公开(公告)号：CN101727920A

公开(公告)日：2010-06-09

申请号：CN200910208119.7

申请日：2009-10-28

申请人： 佳能安内华股份有限公司

发明人： 萩原到 ,  野泽直之

IPC分类号： G11B5/84

CPC分类号： G05B19/4189 ,  G05B2219/31014 ,  H01L21/67742 ,  Y02P80/40 ,  Y02P90/08 ,  Y02P90/28 ,  Y02P90/285 ,  Y10T29/49069

摘要： 本发明涉及一种衬底传输设备，其包括：通过闸阀相互连接的室；传输机构，其构造成打开闸阀并在室之间沿着传输路径传输载体；传感器，其构造成在载体到达室中的停止位置之前检测载体；以及控制器，其构造成基于来自传感器的检测信号而使闸阀开始关闭。

公开(公告)号：CN101727920B

公开(公告)日：2012-02-22

申请号：CN200910208119.7

申请日：2009-10-28

申请人： 佳能安内华股份有限公司

发明人： 萩原到 ,  野泽直之

IPC分类号： G11B5/84

CPC分类号： G05B19/4189 ,  G05B2219/31014 ,  H01L21/67742 ,  Y02P80/40 ,  Y02P90/08 ,  Y02P90/28 ,  Y02P90/285 ,  Y10T29/49069

摘要： 本发明涉及一种衬底传输设备，其包括：通过闸阀相互连接的室；传输机构，其构造成打开闸阀并在室之间沿着传输路径传输载体；传感器，其构造成在载体到达室中的停止位置之前检测载体；以及控制器，其构造成基于来自传感器的检测信号而使闸阀开始关闭。