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公开(公告)号：CN111148615A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201880061840.5
申请日：2018-08-23
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 用于压印的方法、系统和控制器。将可成形材料的液滴施加到基材的压印区域。可成形材料的局部压力在流体-气体界面处形成。在初始接触时刻使模板上的台面的压印表面的一部分与液滴接触。液滴合并并且朝着压印边缘界面流动。在初始接触时刻之前第一气体流入压印区域。在初始接触时刻之后第二气体流入压印边缘界面和在模板与基材之间的区域。模板和第二气体的流动在与压印边缘界面处的流体-气体界面相邻的间隙区域的一部分中将可成形材料的局部压力减小到低于可成形材料的蒸气压力。
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