公开(公告)号：CN1041366C

公开(公告)日：1998-12-23

申请号：CN94120764.1

申请日：1994-12-30

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 德武伸郎 ,  佐野政史 ,  林享 ,  东川诚

IPC: H01L31/18 ,  C23G3/02 ,  C23G5/00

CPC classification number: H01L31/076 ,  H01L31/03921 ,  H01L31/056 ,  H01L31/202 ,  H01L31/204 ,  H01L31/206 ,  Y02E10/52 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明试图提供一种稳定持久高产的制造光电换能器方法，其具有高转换效率和高可靠性便于长期耐用，其特征在于，制造光电换能器的方法，其具有在导电基片上形成功能薄膜，它包括用含水的清洗液对导电基片提供超声清洗，使导电基片表面与净化水接触，并形成功能薄膜。功能薄膜的特征在于，其形成有一金属层作为光反射层，一反射加强层，和一半导体光电器件层，其通过等离子CVD法来制备，其包括含硅原子的非单晶材料作为基质。

公开(公告)号：CN1112294A

公开(公告)日：1995-11-22

申请号：CN94120764.1

申请日：1994-12-30

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 德武伸郎 ,  佐野政史 ,  林享 ,  东川诚

IPC: H01L31/18

CPC classification number: H01L31/076 ,  H01L31/03921 ,  H01L31/056 ,  H01L31/202 ,  H01L31/204 ,  H01L31/206 ,  Y02E10/52 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明试图提供一种稳定持久高产的制造光电换能器方法，其具有高转换效率和高可靠性便于长期耐用，其特征在于，制造光电换能器的方法，其具有在导电基片上形成功能薄膜，它包括用含水的清洗液对导电基片提供超声清洗，使导电基片表面与净化水接触，并形成功能薄膜。功能薄膜的特征在于，其形成有一金属层作为光反射层，一反射加强层，和一半导体光电器件层，其通过等离子CVD法来制备，其包括含硅原子的非单晶材料作为基质。