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公开(公告)号：CN1038673A
公开(公告)日：1990-01-10
申请号：CN89103425.0
申请日：1989-05-25
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C23C16/48
CPC classification number: H01J37/32357 , H05H1/46
Abstract: 一种微波等离子体处理装置包括真空容器、靠微波传输电路把微波导入该容器的装置、向容器内供给原料气体的装置、将容器抽空的装置和样品支架，微波传输电路中设置有与两个匹配电路成一体的空腔谐振器，谐振器外侧设有磁场产生器。该装置的主要特点是：用调节谐振器长度的塞子和圆筒形滑动隔膜、E-H或三短截线式调谐器使匹配容易进行；谐振器内设一钟罩以激励TM模式；在谐振器外安装磁场产生器以提供高磁通密度区域。
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