公开(公告)号：CN102749805A

公开(公告)日：2012-10-24

申请号：CN201210110377.3

申请日：2012-04-13

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 市川幸司 ,  安立由香子 ,  藤田真吾

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00 ,  C07C381/12 ,  C07C309/17 ,  C07C303/32 ,  C07D327/08 ,  C07D327/06 ,  C07D333/46 ,  C07C25/18 ,  C07C17/35

CPC classification number: C07C303/22 ,  C07C303/32 ,  C07C381/12 ,  C07C2603/74 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041 ,  Y02P20/55 ,  C07C309/17

Abstract: 本发明提供光致抗蚀剂组合物和用于制备光致抗蚀剂图案的方法。一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含(A)树脂，所述树脂具有含有酸不稳定基团的结构单元和含有内酯环的结构单元；以及(B)由式(I)表示的盐：其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，n表示0或1，L1表示单键或其中亚甲基可以被氧原子或羰基代替的C1-C10烷烃二基，条件是当n是0时，L1不是单键，R1表示羟基或由保护基保护的羟基，并且Z+表示有机阳离子。

公开(公告)号：CN102890417A

公开(公告)日：2013-01-23

申请号：CN201210251310.1

申请日：2012-07-19

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 市川幸司 ,  安立由香子 ,  藤田真吾

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0045 ,  C07C303/32 ,  C07C309/06 ,  C07C309/12 ,  C07D333/46 ,  C07D335/02 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041 ,  G03F7/38 ,  Y10S430/108 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/122 ,  Y10S430/123

Abstract: 本发明公开了抗蚀剂组合物和用于生产抗蚀图案的方法。所述抗蚀剂组合物包含：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂，和由式(II)表示的酸生成剂，其中R1、A1、R2、RII1、RII2、LII1、YII1、RII3、RII4、RII5、RII6、RII7、n、s和RII8如说明书中限定。

公开(公告)号：CN102890415A

公开(公告)日：2013-01-23

申请号：CN201210251293.1

申请日：2012-07-19

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 市川幸司 ,  安立由香子 ,  藤田真吾

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0397 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/2041

Abstract: 本发明公开了抗蚀剂组合物和用于生产抗蚀图案的方法。所述抗蚀剂组合物包含：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂，和由式(II)表示的酸生成剂，其中R1、A1、A13、A14、X12、RII1、RII2、LII1、YII1、RII3、RII4、RII5、RII6、RII7、n、s和RII8如说明书中限定。

公开(公告)号：CN102731347A

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：CN201210103584.6

申请日：2012-04-10

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 安立由香子 ,  市川幸司

IPC: C07C309/17 ,  C07C303/32 ,  C07C381/12 ,  C07C25/02 ,  C07C17/00 ,  C07D333/46 ,  G03F7/004 ,  G03F7/00

CPC classification number: C07C309/12 ,  C07C25/18 ,  C07C303/32 ,  C07C309/17 ,  C07C381/12 ,  C07C2601/14 ,  C07C2603/74 ,  C07D327/08 ,  C07D333/46 ,  C08F220/28 ,  C08F220/38 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041 ,  Y02P20/55

Abstract: 本发明提供一种盐，光致抗蚀剂组合物，以及用于制备光致抗蚀剂图案的方法。所述盐由式(I)表示，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，n表示0或1，L1表示单键或其中亚甲基可以被氧原子或羰基代替的C1-C10烷烃二基，条件是当n是0时，L1不是单键，环W表示C3-C36脂族环，其中亚甲基可以被氧原子、硫原子、羰基或磺酰基代替，并且其中氢原子可以被羟基、C1-C12烷基或C1-C12烷氧基代替，R1表示羟基或由保护基团保护的羟基，并且Z+表示有机阳离子。