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公开(公告)号：CN1627993A
公开(公告)日：2005-06-15
申请号：CN02829087.9
申请日：2002-06-05
申请人： 住友精密工业株式会社
IPC分类号： B05B1/14 , B05C5/00 , B65G49/07 , H01L21/027 , H01L21/304
CPC分类号： B05C5/027 , B05B1/20 , H01L21/6715
摘要： 本发明是关于能防止涂敷结束时的液体滴落，用少量的处理液可在基板上形成膜厚度均匀的处理液膜的喷嘴装置及基板处理装置。喷嘴装置(10)，具有在下面形成的多个排出口(18)、将所供应的处理液滞留的液体滞留室(22)、与所述各排出口(18)分别连通，使处理液从各排出口(18)排出的多个液体排出流路(17)。各个液体排出流路(17)的上端设置为高于所述液体滞留室(22)的上端，他们通过连接通道(23)相互连通。并且，连接通道(23)内部的最低高度设定为0.05mm以上0.2mm以下，所述各个液体排出流路(17)的最小口径设定为0.35mm以上1.0mm以下。
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公开(公告)号：CN105009338B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201480011896.1
申请日：2014-02-05
申请人： 住友精密工业株式会社
IPC分类号： H01M8/0612 , H01M8/2425 , H01M8/2465 , H01M8/2475 , H01M8/04014 , H01M8/04082
摘要： 固体氧化物燃料电池(1)包括：电池堆(6)；改性气体导入路径(10)，其向电池堆(6)导入改性气体；氧化剂气体导入路径(11)，其向电池堆(6)导入氧化剂气体；以及冷却气体导入路径(14)，其向氧化剂气体导入路径(11)导入冷却气体。在电池堆(6)的周围设置有吸收热的吸热部(61)，冷却气体导入路径(14)经由吸热部(61)与氧化剂气体导入路径(11)连接。
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公开(公告)号：CN1455951A
公开(公告)日：2003-11-12
申请号：CN02800031.5
申请日：2002-02-21
申请人： 住友精密工业株式会社
IPC分类号： H01L21/68 , B65G49/06 , B65G49/07 , H01L21/027 , H01L21/306
CPC分类号： H01L21/67706 , B65G49/061 , H01L21/6776
摘要： 本发明涉及一种将基板从处理线的一方搬送至另一方且可在搬送中处理基板的升降式基板处理装置及具备其的基板处理系统。升降式基板处理装置具备：具有上下并排的基板投入口(11a)及基板排出口(11b)的壳体状盖体(11)；装于盖体内且具备收纳并支撑着从前述基板投入口(11a)搬入的基板并从前述基板排出口排出前述基板的搬送及支撑机构、支撑着该搬送及支撑机构的支撑架台(21)、及配设于该搬送及支撑机构的上方，用来向基板上喷出处理流体的处理流体喷出机构的处理机构(20)；以及支撑着前述处理机构(20)并使其上下升降，且使该处理机构(20)经过前述基板投入口(11a)及基板排出口(11b)的升降机构(40)。
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公开(公告)号：CN107210460A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201680007706.8
申请日：2016-02-22
申请人： 住友精密工业株式会社
IPC分类号： H01M8/0271 , H01M8/02 , H01M8/2465 , H01M8/12
CPC分类号： H01M8/0271 , H01M8/02 , H01M8/12 , H01M8/24
摘要： 本发明提供一种燃料电池。该燃料电池中，在电池座(40)设置有用于流入到电池座(40)的框内的流入路径(44)，在流入路径(44)内设置有用于支承绝缘部(50)及第1密封部件(60)的凸状的支承部(34)。
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公开(公告)号：CN100479092C
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN03153713.8
申请日：2003-08-18
申请人： 住友精密工业株式会社
摘要： 本发明提供一种基板处理装置，其具有从处理线其中一处朝另一处传送基板的功能，且可在传送中有效地处理基板。基板处理装置(10)由外壳体(11)、处理机构(20)和升降机构(40)构成。外壳体(11)具有在上下处并设的基板投入口(11a)和基板排出口(11b)，呈框体状。处理机构(20)内置于外壳体(11)内，包括：容纳并支持从基板投入口(11a)送入的基板、从基板排出口(11b)排出基板的传送-支持机构；支持传送-支持机构的支持架台(21)；使传送-支持机构支持的基板倾斜的基板倾斜机构；设于传送-支持机构上方、将处理流体喷到由基板倾斜机构倾斜的基板上的处理流体喷出机构。升降机构(40)支持处理机构(20)并使其沿上下方向升降，使处理机构(20)经过基板投入口(11a)和基板排出口(11b)。
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公开(公告)号：CN1582202A
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：CN01823874.2
申请日：2001-12-17
申请人： 住友精密工业株式会社
IPC分类号： B05B1/14 , B05C5/00 , B05C11/08 , H01L21/304 , H01L21/306
CPC分类号： H01L21/6715 , B05C5/0208 , B05C5/027 , B08B3/041 , B41J3/407 , G03F7/16 , G03F7/162
摘要： 本发明涉及能以少量的处理液、而且在基板上形成均匀膜厚的处理液膜的喷嘴装置及具备该喷嘴装置的基板处理装置。喷嘴装置(10)，具备：多个喷出口(18)，形成于下面；储液室(22)，使所供给的处理液滞留；以及，液喷出流路(23、17)，一方连通于各喷出口(18)，另一方连通于储液室(22)，使滞留于储液室(22)的处理液流通至喷出口(18)，从喷出口(18)喷出。喷出口(18)，沿喷嘴装置(10)的长边方向排列成多列，并且各列的喷出口(18)配置于邻接的喷出口(18)列的各喷出口配置间，使各喷出口(18)沿排列方向配设成交错状。
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公开(公告)号：CN1455948A
公开(公告)日：2003-11-12
申请号：CN02800028.5
申请日：2002-03-08
申请人： 住友精密工业株式会社
IPC分类号： H01L21/304 , B08B3/02 , F26B5/14 , F26B15/12
CPC分类号： H01L21/67057 , B08B3/022 , B08B5/023 , F26B5/14 , F26B15/12 , H01L21/67034
摘要： 本发明涉及一边以运送机构运送基板，一边依序对基板施以湿式及干式处理的基板处理装置。该基板处理装置具备：用来运送基板(W)的运送机构(1)；对被运送的基板(W)施以湿式处理的湿式处理部(WET)；配设于比湿式处理部(WET)更靠运送方向下流侧，使处理液形成膜状后供给至基板(W)上的膜液供给机构(4)；以及其开口部以与基板(W)的全面相对向的方式配置于膜液供给机构(4)的运送方向下流侧，由开口部喷出气体，产生板状气流的气体喷出机构。
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公开(公告)号：CN105189345A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201480014332.3
申请日：2014-03-11
申请人： 住友精密工业株式会社
CPC分类号： C01B3/38 , B01J8/0465 , B01J8/0496 , B01J2208/00504 , B01J2208/0053 , B01J2208/00849 , B01J2208/02 , C01B3/384 , C01B2203/0227 , C01B2203/0233 , C01B2203/066 , C01B2203/0816 , C01B2203/0822 , C01B2203/0827 , C01B2203/1288 , C01B2203/1294 , H01M8/0618 , H01M2008/1293 , Y02P20/128
摘要： 燃料改性器(20)借助催化作用，并利用燃料气体来生成改性气体。包括布置在燃烧室(24)内的燃烧喷嘴(30)、排气管(15)、气体流通空隙(25)、外侧改性部(43)、燃料气体引入管(10)以及改性气体引出管(11)。柱状突出部(40)设置在燃烧室(24)内。
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公开(公告)号：CN1215536C
公开(公告)日：2005-08-17
申请号：CN02800030.7
申请日：2002-03-08
申请人： 住友精密工业株式会社
IPC分类号： H01L21/306
CPC分类号： H01L21/67126 , H01L21/67057
摘要： 本发明提供一种具备确实可以防止容器气体向外泄漏的外漏阻绝构造的容器。该容器，由上部开口且具有一定的内容积的容器本体(3)、以及载置于容器本体(3)上的闭塞开口部(11)的盖体(21)所构成。在容器本体(3)的上端部(10)外周，形成上部开口的环状的凹槽部(12)，该凹槽部(12)内可以贮存液体。并且，在盖体(21)的边缘，形成从该边缘部向下垂的下垂部，将该下垂部以其下端部浸泡于凹槽部(12)内的液体中的状态外嵌于容器本体(3)的上端部(10)。
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公开(公告)号：CN1455949A
公开(公告)日：2003-11-12
申请号：CN02800030.7
申请日：2002-03-08
申请人： 住友精密工业株式会社
IPC分类号： H01L21/306
CPC分类号： H01L21/67126 , H01L21/67057
摘要： 本发明提供一种具备确实可以防止容器气体向外泄漏的外漏阻绝构造的容器。该容器，由上部开口且具有一定的内容积的容器本体(3)、以及载置于容器本体(3)上的闭塞开口部(11)的盖体(21)所构成。在容器本体(3)的上端部(10)外周，形成上部开口的环状的凹槽部(12)，该凹槽部(12)内可以贮存液体。并且，在盖体(21)的边缘，形成从该边缘部向下垂的下垂部，将该下垂部以其下端部浸泡于凹槽部(12)内的液体中的状态外嵌于容器本体(3)的上端部(10)。
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