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公开(公告)号：CN104614934A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201410601425.8
申请日：2014-10-31
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 中野一志
Abstract: 本发明提供一种压印设备和制造物件的方法。所述压印设备用于执行利用模具在基底上模制压印材料以在基底上形成图案的压印处理，所述设备包括：供给装置，其配置成将渗透气体和可凝缩气体供给到在基底上的压印材料与模具之间的空间，所述渗透气体穿透模具、压印材料以及基底中的至少之一，并且所述可凝缩气体通过由于模制导致的压力上升而被液化；以及控制器，其配置成控制供给装置，以便基于与用于压印处理的配方相关的信息改变渗透气体的供给量和可凝缩气体的供给量中的至少之一。
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公开(公告)号：CN105892231B
公开(公告)日：2019-12-10
申请号：CN201610086176.2
申请日：2016-02-16
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明涉及光刻装置、光刻方法、程序、光刻系统和物品制造方法。该光刻装置具有被配置为分别在属于一个批次的多个基板上执行图案化的多个处理单元，以及控制器，该控制器被配置为基于指定该多个基板中的一个基板的特定信息来执行多个处理单元中的处理该多个基板中的该一个基板的一个处理单元的确定并控制该多个处理单元使得基于与批次对应的配方信息并行地使用多个处理单元分别在多个基板上执行图案化。
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公开(公告)号：CN105892231A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201610086176.2
申请日：2016-02-16
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明涉及光刻装置、光刻方法、程序、光刻系统和物品制造方法。该光刻装置具有被配置为分别在属于一个批次的多个基板上执行图案化的多个处理单元，以及控制器，该控制器被配置为基于指定该多个基板中的一个基板的特定信息来执行多个处理单元中的处理该多个基板中的该一个基板的一个处理单元的确定并控制该多个处理单元使得基于与批次对应的配方信息并行地使用多个处理单元分别在多个基板上执行图案化。
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公开(公告)号：CN105319861A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510293935.8
申请日：2015-06-02
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70741 , G03F7/0002 , G03F7/7035 , G03F7/70691 , G03F7/7075 , G03F7/70991
Abstract: 一种光刻装置包括原版传送路线、基板传送路线和多个图形形成设备，每个图形形成设备被构造用于使用原版在基板上进行图形形成。所述多个图形形成设备布置成两列。基板传送路线在所述两列之间并沿所述两列提供。原版传送路线提供在两列中的每列上，在两列原版传送路线之间并沿着两列原版传送路线布置两列图形形成设备。一种物品制造方法。
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公开(公告)号：CN110262187A
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201910570726.1
申请日：2014-10-31
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 中野一志
Abstract: 本发明提供一种压印设备和制造物件的方法。所述压印设备用于执行利用模具在基底上模制压印材料以在基底上形成图案的压印处理，所述设备包括：供给装置，其配置成将渗透气体和可凝缩气体供给到在基底上的压印材料与模具之间的空间，所述渗透气体穿透模具、压印材料以及基底中的至少之一，并且所述可凝缩气体通过由于模制导致的压力上升而被液化；以及控制器，其配置成控制供给装置，以便基于与用于压印处理的配方相关的信息改变渗透气体的供给量和可凝缩气体的供给量中的至少之一。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105319861B
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201510293935.8
申请日：2015-06-02
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70741 , G03F7/0002 , G03F7/7035 , G03F7/70691 , G03F7/7075 , G03F7/70991
Abstract: 一种光刻装置包括原版传送路线、基板传送路线和多个图形形成设备，每个图形形成设备被构造用于使用原版在基板上进行图形形成。所述多个图形形成设备布置成两列。基板传送路线在所述两列之间并沿所述两列提供。原版传送路线提供在两列中的每列上，在两列原版传送路线之间并沿着两列原版传送路线布置两列图形形成设备。一种物品制造方法。
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公开(公告)号：CN105706214A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201380080755.0
申请日：2013-11-06
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C33/3835 , B29C33/3842 , B29C43/021 , B29C2043/025 , B29C2059/023 , B29K2995/0027 , G05D21/02
Abstract: 在本发明中，在包含压缩气体的气氛中执行的压印处理中，图案以比现有技术高的准确度形成在基板上。提供有一种用于使用计算机来确定模具的图案的确定方法，这种模具被用在通过执行以下步骤而在压印材料上形成图案的压印处理中：在包含通过压缩而液化的压缩气体的气氛中，将基板上的压印材料和模具的图案压在一起的步骤；固化压印材料的步骤；以及使压印材料和模具分离的步骤。在按压步骤中，作为压印材料和模具之间的压缩气体液化的结果并且已渗入压印材料中的凝结液体在按压步骤完成之后与压印材料分离，并且引起压印材料的图案的收缩；计算该收缩的量；并且使用收缩量来确定模具图案的尺寸。
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公开(公告)号：CN119427956A
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202410750182.8
申请日：2024-06-12
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明提供液体喷出装置及物品的制造方法。液体喷出装置具有：基板台，其保持基板；喷出部件，其向保持于所述基板台的基板喷出液体；第1腔室，其覆盖所述基板台和所述喷出部件；第2腔室，其覆盖所述第1腔室；以及控制部件，其控制所述第1腔室内的第1压力和所述第1腔室外且是所述第2腔室内的第2压力，所述控制部件控制为所述第2压力比所述第1压力高且所述第2压力比所述第2腔室外的压力高。
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公开(公告)号：CN104614934B
公开(公告)日：2019-07-30
申请号：CN201410601425.8
申请日：2014-10-31
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 中野一志
Abstract: 本发明提供一种压印设备和制造物件的方法。所述压印设备用于执行利用模具在基底上模制压印材料以在基底上形成图案的压印处理，所述设备包括：供给装置，其配置成将渗透气体和可凝缩气体供给到在基底上的压印材料与模具之间的空间，所述渗透气体穿透模具、压印材料以及基底中的至少之一，并且所述可凝缩气体通过由于模制导致的压力上升而被液化；以及控制器，其配置成控制供给装置，以便基于与用于压印处理的配方相关的信息改变渗透气体的供给量和可凝缩气体的供给量中的至少之一。
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公开(公告)号：CN105706214B
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201380080755.0
申请日：2013-11-06
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027
Abstract: 在本发明中，在包含压缩气体的气氛中执行的压印处理中，图案以比现有技术高的准确度形成在基板上。提供有一种用于使用计算机来确定模具的图案的确定方法，这种模具被用在通过执行以下步骤而在压印材料上形成图案的压印处理中：在包含通过压缩而液化的压缩气体的气氛中，将基板上的压印材料和模具的图案压在一起的步骤；固化压印材料的步骤；以及使压印材料和模具分离的步骤。在按压步骤中，作为压印材料和模具之间的压缩气体液化的结果并且已渗入压印材料中的凝结液体在按压步骤完成之后与压印材料分离，并且引起压印材料的图案的收缩；计算该收缩的量；并且使用收缩量来确定模具图案的尺寸。
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