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公开(公告)号:CN118584651A
公开(公告)日:2024-09-03
申请号:CN202410211359.7
申请日:2024-02-27
申请人: 佳能株式会社
摘要: 本发明涉及一种光学装置、投影光学系统、曝光装置和物品制造方法。光学装置具备:第1凹面反射镜,具有第1反射面;第2凹面反射镜,与前述第1凹面反射镜分离地配置,所述第2凹面反射镜具有第2反射面;以及整流部,将沿着前述第2凹面反射镜的前述第2反射面流动的前述气流向前述第1凹面反射镜的前述第1反射面引导。
公开(公告)号:CN118584651A
公开(公告)日:2024-09-03
申请号:CN202410211359.7
申请日:2024-02-27
申请人: 佳能株式会社
摘要: 本发明涉及一种光学装置、投影光学系统、曝光装置和物品制造方法。光学装置具备:第1凹面反射镜,具有第1反射面;第2凹面反射镜,与前述第1凹面反射镜分离地配置,所述第2凹面反射镜具有第2反射面;以及整流部,将沿着前述第2凹面反射镜的前述第2反射面流动的前述气流向前述第1凹面反射镜的前述第1反射面引导。