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公开(公告)号：CN119427956A
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202410750182.8
申请日：2024-06-12
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明提供液体喷出装置及物品的制造方法。液体喷出装置具有：基板台，其保持基板；喷出部件，其向保持于所述基板台的基板喷出液体；第1腔室，其覆盖所述基板台和所述喷出部件；第2腔室，其覆盖所述第1腔室；以及控制部件，其控制所述第1腔室内的第1压力和所述第1腔室外且是所述第2腔室内的第2压力，所述控制部件控制为所述第2压力比所述第1压力高且所述第2压力比所述第2腔室外的压力高。
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