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公开(公告)号：CN115948718A
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202211631294.9
申请日：2022-12-15
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要： 本发明属于溅射靶材技术领域，具体涉及一种高纯镁溅射靶材及其制备方法。本发明高纯镁溅射靶材的制备方法包括如下步骤：将镁板进行均匀化热处理后，于冷轧机上进行轧制，控制轧制工艺直至镁板总轧制变形量达到50％～60％；随后于200～300℃热处理1～3h，经冷却制得高纯镁溅射靶材。本发明将经均匀化热处理后的镁板无需冷却至室温而直接入冷轧机进行冷轧，并控制轧制工艺参数，将轧制后的靶坯在适宜的温度下保温处理后冷却制得镁靶，本发明方法有助于细化晶粒尺寸，提高组织均匀性，并有效避免镁靶组织出现边裂、裂痕等缺陷。
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公开(公告)号：CN115992342B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202211631292.X
申请日：2022-12-15
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要： 本发明属于溅射靶材技术领域，具体涉及一种高纯银溅射靶材及其制备方法，本发明通过将银锭于500℃～900℃均匀化热处理后进行锻造，将锻造后的银锭于300℃～400℃退火冷却至室温，再进行冷轧，将冷轧后的靶坯经热处理后冷却制得高纯银溅射靶材，本发明通过控制制备方法中的热处理温度、退火温度及冷轧工艺参数如道次变形量和总变形量，有效细化了高纯银溅射靶材的晶粒尺寸，使得平均晶粒尺寸＜15μm，低至8μm，且组织均匀，内部无缺陷。
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公开(公告)号：CN112760511A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN202011574318.2
申请日：2020-12-24
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要： 本发明提供一种钛镍钯合金的制备方法，所述方法包括以下步骤：将钛粉、镍粉、钯粉混匀后进行热压；所述热压包括以下条件，热压的真空度为‑0.1～1Pa，热压的压力为30～50Mpa，热压的温度为700℃～950℃；所述钛粉的粒径为40μm～150μm，所述镍粉的粒径为40μm～150μm，所述钯粉的粒径为：40μm～150μm。本发明的钛镍钯合金的制备方法采用将钛粉、镍粉、钯粉混匀后进行热压的方法，克服了钛镍钯合金铸锭制备的钛镍钯合金内部缺陷高，良品率低的问题，显著的减少了钛镍钯合金的内部缺陷，提高了良品率。
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公开(公告)号：CN112760511B
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202011574318.2
申请日：2020-12-24
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要： 本发明提供一种钛镍钯合金的制备方法，所述方法包括以下步骤：将钛粉、镍粉、钯粉混匀后进行热压；所述热压包括以下条件，热压的真空度为‑0.1～1Pa，热压的压力为30～50Mpa，热压的温度为700℃～950℃；所述钛粉的粒径为40μm～150μm，所述镍粉的粒径为40μm～150μm，所述钯粉的粒径为：40μm～150μm。本发明的钛镍钯合金的制备方法采用将钛粉、镍粉、钯粉混匀后进行热压的方法，克服了钛镍钯合金铸锭制备的钛镍钯合金内部缺陷高，良品率低的问题，显著的减少了钛镍钯合金的内部缺陷，提高了良品率。
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公开(公告)号：CN115948718B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202211631294.9
申请日：2022-12-15
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要： 本发明属于溅射靶材技术领域，具体涉及一种高纯镁溅射靶材及其制备方法。本发明高纯镁溅射靶材的制备方法包括如下步骤：将镁板进行均匀化热处理后，于冷轧机上进行轧制，控制轧制工艺直至镁板总轧制变形量达到50％～60％；随后于200～300℃热处理1～3h，经冷却制得高纯镁溅射靶材。本发明将经均匀化热处理后的镁板无需冷却至室温而直接入冷轧机进行冷轧，并控制轧制工艺参数，将轧制后的靶坯在适宜的温度下保温处理后冷却制得镁靶，本发明方法有助于细化晶粒尺寸，提高组织均匀性，并有效避免镁靶组织出现边裂、裂痕等缺陷。
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公开(公告)号：CN115287497A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202210909568.X
申请日：2022-07-29
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要： 本发明公开了一种锡银铜靶材及其制备方法，该靶材的制备方法包括以下步骤：将锡、银、铜三种单质金属放入坩埚内，再放入加热炉内加热熔炼，待锡融化后每隔一段时间搅拌一次，搅拌完成后浇铸在石墨模具中形成铸锭；再对铸锭进行空气锤冷锻和热轧后，得到锡银铜靶材。所得到的锡银铜靶材组分均匀，晶粒的粒径小于150μm，靶材溅射速度快，成膜质量好，适用于电子封装。
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公开(公告)号：CN117051278A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202311187596.6
申请日：2023-09-14
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要： 本申请涉及靶材生产技术领域，公开了一种铝铜钪合金靶材的制备方法，该方法先将铝源、铜源、钪源真空熔炼，随后浇铸、冷却，得到熔铸铸锭；再对熔铸铸锭顶端缩孔测深、切割、锻打，得到靶坯；随后对靶坯热轧，得到热轧后的靶坯；最后对热轧后的靶坯打磨、切割、并与无氧铜背板绑定，得到铝铜钪合金靶材，该方法通过对浇铸温度、锻打形状的优化，有效地降低了靶坯的内部缩孔情况，进而提升了靶材的表面质量，此外本申请还公开了一种铝铜钪合金靶材。
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公开(公告)号：CN115287497B
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202210909568.X
申请日：2022-07-29
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要： 本发明公开了一种锡银铜靶材及其制备方法，该靶材的制备方法包括以下步骤：将锡、银、铜三种单质金属放入坩埚内，再放入加热炉内加热熔炼，待锡融化后每隔一段时间搅拌一次，搅拌完成后浇铸在石墨模具中形成铸锭；再对铸锭进行空气锤冷锻和热轧后，得到锡银铜靶材。所得到的锡银铜靶材组分均匀，晶粒的粒径小于150μm，靶材溅射速度快，成膜质量好，适用于电子封装。
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公开(公告)号：CN115992342A
公开(公告)日：2023-04-21
申请号：CN202211631292.X
申请日：2022-12-15
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要： 本发明属于溅射靶材技术领域，具体涉及一种高纯银溅射靶材及其制备方法，本发明通过将银锭于500℃～900℃均匀化热处理后进行锻造，将锻造后的银锭于300℃～400℃退火冷却至室温，再进行冷轧，将冷轧后的靶坯经热处理后冷却制得高纯银溅射靶材，本发明通过控制制备方法中的热处理温度、退火温度及冷轧工艺参数如道次变形量和总变形量，有效细化了高纯银溅射靶材的晶粒尺寸，使得平均晶粒尺寸＜15μm，低至8μm，且组织均匀，内部无缺陷。
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公开(公告)号：CN113088898A
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202110262375.5
申请日：2021-03-10
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
IPC分类号： C23C14/34
摘要： 本发明公开了一种低熔点靶材的绑定方法，包括以下步骤：(1)待绑定的靶胚与背板进行预处理；(2)在所述预处理后的背板的绑定面上形成石墨导电胶层，并在绑定面的绑定区域边缘布设铜丝或在绑定区域布设铜网；(3)将预处理后的靶胚叠放在步骤(2)所得背板的绑定面上并定位；(4)对靶胚表面设置施压物进行施压；(5)在保持施压的条件下使石墨导电胶层固化，即得绑定后的靶材。本发明采用石墨导电胶作为绑定物质，有效地解决了铋与铟反应的问题，且绑定牢固，焊合率符合行业标准。并且相比用铟绑定靶材，石墨导电胶的成本低于铟60％，且在制备过程中，相对铟的使用温度降低了30％，降低了功耗，节省了时间，提高了效率。
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