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公开(公告)号:CN110412704B
公开(公告)日:2022-03-29
申请号:CN201910341356.4
申请日:2019-04-26
申请人: 佳能株式会社
摘要: 本发明涉及光学装置、曝光装置、光学装置制造方法和物品制造方法。一种光学装置包括光学部件、被配置为支撑光学部件的支撑机构、操纵机构,该操纵机构被配置为在接触光学部件的同时操纵光学部件,使得光学部件的状态改变。通过操纵机构将光学部件从光学部件由支撑机构支撑的第一状态改变为光学部件由操纵机构支撑的第二状态。
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公开(公告)号:CN110412704A
公开(公告)日:2019-11-05
申请号:CN201910341356.4
申请日:2019-04-26
申请人: 佳能株式会社
摘要: 本发明涉及光学装置、曝光装置、光学装置制造方法和物品制造方法。一种光学装置包括光学部件、被配置为支撑光学部件的支撑机构、操纵机构,该操纵机构被配置为在接触光学部件的同时操纵光学部件,使得光学部件的状态改变。通过操纵机构将光学部件从光学部件由支撑机构支撑的第一状态改变为光学部件由操纵机构支撑的第二状态。
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