固态成像设备及其制造方法

    公开(公告)号:CN103928479B

    公开(公告)日:2017-01-04

    申请号:CN201410013400.6

    申请日:2014-01-13

    CPC classification number: H01L27/14685 H01L27/14621 H01L27/14627

    Abstract: 本发明公开了固态成像设备及其制造方法。本发明提供了一种固态成像设备,其具有在各滤色器周围提供的中空部并且实现了对于各滤色器的剥离的阻止。该固态成像设备在半导体基板上设置有多个光接收部,该固态成像设备包含与多个光接收部中的每一个对应地布置的多个滤色器;以及在多个滤色器中的每一个周围形成的中空部,其中,滤色器中的每一个具有与相邻的一个或多个滤色器接触的一周边部分。

    固态图像拾取设备及其制造方法

    公开(公告)号:CN103928480B

    公开(公告)日:2018-02-16

    申请号:CN201410020040.2

    申请日:2014-01-16

    CPC classification number: H01L27/14685 H01L27/14621 H01L27/14627

    Abstract: 本发明公开了固态图像拾取设备及其制造方法。当在各滤色器之间形成中空部时,为了实现具有较窄宽度的中空部的形成,在半导体基板的上表面上形成多个光接收部,在半导体基板之上形成与各光接收部对应的多个滤色器,在各滤色器上形成光致抗蚀剂,在光致抗蚀剂的侧表面上形成侧壁,以及通过至少使用该侧壁作为掩模执行蚀刻来在各滤色器之间形成中空部。

    固态成像设备及其制造方法

    公开(公告)号:CN103928479A

    公开(公告)日:2014-07-16

    申请号:CN201410013400.6

    申请日:2014-01-13

    CPC classification number: H01L27/14685 H01L27/14621 H01L27/14627

    Abstract: 本发明公开了固态成像设备及其制造方法。本发明提供了一种固态成像设备,其具有在各滤色器周围提供的中空部并且实现了对于各滤色器的剥离的阻止。该固态成像设备在半导体基板上设置有多个光接收部,该固态成像设备包含与多个光接收部中的每一个对应地布置的多个滤色器;以及在多个滤色器中的每一个周围形成的中空部,其中,滤色器中的每一个具有与相邻的一个或多个滤色器接触的一周边部分。

    光电转换设备和装置
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110137190B

    公开(公告)日:2024-04-23

    申请号:CN201910110245.2

    申请日:2019-02-11

    Abstract: 提供光电转换设备和装置。光电转换设备包括:半导体层,其具有正面和背面并且在所述正面与所述背面之间设置有多个光电转换部;配线结构,其配置于所述半导体层的所述正面侧;分离部,其配置在多个所述光电转换部之间并且由与所述背面连续的沟槽形成;第一遮光部,其以与所述分离部重叠的方式在所述背面侧配置在所述半导体层的上方;以及第二遮光部,其以隔着配置在多个所述光电转换部中的至少一个光电转换部上方的区域面向所述第一遮光部的方式在所述背面侧配置在所述半导体层的上方。

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