公开(公告)号：CN103295863A

公开(公告)日：2013-09-11

申请号：CN201310057029.9

申请日：2013-02-22

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 大石哲 ,  村木真人 ,  千德孝一 ,  山口渉 ,  稻秀树

IPC: H01J37/153

CPC classification number: H01J37/3174 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/26 ,  H01J37/3045 ,  H01J37/3177

Abstract: 本发明涉及描绘设备以及制造物品的方法。一种利用多个带电粒子束在衬底上描绘图案的描绘设备包括：带电粒子光学系统，被配置为将多个带电粒子束发射到衬底上；以及控制器，被配置为控制带电粒子光学系统的操作。控制器被配置为控制所述操作以便补偿基于衬底的表面的起伏的第一数据和多个带电粒子束中的每一个带电粒子束相对于带电粒子光学系统的轴的倾斜的第二数据而确定的图案的畸变。

公开(公告)号：CN103091840A

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN201210405108.X

申请日：2012-10-23

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 山口渉 ,  稻秀树

IPC: G02B27/00 ,  G02B7/00 ,  G03F7/20 ,  G01B11/00 ,  H01J37/26

CPC classification number: G03F9/7069 ,  G02B21/08 ,  H01J37/09 ,  H01J37/22 ,  H01J37/26

Abstract: 本发明提供了光学设备、位置检测设备、显微镜设备以及曝光设备。该光学设备包括：孔径光阑，包括第一孔和第二孔并且被固定在照明光学系统的光瞳面上，第一孔被配置为将用于照射照明表面的照明条件限定为第一条件，第二孔被配置为将照明条件限定为第二条件；遮光板；以及驱动单元，被配置为在将照明条件设定为第一条件时定位遮光板以使得遮光区域遮蔽从光源通过第二孔延伸到照明表面的第二路径，以及在将照明条件设定为第二条件时定位遮光板以使得遮光区域遮蔽从光源通过第一孔延伸到照明表面的第一路径。