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公开(公告)号：CN101728478B
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN200910253126.9
申请日：2006-01-18
Applicant: 佳能株式会社 , 国立大学法人东京工业大学
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , H01L41/0478 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/313 , H01L41/316 , H01L41/319
Abstract: 本发明公开一种压电物质元件、液体排出头以及液体排出装置。所述压电物质元件具有压电物质膜和一对与所述压电物质膜连接的电极，其中所述压电物质膜的主要成分是Pb(Zr，Ti)O3，所述压电物质膜是具有四方晶体a畴和c畴的膜，并且在配置这些畴的[001]轴长度和[100]轴长度中，[001]轴长度/[100]轴长度之比等于或大于1.004并且等于或小于1.040。
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公开(公告)号：CN101107724B
公开(公告)日：2010-07-07
申请号：CN200680002605.8
申请日：2006-01-18
Applicant: 佳能株式会社 , 国立大学法人东京工业大学
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , H01L41/0478 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/313 , H01L41/316 , H01L41/319
Abstract: 一种压电物质元件，其在基板上具有压电物质膜和一对与所述压电物质膜连接的电极，并且所述压电物质膜的主要成分是Pb(Zr，Ti)O3，Zr/(Zr+Ti)的组成比例大于0.4但小于0.7，所述压电物质膜是至少具有四方晶体a畴和c畴的膜，所述a畴和c畴相对于所述基板表面的角度在±10°的范围内，并且c畴体积与a畴和c畴的总体积之比等于或大于20％并且等于或小于60％。
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公开(公告)号：CN101728478A
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200910253126.9
申请日：2006-01-18
Applicant: 佳能株式会社 , 国立大学法人东京工业大学
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , H01L41/0478 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/313 , H01L41/316 , H01L41/319
Abstract: 本发明公开一种压电物质元件、液体排出头以及液体排出装置。所述压电物质元件具有压电物质膜和一对与所述压电物质膜连接的电极，其中所述压电物质膜的主要成分是Pb(Zr，Ti)O3，所述压电物质膜是具有四方晶体a畴和c畴的膜，并且在配置这些畴的[001]轴长度和[100]轴长度中，[001]轴长度/[100]轴长度之比等于或大于1.004并且等于或小于1.040。
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公开(公告)号：CN101107724A
公开(公告)日：2008-01-16
申请号：CN200680002605.8
申请日：2006-01-18
Applicant: 佳能株式会社 , 国立大学法人东京工业大学
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , H01L41/0478 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/313 , H01L41/316 , H01L41/319
Abstract: 一种压电物质元件，其在基板上具有压电物质膜和一对与所述压电物质膜连接的电极，并且所述压电物质膜的主要成分是Pb(Zr，Ti)O3，Zr/(Zr+Ti)的组成比例大于0.4但小于0.7，所述压电物质膜是至少具有四方晶体a畴和c畴的膜，所述a畴和c畴相对于所述基板表面的角度在±10°的范围内，并且c畴体积与a畴和c畴的总体积之比等于或大于20％并且等于或小于60％。
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