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公开(公告)号：CN103460336A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201180069724.6
申请日：2011-03-30
申请人： 高萨姆·维斯瓦纳达姆
发明人： 高萨姆·维斯瓦纳达姆
IPC分类号： H01L21/00
CPC分类号： B81C1/00341 , B81B2201/051 , B81B2203/0315 , B81B2203/0338 , B81C1/00476 , B81C2201/0107 , B81C2203/036 , H01L21/00
摘要： 本发明提出了一种在玻璃上制备具有微特征的微器件的方法。该方法包括以下步骤：预设第一玻璃基板，并在所述第一玻璃基板上制备金属图案，预设第二玻璃基板并在所述第二玻璃基板上设一个或多个通孔，在可控的升温中加热所述第一玻璃基板和所述第二玻璃基板，通过加压的方式键合所述第一玻璃基板和所述第二玻璃基板，以形成一个键合基板，其中，所述金属图案嵌于所述键合基板内，在可控的降温中冷却所述键合基板，然后将所述键合基板保持在一个适宜蚀刻的温度，蚀刻所述键合基板内的金属图案，其中，蚀刻剂通过所述通孔流入金属图案，在键合基板内形成的一个空间，其中，所述空间具有微特征。
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公开(公告)号：CN102879608A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210418835.X
申请日：2012-10-26
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号： G01P15/125 , B81C1/00
CPC分类号： G01P15/125 , B81C1/00341 , B81C1/00531 , G01P2015/0871 , G01P2015/0882
摘要： 本发明提供一种弯折形弹性梁的电容式加速度传感器及制备方法。该传感器至少包括：第一电极结构层、中间结构层及第二电极结构层；其中，第一电极结构层与第二电极结构层分别设置有电极引出通孔；所述中间结构层包括：基于具有双器件层的含氧硅基片所形成的边框、双面对称的质量块、及一边连接边框、另一边连接质量块的弯折形弹性梁，其中，在两质量块的两面对称地设有防过载凸点及阻尼调节槽，且处于不同平面的弯折形弹性梁交错分布、在空间上不重叠。由于弯折形弹性梁的弯折次数、梁总长、梁总宽可基于需要来确定，故本发明能制备不同灵敏度的电容式加速度传感器，灵活性大。
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公开(公告)号：CN102804333A
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201180009957.7
申请日：2011-02-13
申请人： 安派科生物医学科技有限公司
发明人： 俞昌
CPC分类号： A61M37/0015 , A61M2037/0023 , A61M2037/0053 , B01L3/502707 , B81B7/008 , B81B2201/058 , B81B2201/06 , B81C1/00119 , B81C1/00246 , B81C1/00341 , B82Y5/00 , Y10T29/49124
摘要： 本发明公开了制备应用于生物与医疗领域的新型微器件的方法。这些方法利用了微电子工艺技术和新工艺流程来制备微器件，该微器件在微观水平具有更好的性能、灵活性和检测和治疗疾病的能力。与现有的医疗方法中的传统疗法和设备相比，这些微器件降低了成本。应用本发明的纳米技术制备的微器件在许多领域相对于现有的传统方法有显著改善。这些改善包括但不仅限于，降低总体成本、疾病早期检测/诊断、靶向给药、靶向治疗疾病和降低治疗过程中的侵袭性。与现有的、传统的方法相比，本发明的方法更微观、更灵敏、更精确、更准确、更灵活、更有效。这个新颖的方法和现有方法相比能够达到更好的治疗效果。
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公开(公告)号：CN105023811B
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201510197325.8
申请日：2015-04-24
申请人： 亚德诺半导体集团
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H59/0009 , B81B7/007 , B81C1/00341 , H01H1/0036 , H01H2001/0084
摘要： 本发明涉及具有内部导电通道的MEMS开关。MEMS开关具有由具有上表面的衬底形成的基底和形成在至少一部分顶部表面上的绝缘层。粘合材料将盖固定到基底上，以形成内部腔室。盖有效地形成在内部腔室外部的基底的外部区域。MEMS开关还具有有部件接触部分的可移动部件(在内部腔室中)、内部触点(也在内部腔室中)、和在基底外部区域的外部触点。可移动部件的接触部分配置以替代地接触内部触点。至少部分在绝缘层内的导体电气地将内部触点和外部触点连接起来。导体与固定盖到基底的粘合材料被空间隔离开和电气隔离开。
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公开(公告)号：CN104508447B
公开(公告)日：2017-06-09
申请号：CN201380022007.7
申请日：2013-03-06
CPC分类号： B81B3/0021 , B32B38/08 , B81B7/0006 , B81B7/02 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81B2207/07 , B81B2207/095 , B81B2207/096 , B81C1/00182 , B81C1/00341 , G01L7/08 , G01L9/0045 , G01L9/0052 , G01L9/0054 , G01L9/0055 , G01L9/006 , G01L9/008 , G01L9/04 , G01L9/06 , G01L19/0061 , G01L19/0069 , G01L19/0076 , G01L19/147 , G01L19/148 , H01L2224/45169 , Y10T29/49888 , Y10T156/10
摘要： 本发明涉及一种压力传感器的制造方法，包括以下步骤：将支撑基片与上面已沉积应变仪的可变形膜相装配，其中所述可变形膜包括在其中央的变薄区，所述支撑基片设在所述可变形膜顶部，所述支撑基片包括上表面以及与所述可变形膜相接触的下表面，并且所述支撑基片还包括设在所述应变仪顶部的侧部凹陷和设在膜的所述变薄区顶部的中央凹陷，以得到微机械结构；并且，一旦获得了装配，就在一个单一步骤中，在所述支撑部的所述上表面上和所述支撑部的所述侧部凹陷中沉积至少一种导电材料，所述导电材料延伸到凹陷中，从而与所述应变仪相接触以形成与所述应变仪相接触的电触头。
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公开(公告)号：CN105147517A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201510551019.X
申请日：2011-02-13
申请人： 安派科生物医学科技有限公司
发明人： 俞昌
CPC分类号： A61M37/0015 , A61M2037/0023 , A61M2037/0053 , B01L3/502707 , B81B7/008 , B81B2201/058 , B81B2201/06 , B81C1/00119 , B81C1/00246 , B81C1/00341 , B82Y5/00 , Y10T29/49124
摘要： 本发明公开了制备应用于生物与医疗领域的新型微器件的方法。这些方法利用了微电子工艺技术和新工艺流程来制备微器件，该微器件在微观水平具有更好的性能、灵活性和检测和治疗疾病的能力。与现有的医疗方法中的传统疗法和设备相比，这些微器件降低了成本。应用本发明的纳米技术制备的微器件在许多领域相对于现有的传统方法有显著改善。这些改善包括但不仅限于，降低总体成本、疾病早期检测/诊断、靶向给药、靶向治疗疾病和降低治疗过程中的侵袭性。与现有的、传统的方法相比，本发明的方法更微观、更灵敏、更精确、更准确、更灵活、更有效。这个新颖的方法和现有方法相比能够达到更好的治疗效果。
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公开(公告)号：CN103063876B
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201310002407.3
申请日：2013-01-05
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号： G01P15/125 , B81C3/00 , B81B7/02
CPC分类号： G01P15/125 , B81C1/00341 , G01P15/0802 , G01P2015/0814 , G01P2015/0871 , Y10T29/417
摘要： 本发明提供一种变面积型电容式横向加速度传感器及制备方法。该加速度传感器至少包括：由相互电性隔离的第一基底、第二基底及第三基底键合成的三层层叠结构，其中，第二基底包括可动质量块、围绕可动质量块的边框、连接可动质量块及边框的弹性梁、处于可动质量块两表面的多个第二栅状电极、设于所述可动质量块的防过载结构等；第一基底的多个第一栅状电极与第二基底的多个第二栅状电极分别对应成电容结构，第三基底的多个第三栅状电极与第二基底的多个第二栅状电极分别对应成电容结构，并且此两组电容形成差分电容结构。本发明的优点包括灵敏度高、线性度好，且可基于需要来设计不同梁形状，故能制备不同灵敏度的电容式加速度传感器，灵活性大。
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公开(公告)号：CN107032297A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201710032518.7
申请日：2017-01-16
申请人： 罗伯特·博世有限公司
CPC分类号： B81B7/0038 , B81B7/02 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2203/0315 , B81C1/00285 , B81C1/00293 , B81C2201/0177 , B81C2203/0145 , B81C1/00 , B81C1/00341 , B81C1/0038 , G01P15/08
摘要： 本发明提出用于制造微机械构件的方法，具有衬底和与衬底连接且与衬底包围第一空穴的罩，在第一空穴中存在第一压力且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，第一方法步骤中，在衬底或罩中构造连接第一空穴与微机械构件周围环境的进入开口，第二方法步骤中，调节第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，第三方法步骤中，通过借助激光将能量或热量引入衬底或罩的吸收部分来封闭进入开口，其特征在于，第四方法步骤中，第一晶体层或第一无定型层或第一纳米晶体层或第一多晶体层在衬底或罩表面上沉积或生长，其中，在第五方法步骤中，将空隙引入到衬底或罩中，用于接收第一晶体层或第一无定型层或第一纳米晶体层或第一多晶体层。
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公开(公告)号：CN104345106B
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201410375754.5
申请日：2014-08-01
申请人： 克洛纳测量技术有限公司
发明人： W.奎佩尔斯
IPC分类号： G01N30/68
CPC分类号： B81C3/001 , B81B7/02 , B81B2201/0292 , B81C1/00341 , B81C2201/019 , G01N27/626 , G01N30/6095 , G01N30/68 , G01N2030/8881
摘要： 本发明涉及用于制造功能单元的方法和相应的功能单元，具体而言描述且示出了用于制造带有气体转换器(1)和火焰离子化检测器(10)的功能单元的方法。本发明的目的在于，提出一种用于制造功能单元的方法，该方法在现有技术的扩展方面提供了改进。该目的在讨论的方法方面以如下方式来实现，即使得气体转换器(1)和火焰离子化检测器(10)一起在多层陶瓷(6)中制造。本发明此外涉及利用该方法制造的功能单元。
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公开(公告)号：CN102804333B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201180009957.7
申请日：2011-02-13
申请人： 安派科生物医学科技有限公司
发明人： 俞昌
CPC分类号： A61M37/0015 , A61M2037/0023 , A61M2037/0053 , B01L3/502707 , B81B7/008 , B81B2201/058 , B81B2201/06 , B81C1/00119 , B81C1/00246 , B81C1/00341 , B82Y5/00 , Y10T29/49124
摘要： 本发明公开了制备应用于生物与医疗领域的新型微器件的方法。这些方法利用了微电子工艺技术和新工艺流程来制备微器件，该微器件在微观水平具有更好的性能、灵活性和检测和治疗疾病的能力。与现有的医疗方法中的传统疗法和设备相比，这些微器件降低了成本。应用本发明的纳米技术制备的微器件在许多领域相对于现有的传统方法有显著改善。这些改善包括但不仅限于，降低总体成本、疾病早期检测/诊断、靶向给药、靶向治疗疾病和降低治疗过程中的侵袭性。与现有的、传统的方法相比，本发明的方法更微观、更灵敏、更精确、更准确、更灵活、更有效。这个新颖的方法和现有方法相比能够达到更好的治疗效果。
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