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公开(公告)号：CN112147855A
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN202010587042.5
申请日：2020-06-24
申请人： 佳能株式会社
摘要： 本发明提供一种保持装置、曝光装置、物品制造方法。为了提供能够以再现光学面的形状的方式保持光学元件的保持装置，本发明所涉及的保持装置以使光学元件的光学面的面法线与重力方向非平行的方式，保持光学元件，其中，具备：保持光学元件的台座及载置台座的载置台，台座及载置台相互针对的接触面的一方是曲面；以及按压机构，夹着与面法线垂直的第1剖面，从两侧以预定的按压力按压光学元件。
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公开(公告)号：CN112147855B
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202010587042.5
申请日：2020-06-24
申请人： 佳能株式会社
摘要： 本发明提供一种保持装置、曝光装置、物品制造方法。为了提供能够以再现光学面的形状的方式保持光学元件的保持装置，本发明所涉及的保持装置以使光学元件的光学面的面法线与重力方向非平行的方式，保持光学元件，其中，具备：保持光学元件的台座及载置台座的载置台，台座及载置台相互针对的接触面的一方是曲面；以及按压机构，夹着与面法线垂直的第1剖面，从两侧以预定的按压力按压光学元件。
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公开(公告)号：CN110412704B
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN201910341356.4
申请日：2019-04-26
申请人： 佳能株式会社
摘要： 本发明涉及光学装置、曝光装置、光学装置制造方法和物品制造方法。一种光学装置包括光学部件、被配置为支撑光学部件的支撑机构、操纵机构，该操纵机构被配置为在接触光学部件的同时操纵光学部件，使得光学部件的状态改变。通过操纵机构将光学部件从光学部件由支撑机构支撑的第一状态改变为光学部件由操纵机构支撑的第二状态。
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公开(公告)号：CN110412704A
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201910341356.4
申请日：2019-04-26
申请人： 佳能株式会社
摘要： 本发明涉及光学装置、曝光装置、光学装置制造方法和物品制造方法。一种光学装置包括光学部件、被配置为支撑光学部件的支撑机构、操纵机构，该操纵机构被配置为在接触光学部件的同时操纵光学部件，使得光学部件的状态改变。通过操纵机构将光学部件从光学部件由支撑机构支撑的第一状态改变为光学部件由操纵机构支撑的第二状态。
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公开(公告)号：CN118584651A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410211359.7
申请日：2024-02-27
申请人： 佳能株式会社
摘要： 本发明涉及一种光学装置、投影光学系统、曝光装置和物品制造方法。光学装置具备：第1凹面反射镜，具有第1反射面；第2凹面反射镜，与前述第1凹面反射镜分离地配置，所述第2凹面反射镜具有第2反射面；以及整流部，将沿着前述第2凹面反射镜的前述第2反射面流动的前述气流向前述第1凹面反射镜的前述第1反射面引导。
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公开(公告)号：CN114815514A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210076491.2
申请日：2022-01-24
申请人： 佳能株式会社
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明涉及光学系统、曝光装置以及物品制造方法。包括第1光学元件和第2光学元件的光学系统具备支承所述第1光学元件的多个第1支承部、支承所述第2光学元件的多个第2支承部、分别调整所述多个第1支承部的位置的多个第1线性调整机构以及分别调整所述多个第2支承部的位置的多个第2线性调整机构。通过由所述多个第1线性调整机构对所述多个第1支承部的位置进行的调整，所述第1光学元件至少关于第1轴被进行调整，通过由所述多个第2线性调整机构对所述多个第2支承部的位置进行的调整，所述第2光学元件至少关于与所述第1轴不同的第2轴被进行调整。
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