏度的电容式加速度传感器,灵活性大。