公开(公告)号：CN114914141A

公开(公告)日：2022-08-16

申请号：CN202210117792.5

申请日：2022-02-08

Applicant: 住友重机械离子科技株式会社

Inventor： 山口干夫 ,  石桥和久 ,  工藤哲也

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/304

Abstract: 本发明可加速动作参数的调整。离子注入装置具备：射束生成装置，生成照射到工作件的离子束；控制装置(52)，设定用于控制射束生成装置的动作的多个动作参数；测定装置，测定离子束的至少一种射束特性；存储装置(56)，累积将多个动作参数的设定值集与离子束的至少一种射束特性的测定值建立对应关联的数据集；及分析装置(54)，根据累积于存储装置(56)的多个数据集，生成用于根据多个动作参数中所包含的至少一个特定参数的设定值推算至少一种射束特性的函数。在变更多个动作参数中所包含的至少一个特定参数的设定值时，控制装置(52)对函数输入至少一个特定参数的变更后的设定值来计算出至少一种射束特性的推算值。

公开(公告)号：CN113363128A

公开(公告)日：2021-09-07

申请号：CN202110238943.8

申请日：2021-03-04

Applicant: 住友重机械离子科技株式会社

Inventor： 石桥和久 ,  工藤哲也 ,  山口干夫

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/244 ,  H01J37/304 ,  G06F30/20

Abstract: 本发明评价离子束的物理量的测定的妥当性。离子注入装置(10)具备：射束生成装置，根据注入配方生成离子束；多个测定装置，测定离子束的至少一个物理量；及控制装置(60)，获取包含通过多个测定装置测定的多个测定值的数据集，使用表示多个测定值的相关关系的模型，评价离子束的至少一个物理量的测定的妥当性。