公开(公告)号：CN105700291B

公开(公告)日：2020-11-17

申请号：CN201510885990.6

申请日：2015-12-04

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 相原泉太郎 ,  上野武彦

IPC: G03F7/00

Abstract: 公开了压印装置、压印方法和制造物品的方法。本发明提供了执行利用模具在基板上形成压印材料的图案的压印处理的压印装置，该装置包括：被配置成感测模具和基板当中至少一个并且获得图像的图像感测单元，以及被配置成确定压印处理的正常/异常的确定单元，其中，压印处理包括将压印材料供给到基板上的第一步骤以及使模具和基板上的压印材料彼此接触的第二步骤，并且确定单元针对压印处理的每个步骤改变确定压印处理的正常/异常的基准并且基于由图像感测单元感测到的图像来确定压印处理的正常/异常。

公开(公告)号：CN105700291A

公开(公告)日：2016-06-22

申请号：CN201510885990.6

申请日：2015-12-04

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 相原泉太郎 ,  上野武彦

IPC: G03F7/00

Abstract: 公开了压印装置、压印方法和制造物品的方法。本发明提供了执行利用模具在基板上形成压印材料的图案的压印处理的压印装置，该装置包括：被配置成感测模具和基板当中至少一个并且获得图像的图像感测单元，以及被配置成确定压印处理的正常/异常的确定单元，其中，压印处理包括将压印材料供给到基板上的第一步骤以及使模具和基板上的压印材料彼此接触的第二步骤，并且确定单元针对压印处理的每个步骤改变确定压印处理的正常/异常的基准并且基于由图像感测单元感测到的图像来确定压印处理的正常/异常。

公开(公告)号：CN105359254A

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201480036290.3

申请日：2014-06-18

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  吉田贵志 ,  佐藤仁至 ,  川崎阳司 ,  饭村晶子 ,  山下敬司 ,  上野武彦

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B29C59/002 ,  B29C59/005 ,  B29C59/022 ,  B29C59/026 ,  B29K2033/08 ,  B29K2105/0005

Abstract: 一种压印方法，其包括：将光固化性组合物布置在工件基板上(布置)；在冷凝性气体环境中使所述光固化性组合物和模具彼此接触(接触)；对准所述模具和所述工件基板(对准)；用光照射所述光固化性组合物以获得光固化了的组合物(照射)；以及使所述光固化了的组合物和所述模具在照射后彼此分离(脱模)。在所述对准期间所述光固化性组合物的膜厚度比脱模后的所述光固化了的组合物的膜厚度厚20％或更多。