氙气水银放电灯及光照射装置

    公开(公告)号:CN102110576B

    公开(公告)日:2015-08-05

    申请号:CN201010559091.4

    申请日:2010-11-23

    Abstract: 提供一种氙气水银放电灯及光照射装置,该氙气水银放电灯在全速/备用点灯中使用利用了氙气水银放电灯的光照射装置时,和现有的灯相比,减缓了放电容器的黑化导致的照度退化,使用寿命变长,其中,氙气水银放电灯在放电容器内使阴极和阳极构成的一对电极相对配置,在该放电容器内封入有预定量的氙气和水银,其特征在于,该放电容器由突出形状的发光部及与该发光部连接设置的在彼此相反的方向延伸的二个封固部构成,设上述发光部的发光部空间的全长为A、从该发光部空间下端到阴极前端为止的距离为B时,B/A<0.4,上述发光部从该发光部的阴极侧的封固部开始向着最大径部逐渐扩径,以使其最大径部位于阳极侧的封固部附近。

    准分子灯
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101409207A

    公开(公告)日:2009-04-15

    申请号:CN200810169269.7

    申请日:2008-10-10

    Abstract: 本发明提供一种即使长时间点灯时也把紫外线反射膜的反射率降低的程度抑制得较小、不会产生紫外线反射膜的剥落,因此可有效率地出射真空紫外光的准分子灯。本发明的准分子灯,包括具有放电空间的由二氧化硅玻璃构成的放电容器,在夹着形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态下设有一对电极,在上述放电容器的放电空间内产生准分子放电,其中,在上述放电容器的曝露于放电空间中的表面上,形成由二氧化硅粒子和氧化铝粒子形成的紫外线反射膜,该紫外线反射膜,在将上述放电容器的管壁负荷设为b[W/cm2]时,在曝露于放电空间中的表面层部分以(10b-4)wt%以上、70wt%以下的比率含有氧化铝粒子。

    闪光放射装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101202210A

    公开(公告)日:2008-06-18

    申请号:CN200710162465.7

    申请日:2007-10-15

    CPC classification number: H05B41/30

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种将闪光放电灯的脉冲电流的时间幅度进一步缩短、能对被处理物进行热处理的闪光放射装置。将从多个闪光放电灯放射的闪光照射到被处理物上的闪光放射装置的特征在于,上述闪光放射装置具有第一闪光放电灯和第二闪光放电灯,第二闪光放电灯的电流的时间幅度小于第一闪光放电灯的电流的时间幅度,在第一闪光放电灯的电流输入之后输入第二闪光放电灯的电流。

    光加热装置
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1320611C

    公开(公告)日:2007-06-06

    申请号:CN03147817.4

    申请日:2003-06-25

    CPC classification number: H01L21/67115 H05B3/0047

    Abstract: 提供一种以闪光灯为光源的光加热装置,可以防止硅晶片产生裂纹,由以下部分构成,封入了稀有气体的闪光灯(20);包围该闪光灯(20)的壳体(32);放置被该闪光灯的放射光照射的硅晶片的载物台;和控制闪光灯的发光的供电装置,其特征在于,上述载物台表面上的上述闪光灯进行一次发光时,波长范围220nm~370nm的积分放射强度A和波长范围370nm~800nm的积分放射强度B的比率B/A为1.0以上。

    加热处理方法和光加热装置

    公开(公告)号:CN113545166A

    公开(公告)日:2021-10-22

    申请号:CN202080019210.9

    申请日:2020-02-12

    Abstract: 本发明提供一种通过组合了加热灯和LED的光源,使加热对象物急速升降温的加热处理方法和光加热装置。包括:工序(A),对加热灯和LED双方供给电力,照射从所述加热灯出射的光和从所述LED出射的光而使加热对象物升温;工序(B),在所述工序(A)的执行后,使向所述加热灯供给的电力降低;以及工序(C),在所述工序(B)的执行后,使向所述LED供给的电力降低,由此使所述加热对象物降温。

    放电灯
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101188184B

    公开(公告)日:2013-08-07

    申请号:CN200710169334.1

    申请日:2007-11-22

    Abstract: 本发明提供一种放电灯,在由纯度高的材料或晶体构成的放电容器的表面,也形成含有紫外线反射率高的粒子的紫外线散射反射膜,进而紫外线散射反射膜不会脆弱地剥离。该放电灯,在由石英玻璃构成的放电容器的表面,设有由含有二氧化硅粒子的紫外线散射粒子形成的紫外线散射反射膜,在上述放电容器的至少一部分上形成有未设置上述紫外线散射反射膜而成的光射出窗,从而照射紫外线,其特征在于:上述紫外线散射反射膜在从上述放电容器的表面开始距离上述二氧化硅粒子的半径长度的范围内,上述二氧化硅粒子相对于上述紫外线散射粒子的存在比例为10以上。

    准分子灯
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101409204B

    公开(公告)日:2012-02-29

    申请号:CN200810170150.1

    申请日:2008-10-13

    CPC classification number: H01J65/00 H01J65/04

    Abstract: 本发明提供一种能以高效率放射紫外线、而且能以高均匀性照射紫外线照射对象体的紫外线照射对象面并且不会产生紫外线反射膜的剥落的准分子灯。本发明的准分子灯,一种准分子灯,包括二氧化硅玻璃制的放电容器,在由上壁板、下壁板、侧壁板及端壁板围绕而成的内部空间中,封入有通过电介质壁垒放电形成准分子分子的放电用气体,并将形成于该放电容器的上壁板的外表面上的一个电极、及形成于下壁板的外表面上的另一个电极相对地配置,其中,在上述放电容器的内表面上、至少在侧壁板内表面区域,形成由二氧化硅粒子和氧化铝粒子构成的紫外线反射膜,该紫外线反射膜以30重量%以上的比率含有二氧化硅粒子。

    放电灯
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102074451A

    公开(公告)日:2011-05-25

    申请号:CN201010547544.1

    申请日:2010-11-12

    Abstract: 本发明为了提供一种适合PSA用途的光源,提供一种放电灯,高效率地放射使单体聚合所需要的波长为300~380nm的波长范围的紫外线。该放电灯(10)具有含有作为发光气体的碘的放电容器(20)和形成在该放电容器的外表面上的一对电极(11、12),通过形成受激碘分子来放射峰值波长为342nm的紫外线,其特征在于,在上述放电容器(20)的内表面上形成有由含有二氧化硅颗粒的微小颗粒构成的紫外线反射层(30),在该紫外线反射层(30)的表面上的与一对电极(11、12)的放电路径冲突的位置形成有薄膜(40)。

    放电灯点燃装置
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1201640C

    公开(公告)日:2005-05-11

    申请号:CN98800078.4

    申请日:1998-02-04

    CPC classification number: H05B41/2806 H05B41/24 Y02B20/22

    Abstract: 提供一种能以高的效率使介质阻挡放电灯放电的放电灯点燃装置,以具有重复波形的1kV~10kV灯电压点燃将预定量的至少一种以上稀有气体密封在由电介质构成的灯管内部、且在至少一个电极和气体之间配置介质阻挡层并通过该介质阻挡层在灯管内引起放电的放电灯,该放电灯点燃装置的特征在于:作为所述重复电压波形的主要能量供给期间的波形上升或下降时间,在0.03μs以上、9μs以下;在所述重复波形的1周期内或邻接周期中,所述供给主要能量的波形间的最长间隔,在3.4μs以上。

    加热灯
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111050427B

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN201910807845.4

    申请日:2019-08-29

    Abstract: 提供一种不使加热灯大型化便提高对加热对象区域内的加热的均匀性的加热灯。加热灯的特征在于,具备:发光管,对光显示透过性;灯丝,包括位于所述发光管的端部侧的第一卷绕部和与所述第一卷绕部相比位于所述发光管的中央部侧且以比所述第一卷绕部的卷绕密度低的密度卷绕的第二卷绕部而构成;以及反射膜,形成于从所述发光管的管轴方向观察时的所述发光管的壁面的一部分。

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