公开(公告)号：CN114326319A

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202111147421.3

申请日：2021-09-29

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 大豆生田吉广

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及载置台装置、光刻装置以及物品的制造方法。提供有利于降低第1载置台与第2载置台产生干扰的可能性的技术。一种载置台装置，具备：第1载置台，能够移动；第2载置台，能够在所述第1载置台之上移动；以及控制部，将所述第2载置台相对于所述第1载置台的倾斜量控制成目标倾斜量，在所述载置台装置中，所述控制部根据所述第1载置台的移动区间来设定所述目标倾斜量而控制所述倾斜量。

公开(公告)号：CN117631467A

公开(公告)日：2024-03-01

申请号：CN202311076320.0

申请日：2023-08-24

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 大豆生田吉广

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00

Abstract: 公开了信息处理装置、信息处理方法、存储介质、曝光装置、曝光方法和物品制造方法。本发明提供了一种信息处理装置，所述信息处理装置包括被配置为生成用于使显示单元将以下中的任一个作为显示信息的图显示像信息的生成器：与第一信息和第二信息之间的差异对应的差异信息；指示在多个压射区域中的每一个的曝光处理期间基板的高度和姿势中的至少一个的信息；以及指示通过对多个压射区域中的每一个测量基板的表面位置而获得的测量结果的信息。

公开(公告)号：CN110426919B

公开(公告)日：2022-12-13

申请号：CN201910349381.7

申请日：2019-04-28

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 吉田宏二 ,  本岛顺一 ,  西村光英 ,  大豆生田吉广

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供控制设备、光刻装置和物品的制造方法。该控制设备通过向控制对象提供前馈操纵值来进行控制对象的位置控制，其中，所述设备针对控制对象将被布置的多个位置中的各位置，获得当向控制对象提供第一操纵值时获得的控制对象的第一输出响应的测量结果，基于在所述多个位置处分别获得的测量结果确定第一输出响应的基准值，通过基于第一操纵值与基准值之间的关系按时间序列排列多个第一操纵值来确定第二操纵值，并基于第二操纵值设置前馈操纵值。

公开(公告)号：CN110426919A

公开(公告)日：2019-11-08

申请号：CN201910349381.7

申请日：2019-04-28

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 吉田宏二 ,  本岛顺一 ,  西村光英 ,  大豆生田吉广

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供控制设备、光刻装置和物品的制造方法。该控制设备通过向控制对象提供前馈操纵值来进行控制对象的位置控制，其中，所述设备针对控制对象将被布置的多个位置中的各位置，获得当向控制对象提供第一操纵值时获得的控制对象的第一输出响应的测量结果，基于在所述多个位置处分别获得的测量结果确定第一输出响应的基准值，通过基于第一操纵值与基准值之间的关系按时间序列排列多个第一操纵值来确定第二操纵值，并基于第二操纵值设置前馈操纵值。