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发明公开
有机膜形成用组合物、有机膜形成方法和图案形成方法审中-实审

公开(公告)号：CN118818898A

公开(公告)日：2024-10-22

申请号：CN202410472528.2

申请日：2024-04-19

申请人： 信越化学工业株式会社

发明人： 山本靖之 , 今多智大 , 郡大佑

IPC分类号： G03F7/004 , G03F7/16

摘要： 提供有机膜形成用组合物、有机膜形成方法和图案形成方法。[课题]提供基板(晶圆)上的成膜性(面内均匀性)和填埋特性优异且抑制了EBR工序时的隆起的有机膜形成用组合物、使用了该组合物的有机膜形成方法和图案形成方法。[解决手段]一种有机膜形成用组合物，其特征在于，其包含有机膜形成用树脂、聚合物和溶剂，所述聚合物包含下述通式(I)所示的结构单元，且包含下述通式(II)所示的结构单元和下述通式(III)所示的结构单元之中的至少一者，前述下述通式(I)所示的结构单元与下述通式(II)所示的结构单元和下述通式(III)所示的结构单元之中的至少一者形成无规共聚物，前述聚合物的氟含有率为5质量％～16质量％。#imgabs0#