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公开(公告)号：CN116651699A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310187214.3
申请日：2023-02-23
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明涉及基板处理装置以及物品制造方法。基板处理装置具备：多个处理部；搬送机构，其在所述多个处理部之间搬送基板；以及控制部。所述多个处理部包括：涂布部，其将成膜溶液涂布于基板；干燥部，其使由所述涂布部涂布于基板的成膜溶液干燥，所述控制部判断是否能够从由所述涂布部对处理基板开始涂布成膜溶液起在既定时间内由所述搬送机构将所述处理基板搬送到所述干燥部，在判断为能够进行该搬送的情况下，所述控制部控制所述涂布部，使得将成膜溶液涂布于所述处理基板。
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公开(公告)号：CN118190802A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202311686949.7
申请日：2023-12-08
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G01N21/01 , G01N21/892 , G01B11/00
Abstract: 本发明涉及具备2个位置检测器的装置以及物品制造方法。装置具备：第1位置检测器，用于检测第1构件的第1检测对象的位置；以及第2位置检测器，用于检测与所述第1构件对置配置的第2构件的第2检测对象的位置。所述第1位置检测器能够包括第1图像传感器和在所述第1图像传感器的摄像面形成所述第1检测对象的像的第1光学系统。所述第2位置检测器能够包括第2图像传感器和在所述第2图像传感器的摄像面形成所述第2检测对象的像的第2光学系统。所述第1位置检测器和所述第2位置检测器能够构成为能利用所述第2图像传感器经由所述第1光学系统和所述第2光学系统拍摄所述第1图像传感器。
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公开(公告)号：CN110426919B
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN201910349381.7
申请日：2019-04-28
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供控制设备、光刻装置和物品的制造方法。该控制设备通过向控制对象提供前馈操纵值来进行控制对象的位置控制，其中，所述设备针对控制对象将被布置的多个位置中的各位置，获得当向控制对象提供第一操纵值时获得的控制对象的第一输出响应的测量结果，基于在所述多个位置处分别获得的测量结果确定第一输出响应的基准值，通过基于第一操纵值与基准值之间的关系按时间序列排列多个第一操纵值来确定第二操纵值，并基于第二操纵值设置前馈操纵值。
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公开(公告)号：CN110426919A
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201910349381.7
申请日：2019-04-28
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供控制设备、光刻装置和物品的制造方法。该控制设备通过向控制对象提供前馈操纵值来进行控制对象的位置控制，其中，所述设备针对控制对象将被布置的多个位置中的各位置，获得当向控制对象提供第一操纵值时获得的控制对象的第一输出响应的测量结果，基于在所述多个位置处分别获得的测量结果确定第一输出响应的基准值，通过基于第一操纵值与基准值之间的关系按时间序列排列多个第一操纵值来确定第二操纵值，并基于第二操纵值设置前馈操纵值。
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