公开(公告)号：CN105280263A

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201510442291.4

申请日：2015-07-24

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 手岛隆行 ,  冈有纱

IPC: G21K1/06 ,  H05H1/46 ,  G01N23/04

CPC classification number: A61B6/484 ,  A61B6/032 ,  A61B6/4035 ,  C25D5/02 ,  G21K1/062 ,  G21K1/067 ,  G21K1/10 ,  G21K2201/061 ,  G21K2201/067 ,  G21K2207/005

Abstract: 结构体，其包括：具有多个凹部的硅基板，每个凹部具有底部和侧壁；硅化物层，每个硅化物层与凹部的底部接触；和包括金属部的金属结构体，每个金属部设置在凹部中并且与硅化物层接触。通过硅基板将硅化物层彼此电连接。

公开(公告)号：CN109920577B

公开(公告)日：2024-01-19

申请号：CN201910177944.9

申请日：2015-07-24

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 手岛隆行 ,  冈有纱

IPC: G21K1/10

Abstract: 本发明提供结构体、其制造方法和塔尔博干涉仪。结构体，其包括：具有多个凹部的硅基板，每个凹部具有底部和侧壁；硅化物层，每个硅化物层与凹部的底部接触；和包括金属部的金属结构体，每个金属部设置在凹部中并且与硅化物层接触。通过硅基板将硅化物层彼此电连接。

公开(公告)号：CN109920577A

公开(公告)日：2019-06-21

申请号：CN201910177944.9

申请日：2015-07-24

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 手岛隆行 ,  冈有纱

IPC: G21K1/10

Abstract: 本发明提供结构体、其制造方法和塔尔博干涉仪。结构体，其包括：具有多个凹部的硅基板，每个凹部具有底部和侧壁；硅化物层，每个硅化物层与凹部的底部接触；和包括金属部的金属结构体，每个金属部设置在凹部中并且与硅化物层接触。通过硅基板将硅化物层彼此电连接。

公开(公告)号：CN105280263B

公开(公告)日：2019-03-26

申请号：CN201510442291.4

申请日：2015-07-24

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 手岛隆行 ,  冈有纱

IPC: G21K1/06 ,  H05H1/46 ,  G01N23/04

Abstract: 结构体，其包括：具有多个凹部的硅基板，每个凹部具有底部和侧壁；硅化物层，每个硅化物层与凹部的底部接触；和包括金属部的金属结构体，每个金属部设置在凹部中并且与硅化物层接触。通过硅基板将硅化物层彼此电连接。