成膜速率检测模组、成膜设备、成膜速率检测方法

    公开(公告)号:CN107017177B

    公开(公告)日:2019-06-07

    申请号:CN201710277788.4

    申请日:2017-04-25

    IPC分类号: H01L21/66 C23C14/24

    摘要: 本发明提供一种成膜速率检测模组、成膜设备、成膜速率检测方法,属于成膜速率检测技术领域,其可至少部分解决现有的成膜速率检测技术检测准确率低的问题。本发明的成膜速率检测模组包括:多个主传感器,其用于检测其上形成薄膜的速率;遮蔽各主传感器且具有主开口的主挡板,其能运动以使主开口轮流对应每个主传感器;辅传感器,其用于检测其上形成薄膜的速率;遮蔽辅传感器且具有辅开口的辅挡板,其能周期运动,在周期运动过程中辅开口经过对应辅传感器的位置,且辅开口面积与其在一个运动周期中累积扫过面积的比为k,k小于等于1/n,n为主传感器个数。

    成膜速率检测模组、成膜设备、成膜速率检测方法

    公开(公告)号:CN107017177A

    公开(公告)日:2017-08-04

    申请号:CN201710277788.4

    申请日:2017-04-25

    IPC分类号: H01L21/66 C23C14/24

    CPC分类号: H01L22/30 C23C14/24

    摘要: 本发明提供一种成膜速率检测模组、成膜设备、成膜速率检测方法,属于成膜速率检测技术领域,其可至少部分解决现有的成膜速率检测技术检测准确率低的问题。本发明的成膜速率检测模组包括:多个主传感器,其用于检测其上形成薄膜的速率;遮蔽各主传感器且具有主开口的主挡板,其能运动以使主开口轮流对应每个主传感器;辅传感器,其用于检测其上形成薄膜的速率;遮蔽辅传感器且具有辅开口的辅挡板,其能周期运动,在周期运动过程中辅开口经过对应辅传感器的位置,且辅开口面积与其在一个运动周期中累积扫过面积的比为k,k小于等于1/n,n为主传感器个数。

    显示器件
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107358871B

    公开(公告)日:2020-12-11

    申请号:CN201710744739.7

    申请日:2017-08-25

    IPC分类号: G09F9/00 H05K5/02

    摘要: 本发明公开了一种显示器件,所述显示器件包括:盖板,所述盖板上设有盖板止裂槽;背板,所述背板上设有背板止裂槽;封装胶,所述封装胶夹持在所述盖板和所述背板之间以对所述盖板和所述背板进行密封,所述封装胶与所述盖板和所述背板的外边沿间隔设置,所述盖板止裂槽位于所述封装胶和所述盖板的外边沿之间,所述背板止裂槽位于所述封装胶和所述背板的外边沿之间。根据本发明实施例的显示器件具有防止磕碰损伤效果好、可靠性高等优点。

    显示器件
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107358871A

    公开(公告)日:2017-11-17

    申请号:CN201710744739.7

    申请日:2017-08-25

    IPC分类号: G09F9/00 H05K5/02

    摘要: 本发明公开了一种显示器件,所述显示器件包括:盖板,所述盖板上设有盖板止裂槽;背板,所述背板上设有背板止裂槽;封装胶,所述封装胶夹持在所述盖板和所述背板之间以对所述盖板和所述背板进行密封,所述封装胶与所述盖板和所述背板的外边沿间隔设置,所述盖板止裂槽位于所述封装胶和所述盖板的外边沿之间,所述背板止裂槽位于所述封装胶和所述背板的外边沿之间。根据本发明实施例的显示器件具有防止磕碰损伤效果好、可靠性高等优点。