粘贴装置以及粘贴方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112178021B

    公开(公告)日:2022-08-26

    申请号:CN202010574699.8

    申请日:2020-06-22

    IPC分类号: F16B11/00

    摘要: 提供一种可将粘贴构件粘贴到被配置多个粘贴位置的基板上,可缩短节拍时间并且显著提高生产率的粘贴装置。本发明的粘贴装置(20)包括:用于加热基板(3)的加热工作台(22);以及配置在基板(3)上方侧的机头单元(23)。机头单元(23)具有:胶带冲压机构(24);胶带传送机构(29),用于将胶带(2)送入胶带冲压机构(24);基板输送机构(30),用于将输送基板(3)送入模板(40)与加热工作台(22)之间;摄像装置(51),用于对定位标记9进行摄像并对粘贴位置(8)进行特定;冲头驱动机构(54),将模具(55)调整为与粘贴构件(1)粘贴时的姿态相匹配并移动至粘贴位置(8),通过冲头(44)从胶带(2)上冲压粘贴构件(1),从而将冲头44移动到能够将被冲压的粘贴构件(1)粘贴到基板(3)上的位置。

    离型膜剥离方法以及离型膜剥离装置

    公开(公告)号:CN109867159B

    公开(公告)日:2021-01-15

    申请号:CN201811431918.6

    申请日:2018-11-28

    发明人: 河东和彦

    IPC分类号: B65H41/00

    摘要: 本发明的目的在于提供一种离型膜剥离方法以及离型膜剥离装置,其能够在使覆盖层薄膜不产生翘曲、损伤的情况下,将离型膜从单片的叠层薄膜处剥离且去除。本发明的离型膜剥离方法以及离型膜剥离装置10,将叠层薄膜1的离型膜4侧吸附于叠层薄膜吸附台14,将叠层薄膜1向X(‑)方向移动的同时使用预剥离辊13使覆盖层薄膜2的端部从离型膜4处浮起从而形成预剥离留边部L后,将叠层薄膜1的覆盖层薄膜2侧吸附于吸附头16,通过将叠层薄膜吸附台14以及剥离辊30向X(+)方向移动来转动剥离辊30,从而将离型膜4从叠层薄膜1处卷绕的同时进行剥离,并且通过传送带33来传送且去除。

    粘贴装置以及粘贴方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112178021A

    公开(公告)日:2021-01-05

    申请号:CN202010574699.8

    申请日:2020-06-22

    IPC分类号: F16B11/00

    摘要: 提供一种可将粘贴构件粘贴到被配置多个粘贴位置的基板上,可缩短节拍时间并且显著提高生产率的粘贴装置。本发明的粘贴装置(20)包括:用于加热基板(3)的加热工作台(22);以及配置在基板(3)上方侧的机头单元(23)。机头单元(23)具有:胶带冲压机构(24);胶带传送机构(29),用于将胶带(2)送入胶带冲压机构(24);基板输送机构(30),用于将输送基板(3)送入模板(40)与加热工作台(22)之间;摄像装置(51),用于对定位标记9进行摄像并对粘贴位置(8)进行特定;冲头驱动机构(54),将模具(55)调整为与粘贴构件(1)粘贴时的姿态相匹配并移动至粘贴位置(8),通过冲头(44)从胶带(2)上冲压粘贴构件(1),从而将冲头44移动到能够将被冲压的粘贴构件(1)粘贴到基板(3)上的位置。

    薄膜构件粘贴装置以及薄膜构件粘贴方法

    公开(公告)号:CN111433145A

    公开(公告)日:2020-07-17

    申请号:CN201880078125.2

    申请日:2018-11-14

    IPC分类号: B65H41/00 B65H37/04

    摘要: 本发明的薄膜构件粘贴装置(1)包括:用于放置被粘贴构件工作台100;薄膜构件供应机构部200;以及具有薄膜构件提示控制功能以及粘贴控制功能的控制装置300,其中,薄膜构件供应机构部200具有用于使被剥离部210折返的离型膜40行进的离型膜行进机构部220;离型膜行进机构部220具有在进行薄膜构件(偏光膜)30的粘贴作业时,使薄膜构件30的粘贴作业与离型膜40的剥离能动同步地进行的粘贴/剥离同步机构部221。在将被粘贴在薄膜构件上的可剥离的离型膜在剥离部折返后一边剥离一边将薄膜构件粘贴到被粘贴构件时,通过减少施加在离型膜上的张力,就能够抑制离型膜的破损。

    加强板贴附装置
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109287111B

    公开(公告)日:2020-07-17

    申请号:CN201810745672.3

    申请日:2018-07-09

    IPC分类号: H05K13/04 H05K13/08

    摘要: 【发明目的】提供一种生产效率高的加强板贴附装置。【解决手段】本发明的加强板贴附装置包括:贴附头20,设置有加强板捕捉手段22,通过上下移动来将进行加强板的提取以及压接,并且通过在θ方向上转动来改变加强板的姿势;转动体30,配置有按一周三等分分割后的等角度间隔的多个贴附头,并间歇性地转动;加强板提供装置40,配置在第一引索位置上;加强板图像处理装置50,获取第二引索位置的图像并进行图像处理,从而计算出与该加强板的位置以及姿势有关的信息;以及被贴附构件保持装置60,具有被配置在第三引索位置上的第一xy台62。其中,进一步包括:第二xy台64,具有与第一xy台62同等的构成;以及xy台配置切换单元66,在第三引索位置与被贴附构件更换位置之间对第一xy台62以及第二xy台64的配置进行切换。

    冲压装置
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108856445B

    公开(公告)日:2019-12-24

    申请号:CN201810457530.7

    申请日:2018-05-14

    摘要: 提供一种冲压装置,能够在不损伤产品表面的情况下,连续地形成无变形的期望形状的产品。本发明的冲压装置1,从单片工件W上依次进行产品冲压,其特征在于,包括:模组12、12A,具有下模48、以及可相对于下模48升降的上模50;冲压单元11,在安装有模组12、12A的同时,具有使上模50升降的上模升降装置21,并且可相对于上模50的下降朝反方向上升;作为工件保持装置的第一夹持器13、第二夹持器14,将工件W保持在基准高度位置并输送至规定平面位置;以及顶推装置24,在对工件W进行冲压时,在上模50与工件W的上基准面K抵接的时间点上与上模50的下降相同步地使冲压单元11上升。

    双面光刻装置以及双面光刻装置中掩膜与工件的对准方法

    公开(公告)号:CN107436538B

    公开(公告)日:2019-03-12

    申请号:CN201611040713.6

    申请日:2016-11-24

    IPC分类号: G03F7/20 G03F9/00

    摘要: 能够在不移动和不转动工件的情况下,将第一掩膜与第二掩膜、第一掩膜以及第二掩膜与工件进行对准。【解决手段】具有使第一掩膜M1可沿xy平面移动的同时沿xy平面转动的第一掩膜台100;以及使第二掩膜M2可沿xy平面移动的同时沿xy平面转动的第二掩膜台200,其中,第二掩膜台200能够在第一掩膜台100上除第一掩膜台100之外沿xy平面移动的同时沿xy平面转动,并且,当第一掩膜台100沿xy平面移动和转动时,随第一掩膜台100一同沿xy平面移动和转。

    平板状部件吸附装置
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105472958B

    公开(公告)日:2018-05-22

    申请号:CN201510617417.7

    申请日:2015-09-24

    IPC分类号: H05K13/02 B23Q3/06

    摘要: 本发明提供一种不使得平板状部件吸附装置整体的结构变得庞大,便能通过简单的操作来形成与平板状部件的尺寸相对应的吸附区域的平板状部件吸附装置。本发明的平板状部件吸附装置具有与基底板210层叠,且可被设在基准位置和滑动位置上的部件对面板220,在基底板210上设有基底板侧吸附孔211,在部件对面板220上设有部件对面板侧吸附孔221,部件对面板侧吸附孔221由基准吸附孔221a和设在基准吸附孔之间的追加吸附孔221b、追加吸附孔221c构成,当把部件对面板220设在基准位置时基准吸附孔221a与基底板侧吸附孔211对向从而形成基准吸附区域,当设在滑动位置时,例如,追加吸附孔221b与基底板侧吸附孔211对向从而形成具有与基准吸附区域不同大小的特定吸附区域。

    曝光装置
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104395833B

    公开(公告)日:2016-07-06

    申请号:CN201480001256.2

    申请日:2014-05-12

    IPC分类号: G03F7/20 H01L21/027 H05K3/00

    摘要: 本发明提供一种曝光装置,其具备:基板保持载物台(110),可保持基板(W)并往复移动及升降;曝光载物台(320),保持掩模板(310),使图案面(M2)与基板(W)的感光面(M1)相面对;掩模除尘部(120),与基板保持载物台(110)一起前进,通过推压掩模板(310)的图案面(M2)的方向的力(第1方向的力)而与图案面(M2)的表面接触,一边旋转一边除尘;及基板除尘部(210),通过基板保持载物台(110)前进,而利用推压基板(W)的感光面(M1)的方向的力(第2方向的力)与基板(W)的感光面(M1)接触,一边旋转一边除尘。根据本发明的曝光装置,能够简化用于对基板的感光面及掩模的表面进行除尘的机构整体,并且能够使大量的基板高速曝光。