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公开(公告)号：CN113826047A
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN202080036482.X
申请日：2020-10-08
申请人： 倍科有限公司
摘要： 本发明的曝光装置1将曝光对象区域14分割为第一曝光对象区域14A和第二曝光对象区域14B，利用与第一曝光对象区域14A对应的第一光掩模11A和与第二曝光对象区域14B对应的第二光掩模11B将掩模图案17A、17B转印到基板10上。曝光装置1具有：串联连接的第一工作台25和第二工作台26，并且具有：将对准基板10与光掩模11A、11B之间的相对位置的进行对准的对准机构28；以及将从光源45射出的光作为曝光光线50在第一光掩模11A与第二光掩模11B之间进行切换的曝光光线照射机构30A、30B。根据本发明的曝光装置1，能够降低光掩模的成本，并且能够将掩模图案高精度地转印到大尺寸的基板上。
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公开(公告)号：CN105392723A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201380077941.9
申请日：2013-10-15
申请人： 倍科有限公司
IPC分类号： B65H41/00
CPC分类号： B65H41/00 , B32B43/006 , B65H29/241 , B65H29/54 , B65H2406/334
摘要： 关于本发明的薄膜剥离装置，具有在将薄膜WC从基材Wm上剥离时实行用于使剥离简单化的预剥离的预剥离机构部700，该预剥离机构部700在使预剥离辊710与薄膜Wc表面的一方侧端部相接触的状态下，使薄膜Wc或者预剥离辊710中的至少一方运行使得预剥离辊710回转，从而在将薄膜Wc从基材Wm上剥离的同时实行将其卷绕到卷绕结束位置的第一工序；第一工序后在使预剥离辊710与薄膜Wc的表面相接触的状态下，通过使薄膜Wc或者预剥离辊710中的至少一方朝反方向运行，从而实行将被预剥离辊710卷绕的薄膜再次粘贴到基材Wm上的第二工序。通过本发明的薄膜剥离装置，相比于以往的薄膜剥离装置可以用更小的力度切实地将薄膜从衬纸上剥离。
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公开(公告)号：CN105073354A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201380075077.9
申请日：2013-10-08
申请人： 倍科有限公司
摘要： 本发明的穿孔装置100是一种对以卷对卷方式输送的片状被加工物W进行穿孔的穿孔装置，包括：片状被加工物输送机构110，输送片状被加工物W；第一穿孔机构130，具有复数个的冲头138以预定样式排列的第一穿孔模具131，在使得所述第一穿孔模具131移动到第一穿孔区域内的任意位置后，对所述片状被加工物W一次性地穿复数个的孔；以及所述第二穿孔机构160，具有配设了一个冲头168的第二穿孔模具161，在使得所述第二穿孔模具161移动到第二穿孔区域内的任意位置后，对所述片状被加工物W一个孔一个孔地穿孔。根据本发明的穿孔装置100c，是一种能够进一步提高生产率，并且，能够在片状被加工物的任意位置上进行穿孔的穿孔装置。
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公开(公告)号：CN108856445B
公开(公告)日：2019-12-24
申请号：CN201810457530.7
申请日：2018-05-14
申请人： 倍科有限公司
摘要： 提供一种冲压装置，能够在不损伤产品表面的情况下，连续地形成无变形的期望形状的产品。本发明的冲压装置1，从单片工件W上依次进行产品冲压，其特征在于，包括：模组12、12A,具有下模48、以及可相对于下模48升降的上模50；冲压单元11，在安装有模组12、12A的同时，具有使上模50升降的上模升降装置21，并且可相对于上模50的下降朝反方向上升；作为工件保持装置的第一夹持器13、第二夹持器14，将工件W保持在基准高度位置并输送至规定平面位置；以及顶推装置24，在对工件W进行冲压时，在上模50与工件W的上基准面K抵接的时间点上与上模50的下降相同步地使冲压单元11上升。
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公开(公告)号：CN105472958B
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201510617417.7
申请日：2015-09-24
申请人： 倍科有限公司
摘要： 本发明提供一种不使得平板状部件吸附装置整体的结构变得庞大，便能通过简单的操作来形成与平板状部件的尺寸相对应的吸附区域的平板状部件吸附装置。本发明的平板状部件吸附装置具有与基底板210层叠，且可被设在基准位置和滑动位置上的部件对面板220，在基底板210上设有基底板侧吸附孔211，在部件对面板220上设有部件对面板侧吸附孔221，部件对面板侧吸附孔221由基准吸附孔221a和设在基准吸附孔之间的追加吸附孔221b、追加吸附孔221c构成，当把部件对面板220设在基准位置时基准吸附孔221a与基底板侧吸附孔211对向从而形成基准吸附区域，当设在滑动位置时，例如，追加吸附孔221b与基底板侧吸附孔211对向从而形成具有与基准吸附区域不同大小的特定吸附区域。
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公开(公告)号：CN104395833B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201480001256.2
申请日：2014-05-12
申请人： 倍科有限公司
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027 , H05K3/00
CPC分类号： G03F7/70925 , H05K3/064 , H05K2203/0514
摘要： 本发明提供一种曝光装置，其具备：基板保持载物台(110)，可保持基板(W)并往复移动及升降；曝光载物台(320)，保持掩模板(310)，使图案面(M2)与基板(W)的感光面(M1)相面对；掩模除尘部(120)，与基板保持载物台(110)一起前进，通过推压掩模板(310)的图案面(M2)的方向的力(第1方向的力)而与图案面(M2)的表面接触，一边旋转一边除尘；及基板除尘部(210)，通过基板保持载物台(110)前进，而利用推压基板(W)的感光面(M1)的方向的力(第2方向的力)与基板(W)的感光面(M1)接触，一边旋转一边除尘。根据本发明的曝光装置，能够简化用于对基板的感光面及掩模的表面进行除尘的机构整体，并且能够使大量的基板高速曝光。
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公开(公告)号：CN105392723B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201380077941.9
申请日：2013-10-15
申请人： 倍科有限公司
IPC分类号： B65H41/00
CPC分类号： B65H41/00 , B32B43/006 , B65H29/241 , B65H29/54 , B65H2406/334
摘要： 关于本发明的薄膜剥离装置，具有在将薄膜WC从基材Wm上剥离时实行用于使剥离简单化的预剥离的预剥离机构部700，该预剥离机构部700在使预剥离辊710与薄膜Wc表面的一方侧端部相接触的状态下，使薄膜Wc或者预剥离辊710中的至少一方运行使得预剥离辊710回转，从而在将薄膜Wc从基材Wm上剥离的同时实行将其卷绕到卷绕结束位置的第一工序；第一工序后在使预剥离辊710与薄膜Wc的表面相接触的状态下，通过使薄膜Wc或者预剥离辊710中的至少一方朝反方向运行，从而实行将被预剥离辊710卷绕的薄膜再次粘贴到基材Wm上的第二工序。通过本发明的薄膜剥离装置，相比于以往的薄膜剥离装置可以用更小的力度切实地将薄膜从衬纸上剥离。
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公开(公告)号：CN105472958A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201510617417.7
申请日：2015-09-24
申请人： 倍科有限公司
摘要： 本发明提供一种不使得平板状部件吸附装置整体的结构变得庞大，便能通过简单的操作来形成与平板状部件的尺寸相对应的吸附区域的平板状部件吸附装置。本发明的平板状部件吸附装置具有与基底板210层叠，且可被设在基准位置和滑动位置上的部件对面板220，在基底板210上设有基底板侧吸附孔211，在部件对面板220上设有部件对面板侧吸附孔221，部件对面板侧吸附孔221由基准吸附孔221a和设在基准吸附孔之间的追加吸附孔221b、追加吸附孔221c构成，当把部件对面板220设在基准位置时基准吸附孔221a与基底板侧吸附孔211对向从而形成基准吸附区域，当设在滑动位置时，例如，追加吸附孔221b与基底板侧吸附孔211对向从而形成具有与基准吸附区域不同大小的特定吸附区域。
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公开(公告)号：CN105003504A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201510198693.4
申请日：2015-04-23
申请人： 倍科有限公司
IPC分类号： F16B11/00
CPC分类号： F16B11/006
摘要： 本发明提供一种构件粘贴装置，能够通过以短时间使粘接剂层可以熔化或软化而可使粘贴动作高速化，同时能够尽可能避免对作为应该加热的范围的局部范围以外进行加热。具体而言，其为负压吸引粘贴构件20，并通过加热粘接剂层21将该负压吸引的粘贴构件20粘贴于被粘贴构件10的规定位置的构件粘贴装置1，其具备：吸引头100，在顶端部111上具有吸引孔，同时在内部具有与吸引孔连通的空气吸引通路，且通过吸引孔负压吸引粘贴构件20；及激光输出头300，以加热粘接剂层21的方式在被吸引于吸引头100的粘贴构件20上照射激光，激光输出头300以从该激光输出头300输出的激光通过空气吸引通路的方式被设置。
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公开(公告)号：CN104395833A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201480001256.2
申请日：2014-05-12
申请人： 倍科有限公司
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027 , H05K3/00
CPC分类号： G03F7/70925 , H05K3/064 , H05K2203/0514
摘要： 本发明提供一种曝光装置，其具备：基板保持载物台(110)，可保持基板(W)并往复移动及升降；曝光载物台(320)，保持掩模板(310)，使图案面(M2)与基板(W)的感光面(M1)相面对；掩模除尘部(120)，与基板保持载物台(110)一起前进，通过推压掩模板(310)的图案面(M2)的方向的力(第1方向的力)而与图案面(M2)的表面接触，一边旋转一边除尘；及基板除尘部(210)，通过基板保持载物台(110)前进，而利用推压基板(W)的感光面(M1)的方向的力(第2方向的力)与基板(W)的感光面(M1)接触，一边旋转一边除尘。根据本发明的曝光装置，能够简化用于对基板的感光面及掩模的表面进行除尘的机构整体，并且能够使大量的基板高速曝光。
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