公开(公告)号：CN114097065A

公开(公告)日：2022-02-25

申请号：CN202080051174.4

申请日：2020-07-17

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： O·奥兹特克 ,  S·J·贝姆斯伯格 ,  斋藤真树 ,  A·阿加里 ,  S·C·沙克尔顿 ,  崔炳镇

IPC: H01L21/3105

Abstract: 提供了一种方法，所述方法包括在至少基板和覆板的堆叠的边缘上的部位处产生至少一个裂缝；沿着周边扩展所述裂缝；以及相对于所述基板移动所述覆板以完成所述覆板与所述基板的分离。

公开(公告)号：CN114127911A

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN202080051149.6

申请日：2020-07-17

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 崔炳镇 ,  S·J·贝姆斯伯格 ,  斋藤真树 ,  O·奥兹特克

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/683

Abstract: 一种方法，包括：用覆板卡盘保持覆板；施加压力以使覆板朝向基板偏转，覆板的偏转沿径向方向逐渐延伸；保持施加到覆板的周边的真空，并在通过压力使覆板偏转的同时用卡盘持续保持覆板；从覆板的周边解除真空；以及从卡盘释放覆板。

公开(公告)号：CN114127911B

公开(公告)日：2024-12-06

申请号：CN202080051149.6

申请日：2020-07-17

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 崔炳镇 ,  S·J·贝姆斯伯格 ,  斋藤真树 ,  O·奥兹特克

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/683

Abstract: 一种方法，包括：用覆板卡盘保持覆板；施加压力以使覆板朝向基板偏转，覆板的偏转沿径向方向逐渐延伸；保持施加到覆板的周边的真空，并在通过压力使覆板偏转的同时用卡盘持续保持覆板；从覆板的周边解除真空；以及从卡盘释放覆板。

公开(公告)号：CN111148615A

公开(公告)日：2020-05-12

申请号：CN201880061840.5

申请日：2018-08-23

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： M·N·帕特尔 ,  E·B·弗莱彻 ,  S·J·贝姆斯伯格 ,  A·阿加里

IPC: B29C43/58 ,  B29C59/02 ,  B82Y40/00

Abstract: 用于压印的方法、系统和控制器。将可成形材料的液滴施加到基材的压印区域。可成形材料的局部压力在流体-气体界面处形成。在初始接触时刻使模板上的台面的压印表面的一部分与液滴接触。液滴合并并且朝着压印边缘界面流动。在初始接触时刻之前第一气体流入压印区域。在初始接触时刻之后第二气体流入压印边缘界面和在模板与基材之间的区域。模板和第二气体的流动在与压印边缘界面处的流体-气体界面相邻的间隙区域的一部分中将可成形材料的局部压力减小到低于可成形材料的蒸气压力。