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公开(公告)号：CN118377188A
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202410506039.4
申请日：2024-04-25
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司 , 北京京东方技术开发有限公司
摘要： 本申请实施例提供了一种掩膜框架及其制作方法、掩膜版组件，旨在提高掩膜版制造工艺的精度。掩膜框架包括：沿第一方向排布的多个第一支撑条和沿第二方向排布的多个第二支撑条，多个第一支撑条与多个第二支撑条相互交叠并围合形成多个框架开口；掩膜框架包括：第一框架区域和第二框架区域；第一支撑条与第二支撑条在第一框架区域交叠，第二框架区域围绕各框架开口；沿第三方向，第一支撑条和第二支撑条在第一框架区域的厚度之和，与第一支撑条或者第二支撑条在第二框架区域的厚度之间的差值比例小于20％；第三方向与第一方向和第二方向相互垂直；其中，在第二框架区域，第一支撑条与第二支撑条的厚度之间的差值比例小于10％。
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公开(公告)号：CN111676446B
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN202010588550.5
申请日：2020-06-24
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
摘要： 本公开是关于一种掩膜板、掩膜板结构和掩膜板制作方法，属于蒸镀领域。掩膜板包括掩膜板主体和掩膜条。掩膜板主体包括多个凹槽，多个凹槽间隔分布在掩膜板主体的第一表面，凹槽内布置有镂空结构；掩膜条位于掩膜板主体上，掩膜条的图形区域位于凹槽在第一表面的正投影内。在基板与掩膜条贴合的过程中，基板对掩膜条产生朝向掩膜板主体的力，使掩膜条的中间部分向凹槽内移动，使得掩膜条的中间部分与基板之间无摩擦力。在基板下放过程中，减小了掩膜条的图形区域的移动，减小了掩膜条的弯曲程度，提高了蒸镀形成的像素区域的精度。
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公开(公告)号：CN115087923A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202180000032.X
申请日：2021-01-15
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
摘要： 一种掩膜板组件(100)及其加工方法，掩膜板组件(100)包括框架(1)、遮挡条(2)和掩膜板(3)，框架(1)中部形成开口部(12)；遮挡条(2)设在开口部(12)处且遮挡条(2)的两端固定在框架(1)上；掩膜板(3)固定在框架(1)上，掩膜板(3)上设有蒸镀孔(31)和拉伸孔(32)，蒸镀孔(31)与开口部(12)相对，拉伸孔(32)与遮挡条(2)相对以通过遮挡条(2)遮挡拉伸孔(32)。
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公开(公告)号：CN111500981A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010525146.3
申请日：2020-06-10
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
摘要： 本发明提供一种掩膜版，所述掩膜版包括掩膜条及支撑掩膜，所述掩膜条包括多个掩膜开口区，所述支撑掩膜包括支撑条；所述掩膜条包括支撑部，所述支撑部的强度大于掩膜条除支撑部以外部分的强度，所述支撑部位于相邻的两个掩膜开口区之间，所述支撑部在所述支撑掩膜上的正投影与所述支撑条至少部分重合，所述支撑条抵靠于所述支撑部以对所述掩膜条进行支撑。支撑条通过支撑部对掩膜条的相邻掩膜开口区之间的区域进行支撑，避免掩膜条发生弯曲变形，从而提高蒸镀形成的膜层的位置精度。
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公开(公告)号：CN109097729B
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN201811151116.X
申请日：2018-09-29
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
摘要： 本发明提供一种掩膜框架、支撑板、掩膜框架组件及掩膜版组件，属于显示技术领域，其可至少部分解决现有的掩膜框架由于其与掩膜版连接不稳定而减少掩膜版的使用寿命的问题。本发明的一种掩膜框架具有第一开口和凸起，凸起设于掩膜框架用于与支撑板接触的表面上，且凸起用于与支撑板的第二开口卡合，并供掩膜版固定连接其顶面。
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公开(公告)号：CN112981329B
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN202110182514.3
申请日：2021-02-07
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
摘要： 本发明的实施例提供了一种调节装置、蒸镀机及调节方法，该调节装置包括用于放置蒸镀掩膜版的基台，基台设置有能调节高度的支撑机构，用于将蒸镀掩膜版的框架区域与待蒸镀基板贴合，通过在复杂蒸镀过程中将蒸镀掩膜版的框架区域与待蒸镀基板贴合，提高蒸镀精度，进而提升OLED良率。
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公开(公告)号：CN111850467B
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202010770113.5
申请日：2020-08-04
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
摘要： 本发明涉及显示技术领域，公开了一种金属掩膜板组件、OLED显示面板及显示装置，该金属掩膜板组件包括：掩膜板本体，掩膜板本体包括阵列分布的多个精密金属掩膜板、位于单次蒸镀区域且沿第一方向间隔排列的第一横向遮挡板、位于重复蒸镀区域的第二横向遮挡板，每一个第二横向遮挡板包括沿第一方向分布的两个第一子遮挡板，沿第一方向，第一子遮挡板的尺寸与第一横向遮挡板的尺寸相同。该金属掩膜板组件中，第一子遮挡板的宽度与第一横向遮挡板的宽度相同，使位于第一横向遮挡板与第一子遮挡板之间的精密金属掩膜板的边缘部受到的压力相同，使得精密金属掩膜板的边缘部受力均匀，可以保证精密金属掩膜板与玻璃基板贴合良好，避免造成蒸镀不良。
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公开(公告)号：CN112981329A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202110182514.3
申请日：2021-02-07
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
摘要： 本发明的实施例提供了一种调节装置、蒸镀机及调节方法，该调节装置包括用于放置蒸镀掩膜版的基台，基台设置有能调节高度的支撑机构，用于将蒸镀掩膜版的框架区域与待蒸镀基板贴合，通过在复杂蒸镀过程中将蒸镀掩膜版的框架区域与待蒸镀基板贴合，提高蒸镀精度，进而提升OLED良率。
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公开(公告)号：CN109097729A
公开(公告)日：2018-12-28
申请号：CN201811151116.X
申请日：2018-09-29
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
摘要： 本发明提供一种掩膜框架、支撑板、掩膜框架组件及掩膜版组件，属于显示技术领域，其可至少部分解决现有的掩膜框架由于其与掩膜版连接不稳定而减少掩膜版的使用寿命的问题。本发明的一种掩膜框架具有第一开口和凸起，凸起设于掩膜框架用于与支撑板接触的表面上，且凸起用于与支撑板的第二开口卡合，并供掩膜版固定连接其顶面。
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公开(公告)号：CN111850467A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN202010770113.5
申请日：2020-08-04
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
摘要： 本发明涉及显示技术领域，公开了一种金属掩膜板组件、OLED显示面板及显示装置，该金属掩膜板组件包括：掩膜板本体，掩膜板本体包括阵列分布的多个精密金属掩膜板、位于单次蒸镀区域且沿第一方向间隔排列的第一横向遮挡板、位于重复蒸镀区域的第二横向遮挡板，每一个第二横向遮挡板包括沿第一方向分布的两个第一子遮挡板，沿第一方向，第一子遮挡板的尺寸与第一横向遮挡板的尺寸相同。该金属掩膜板组件中，第一子遮挡板的宽度与第一横向遮挡板的宽度相同，使位于第一横向遮挡板与第一子遮挡板之间的精密金属掩膜板的边缘部受到的压力相同，使得精密金属掩膜板的边缘部受力均匀，可以保证精密金属掩膜板与玻璃基板贴合良好，避免造成蒸镀不良。
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