一种线性蒸发源及蒸镀装置

    公开(公告)号:CN108265267B

    公开(公告)日:2020-01-21

    申请号:CN201810253706.7

    申请日:2018-03-26

    IPC分类号: C23C14/24

    摘要: 本发明涉及有机电致发光领域,公开了一种线性蒸发源及蒸镀装置,该线性蒸发源中,包括坩埚组件,坩埚组件包括第一坩埚本体和第二坩埚本体,第一坩埚本体和第二坩埚本体间设有至少一个连接组件;盖体,盖体上设有多个喷嘴,喷嘴包括至少一个第一喷嘴和至少一个第二喷嘴,第一喷嘴和第二喷嘴处均设有第一挡板组件。上述线性蒸发源中,通过第一挡板组件将喷嘴的出料口密封,避免蒸镀材料的浪费,同时,连接组件将第一坩埚本体的内腔与第二坩埚本体的内腔连通,气化的蒸镀材料在非加热状态的坩埚本体的内腔中固化沉积,避免了坩埚组件内压力过大产生安全隐患,实现了对气化的蒸镀材料的收集,避免了蒸镀材料的浪费,提高了产能,节约了生产成本。

    一种线性蒸发源及蒸镀装置

    公开(公告)号:CN108265267A

    公开(公告)日:2018-07-10

    申请号:CN201810253706.7

    申请日:2018-03-26

    IPC分类号: C23C14/24

    摘要: 本发明涉及有机电致发光领域,公开了一种线性蒸发源及蒸镀装置,该线性蒸发源中,包括坩埚组件,坩埚组件包括第一坩埚本体和第二坩埚本体,第一坩埚本体和第二坩埚本体间设有至少一个连接组件;盖体,盖体上设有多个喷嘴,喷嘴包括至少一个第一喷嘴和至少一个第二喷嘴,第一喷嘴和第二喷嘴处均设有第一挡板组件。上述线性蒸发源中,通过第一挡板组件将喷嘴的出料口密封,避免蒸镀材料的浪费,同时,连接组件将第一坩埚本体的内腔与第二坩埚本体的内腔连通,气化的蒸镀材料在非加热状态的坩埚本体的内腔中固化沉积,避免了坩埚组件内压力过大产生安全隐患,实现了对气化的蒸镀材料的收集,避免了蒸镀材料的浪费,提高了产能,节约了生产成本。

    一种基板固定载具、蒸镀设备及蒸镀方法

    公开(公告)号:CN108203812B

    公开(公告)日:2020-02-07

    申请号:CN201810074497.X

    申请日:2018-01-25

    IPC分类号: C23C14/50 C23C14/04 C23C14/24

    摘要: 本发明公开一种基板固定载具、蒸镀设备及蒸镀方法,涉及蒸镀技术领域,以提高蒸镀过程的效率,并提高对待蒸镀基板进行蒸镀后的良率。该基板固定载具包括支撑框架和冷却板,支撑框架中部具有中空区域,支撑框架对应于中空区域的内壁上设置有支撑部;冷却板与支撑框架可相向移动,冷却板与支撑框架相向移动时,冷却板落入中空区域内,冷却板的边缘与支撑部相对;对待蒸镀基板蒸镀时,待蒸镀基板位于中空区域内,待蒸镀基板的边缘位于支撑部上,待蒸镀基板呈长方形结构,冷却板对应于待蒸镀基板的长边的边缘与对应的支撑部之间的间距大于或等于待蒸镀基板的厚度,冷却板对应于待蒸镀基板的短边的边缘与对应的支撑部之间的间距小于待蒸镀基板的厚度。

    一种基板固定载具、蒸镀设备及蒸镀方法

    公开(公告)号:CN108203812A

    公开(公告)日:2018-06-26

    申请号:CN201810074497.X

    申请日:2018-01-25

    IPC分类号: C23C14/50 C23C14/04 C23C14/24

    摘要: 本发明公开一种基板固定载具、蒸镀设备及蒸镀方法,涉及蒸镀技术领域,以提高蒸镀过程的效率,并提高对待蒸镀基板进行蒸镀后的良率。该基板固定载具包括支撑框架和冷却板,支撑框架中部具有中空区域,支撑框架对应于中空区域的内壁上设置有支撑部;冷却板与支撑框架可相向移动,冷却板与支撑框架相向移动时,冷却板落入中空区域内,冷却板的边缘与支撑部相对;对待蒸镀基板蒸镀时,待蒸镀基板位于中空区域内,待蒸镀基板的边缘位于支撑部上,待蒸镀基板呈长方形结构,冷却板对应于待蒸镀基板的长边的边缘与对应的支撑部之间的间距大于或等于待蒸镀基板的厚度,冷却板对应于待蒸镀基板的短边的边缘与对应的支撑部之间的间距小于待蒸镀基板的厚度。