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公开(公告)号：CN101681983B
公开(公告)日：2011-07-13
申请号：CN200780052368.0
申请日：2007-03-27
Inventor： 坂元隆己 , 稻垣正祥 , 哈拉尔-约翰尼斯·卡斯特尔 , 卡斯滕·舒 , 伯恩哈德·德尔加斯特 , 越智笃
IPC: H01L41/047 , H01L41/083 , H01L41/24 , F02M51/06
CPC classification number: H01L41/273 , F02M51/0603 , H01L41/0471 , H01L41/0477 , H01L41/0838 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种具有更高耐久性的多层压电元件，该多层压电元件即使在高压力和高电压下长时间连续操作时，也经历更小的位移量下降。该多层压电元件(13)包括多个压电层(11)和多个内电极层(12a，12b)，其中所述压电层和所述内电极层彼此交替层叠，并且所述多个内电极层中的至少一个含有选自氮化钛或氮化锆中的至少一种氮化物。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101536203B
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN200680056255.3
申请日：2006-10-31
Inventor： 稻垣正祥 , 坂元隆己 , 哈拉尔-约翰尼斯·卡斯特尔 , 卡斯滕·舒 , 伯恩哈德·德尔加斯特 , 越智笃
IPC: H01L41/083
CPC classification number: H01L41/0838
Abstract: 本发明提供一种多层压电元件，该多层压电元件在高电压和高压力下长时间连续操作过程中经历更小的位移量变化并且表现出高的耐久性。该多层压电元件包括具有相互层叠的金属层和压电层的层叠体和形成在所述层叠体的侧面的一对外电极，其中所述金属层中的至少一个是具有散布在两个压电层之间的部分金属层和空隙的应力消除层，其中接合部形成在所述两个压电层之间以进行接合，并且被设置在虚直线的两侧，所述虚直线在垂直于层叠方向的包括所述应力消除层的平面内，被绘制成连接所述外电极中的一个的宽度的中心和所述外电极中的另一个的宽度的中心。
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公开(公告)号：CN101681983A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200780052368.0
申请日：2007-03-27
Inventor： 坂元隆己 , 稻垣正祥 , 哈拉尔-约翰尼斯·卡斯特尔 , 卡斯滕·舒 , 伯恩哈德·德尔加斯特 , 越智笃
IPC: H01L41/047 , H01L41/083 , H01L41/24 , F02M51/06
CPC classification number: H01L41/273 , F02M51/0603 , H01L41/0471 , H01L41/0477 , H01L41/0838 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种具有更高耐久性的多层压电元件，该多层压电元件即使在高压力和高电压下长时间连续操作时，也经历更小的位移量下降。该多层压电元件(13)包括多个压电层(11)和多个内电极层(12a，12b)，其中所述压电层和所述内电极层彼此交替层叠，并且所述多个内电极层中的至少一个含有选自氮化钛或氮化锆中的至少一种氮化物。
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公开(公告)号：CN101563795B
公开(公告)日：2011-03-23
申请号：CN200680056168.8
申请日：2006-10-20
Inventor： 坂元隆己 , 稻垣正祥 , 哈拉尔-约翰尼斯·卡斯特尔 , 卡斯滕·舒 , 伯恩哈德·德尔加斯特 , 越智笃
IPC: H01L41/083 , H01L41/24
CPC classification number: H01L41/0838 , H01L41/273 , Y10T29/42
Abstract: 提供一种在高电压和高压力下长时间连续操作过程中经历更小的位移量变化并且表现出高耐久性的压电致动器装置。所述压电致动器装置包括：多层压电元件(1)，所述多层压电元件(1)具有压电层(5)和金属层(7，7a，7b)，所述压电层和所述金属层相互层叠；和外壳(3)，所述外壳(3)容纳所述多层压电元件，其中所述多个金属层中的至少一个是应力消除层，所述应力消除层由多个部分金属层和空隙组成，所述部分金属层散布于在层叠方向上邻接所述金属层的两个压电层之间的整个区域，并且至少在所述应力消除层和与其邻接的所述压电层之间的界面的一部分中形成剥离部。
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公开(公告)号：CN101563795A
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200680056168.8
申请日：2006-10-20
Inventor： 坂元隆己 , 稻垣正祥 , 哈拉尔-约翰尼斯·卡斯特尔 , 卡斯滕·舒 , 伯恩哈德·德尔加斯特 , 越智笃
IPC: H01L41/083 , H01L41/24
CPC classification number: H01L41/0838 , H01L41/273 , Y10T29/42
Abstract: 提供一种在高电压和高压力下长时间连续操作过程中经历更小的位移量变化并且表现出高耐久性的压电致动器装置。所述压电致动器装置包括：多层压电元件(1)，所述多层压电元件(1)具有压电层(5)和金属层(7，7a，7b)，所述压电层和所述金属层相互层叠；和外壳(3)，所述外壳(3)容纳所述多层压电元件，其中所述多个金属层中的至少一个是应力消除层，所述应力消除层由多个部分金属层和空隙组成，所述部分金属层散布于在层叠方向上邻接所述金属层的两个压电层之间的整个区域，并且至少在所述应力消除层和与其邻接的所述压电层之间的界面的一部分中形成剥离部。
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公开(公告)号：CN101536203A
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：CN200680056255.3
申请日：2006-10-31
Inventor： 稻垣正祥 , 坂元隆己 , 哈拉尔-约翰尼斯·卡斯特尔 , 卡斯滕·舒 , 伯恩哈德·德尔加斯特 , 越智笃
IPC: H01L41/083
CPC classification number: H01L41/0838
Abstract: 本发明提供一种多层压电元件，该多层压电元件在高电压和高压力下长时间连续操作过程中经历更小的位移量变化并且表现出高的耐久性。该多层压电元件包括具有相互层叠的金属层和压电层的层叠体和形成在所述层叠体的侧面的一对外电极，其中所述金属层中的至少一个是具有散布在两个压电层之间的部分金属层和空隙的应力消除层，其中接合部形成在所述两个压电层之间以进行接合，并且被设置在虚直线的两侧，所述虚直线在垂直于层叠方向的包括所述应力消除层的平面内，被绘制成连接所述外电极中的一个的宽度的中心和所述外电极中的另一个的宽度的中心。
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