一种柔性阵列基板、显示面板及制作方法

    公开(公告)号:CN106898614B

    公开(公告)日:2019-09-03

    申请号:CN201710109259.3

    申请日:2017-02-27

    IPC分类号: H01L27/12 H01L21/77

    摘要: 本发明提供了一种柔性阵列基板、显示面板及制作方法,涉及显示领域,用以在弯折柔性显示面板时,使张力分散到该显示面板的波形结构的每一点上,从而分散该显示面板的受力,降低了有源层和源漏极的受到的作用力,减少了有源层和源漏极断裂的概率。所述柔性阵列基板包括:上表面至少部分呈波形的栅极绝缘层,以及位于所述栅极绝缘层上依次设置的呈波形的源漏极与呈波形的有源层;其中,所述栅极绝缘层的波峰和波谷沿弯折边的方向依次交替排列;所述源漏极的波峰与所述栅极绝缘层的波峰相对应,所述源漏极的波谷与所述栅极绝缘层的波谷相对应;所述有源层的波峰与所述栅极绝缘层的波峰相对应,所述有源层的波谷与所述栅极绝缘层的波谷相对应。

    一种柔性阵列基板、显示面板及制作方法

    公开(公告)号:CN106898614A

    公开(公告)日:2017-06-27

    申请号:CN201710109259.3

    申请日:2017-02-27

    IPC分类号: H01L27/12 H01L21/77

    摘要: 本发明提供了一种柔性阵列基板、显示面板及制作方法,涉及显示领域,用以在弯折柔性显示面板时,使张力分散到该显示面板的波形结构的每一点上,从而分散该显示面板的受力,降低了有源层和源漏极的受到的作用力,减少了有源层和源漏极断裂的概率。所述柔性阵列基板包括:上表面至少部分呈波形的栅极绝缘层,以及位于所述栅极绝缘层上依次设置的呈波形的源漏极与呈波形的有源层;其中,所述栅极绝缘层的波峰和波谷沿弯折边的方向依次交替排列;所述源漏极的波峰与所述栅极绝缘层的波峰相对应,所述源漏极的波谷与所述栅极绝缘层的波谷相对应;所述有源层的波峰与所述栅极绝缘层的波峰相对应,所述有源层的波谷与所述栅极绝缘层的波谷相对应。

    一种薄膜晶体管、显示基板、显示装置及制作方法

    公开(公告)号:CN107068570A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201710276986.9

    申请日:2017-04-25

    摘要: 本发明提供一种薄膜晶体管、显示基板、显示装置及制作方法。薄膜晶体管的制作方法包括:形成具有第一凹槽结构和第二凹槽结构的有源层,第一凹槽结构和第二凹槽结构相互独立;在所第一凹槽结构和第二凹槽结构内分别沉积导电材料,以形成薄膜晶体管的源电极和漏电极。本发明的方案在有源层上形成第一凹槽结构和第二凹槽结构,之后将导电材料沉积在第一凹槽结构和第二凹槽结构内以直接形成源/漏电极。在沉积过程中,第一凹槽结构和第二凹槽结构可看成是容器,避免导电材料蔓延到有源层其他区域上,可防止导电材料的离子影响有源层的导电性能,使得薄膜晶体管在制作完成后具有较低的关态电流,从而能够更为稳定地驱动显示画面。

    一种阵列基板的制作方法、阵列基板及显示装置

    公开(公告)号:CN106024593A

    公开(公告)日:2016-10-12

    申请号:CN201610473195.0

    申请日:2016-06-24

    IPC分类号: H01L21/027 H01L21/77

    CPC分类号: H01L21/027 H01L21/77

    摘要: 本发明提供一种阵列基板的制作方法、阵列基板及显示装置。制作方法包括形成绝缘层的图形的步骤,该形成绝缘层的图形的步骤包括:涂覆一层绝缘材料以形成绝缘层;在绝缘层上形成中间层,并对中间层进行图案化处理,中间层材料的刻蚀选择比大于绝缘材料;以图案化的中间层为掩膜板,对绝缘层进行干法刻蚀,形成与图案化的中间层相同的绝缘层的图形。本发明使得刻蚀过程中,作为掩膜板的中间层的消耗程度小于绝缘层的消耗程度,从而保证中间层能够支持到绝缘层完成刻蚀,即绝缘层可通过一次刻蚀就能完成图形制作,从而提高了生产效率。此外,高刻蚀选择比的掩膜板可以被制作的更薄,因此在掩膜精度上也得到改善。

    显示面板的制造方法和显示面板

    公开(公告)号:CN107195637B

    公开(公告)日:2020-12-01

    申请号:CN201710358185.7

    申请日:2017-05-19

    IPC分类号: H01L27/12

    摘要: 本发明公开了一种显示面板的制造方法和显示面板,属于显示技术领域。所述方法包括:在形成有第一膜层结构的衬底基板上形成绝缘层;在所述绝缘层上形成过孔;在形成有所述绝缘层的衬底基板上形成接触电极和第二膜层结构,所述接触电极位于所述过孔内,使得所述第一膜层结构、所述第二膜层结构及所述接触电极三者之间均构成电连接。本发明通过在过孔处形成接触电极,以接触电极来连接两个膜层结构,解决了相关中两个膜层结构可能在过孔处断开的问题。达到了位于绝缘层两侧的两个膜层结构能够稳定的形成电连接的效果。