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公开(公告)号：CN104822856B
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201380062362.7
申请日：2013-08-23
申请人： 佳能安内华股份有限公司
IPC分类号： C23C14/34
CPC分类号： H01J37/3417 , C23C14/352 , H01J37/32715 , H01J37/3405 , H01J37/3435 , H01J37/3447
摘要： 一种溅射装置，所述溅射装置包括腔室、可以在所述腔室中保持基板并围绕与在基板保持表面垂直的轴线转动的基板保持件、第一至第四靶材保持件、遮挡单元、及通过其传送基板的闸阀。第一至第四靶材保持件布置在具有长边及短边并内接于以所述轴线为中心的假想圆的假想长方形的顶点上，第一靶材保持件及第二靶材保持件分别布置在假想长方形的限定一个短边的两个顶点上，并且第一靶材保持件及第二靶材保持件到闸阀的距离小于第三靶材保持件及第四靶材保持件到闸阀的距离。
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公开(公告)号：CN104812933B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201380062382.4
申请日：2013-08-23
申请人： 佳能安内华股份有限公司
IPC分类号： C23C14/34
CPC分类号： H01J37/3447 , C23C14/352 , H01J37/3405
摘要： 溅镀装置设有挡板单元、多个靶材保持器、以及能够围绕与保持基板的表面垂直的轴线旋转的基板保持器。挡板单元包括第一挡板和第二挡板，所述第一挡板具有第一开口及第二开口，所述第二挡板具有第三开口及第四开口。靶材保持器设置在以上述轴线为中心的第一假想圆上，沿着第一假想圆的靶材保持器之间的距离组包含至少两种距离。沿着第二假想圆的从前述第一开口的中心延伸到前述第二开口的中心的弧的中心角等于沿着第三假想圆的从前述第三开口的中心延伸到前述第四开口的中心的弧的中心角，并且还等于从第一靶材保持器的中心延伸到第二靶材保持器的中心的弧的中心角，所述第一靶材保持器和第二靶材保持器是沿着第一假想圆彼此最远离的靶材保持器。
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公开(公告)号：CN104822856A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201380062362.7
申请日：2013-08-23
申请人： 佳能安内华股份有限公司
IPC分类号： C23C14/34
CPC分类号： H01J37/3417 , C23C14/352 , H01J37/32715 , H01J37/3405 , H01J37/3435 , H01J37/3447
摘要： 一种溅射装置，所述溅射装置包括腔室、可以在所述腔室中保持基板并围绕与在基板保持表面垂直的轴线转动的基板保持件、第一至第四靶材保持件、遮挡单元、及通过其传送基板的闸阀。第一至第四靶材保持件布置在具有长边及短边并内接于以所述轴线为中心的假想圆的假想长方形的顶点上，第一靶材保持件及第二靶材保持件分别布置在假想长方形的限定一个短边的两个顶点上，并且第一靶材保持件及第二靶材保持件到闸阀的距离小于第三靶材保持件及第四靶材保持件到闸阀的距离。
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公开(公告)号：CN104812933A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201380062382.4
申请日：2013-08-23
申请人： 佳能安内华股份有限公司
IPC分类号： C23C14/34
CPC分类号： H01J37/3447 , C23C14/352 , H01J37/3405
摘要： 溅镀装置设有挡板单元、多个靶材保持器、以及能够围绕与保持基板的表面垂直的轴线旋转的基板保持器。挡板单元包括第一挡板和第二挡板，所述第一挡板具有第一开口及第二开口，所述第二挡板具有第三开口及第四开口。靶材保持器设置在以上述轴线为中心的第一假想圆上，沿着第一假想圆的靶材保持器之间的距离组包含至少两种距离。沿着第二假想圆的从前述第一开口的中心延伸到前述第二开口的中心的弧的中心角等于沿着第三假想圆的从前述第三开口的中心延伸到前述第四开口的中心的弧的中心角，并且还等于从第一靶材保持器的中心延伸到第二靶材保持器的中心的弧的中心角，所述第一靶材保持器和第二靶材保持器是沿着第一假想圆彼此最远离的靶材保持器。
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