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公开(公告)号：CN114029740B
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202111539446.8
申请日：2021-12-15
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要： 本发明属于溅射靶材制备技术领域，具体涉及一种异型材料的焊接方法，包括如下步骤：S1：于背板表面开出与靶坯相匹配的凹坑，将靶坯置于背板上的凹坑内；S2：将背板加热后，将靶坯置于背板的凹坑中进行轧制；S3：控制第一道次的轧制压力和形变量；S4：将背板与靶坯相对于第一道次旋转90°进行第二道次轧制，控制第二道次的轧制压力和形变量；S5：将背板和靶坯按照同一方向旋转，每旋转相同角度进行一次轧制，控制每道次的轧制压力、形变量以及轧制次数，使背板和靶坯形成界面连接，实现异型材料的焊接，制得靶材。本发明焊接方法不仅获得的靶材绑定率高、晶粒小，且焊接效率高、成本低。
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公开(公告)号：CN117655450A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202311730883.7
申请日：2023-12-15
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要： 本发明公开了一种低熔点靶材的键合方法，属于靶材加工技术领域。该方法专门针对于熔点低于450℃的低熔点靶材，在依旧采用常规焊料In的前提下将靶坯绑定至背板上，随后通过共晶合金温度加热及加压工艺实现键合，靶材与背板的键合绑定率＞95％，并且单点不良面积＜1％。
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公开(公告)号：CN117300743A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202311328040.4
申请日：2023-10-13
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要： 本发明公开了一种平面靶材及其制备方法，属于靶材制备技术领域；本发明提供的靶材的加工方法包括以下步骤：将靶坯粘接到表面涂抹有石蜡的石墨板上，接着固定于磨床上进行双面磨削，得平面靶材。本发明提供的一种平面靶材的加工方法中通过引入石蜡以及石墨板作为底板，并且采用双面磨削的方式，从而能够解决现有磁性靶材平整度不足的问题，制备得到的带有磁性的溅射靶材的表面平整度在0.03mm以下，且本发明提供的制备方法加工效率高、成本低、操作简单。
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公开(公告)号：CN116765404A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202310691432.0
申请日：2023-06-12
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要： 本发明涉及蒸发料生产技术领域，公开了一种铝蒸发料的制备方法，包括以下步骤，将铝锭连铸为直径8mm的铝棒；对铝棒进行退火处理；将退火处理后的铝棒一端轧尖；将轧尖后的铝棒在拉丝机上进行拉拔，且拉拔的单道次变量为20～30％，重复拉拔2～10次，且拉拔总变量低于98％，得到铝丝；将铝丝切断，得到铝颗粒；将铝颗粒清洗、干燥，得到铝蒸发料；通过上述方法，不仅制得了表面质量良好的铝蒸发料，同时，我们惊喜地发现，并非单道次变形量越小，拉拔道次越多，铝蒸发料的表面质量越好。
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公开(公告)号：CN114657423B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202210256265.2
申请日：2022-03-15
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要： 本发明提供了一种CdSn合金靶材及其制备方法，涉及靶材制备技术领域。本发明提供的CdSn合金靶材，包括如下重量份数的组分：Cd 60‑70份和Sn30‑40份，其中，Cd和Sn的纯度≥4N。本发明提供的CdSn合金靶材中Cd及Sn组分分布均匀，靶材微观组织均匀，内部无孔洞裂纹缺陷，致密度达到99％以上，并且靶材与背管绑定率大于95％；该靶材在氩气和氧气气氛下，通过一定溅射及热处理工艺，可以制备锡酸镉薄膜。
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公开(公告)号：CN114934261A
公开(公告)日：2022-08-23
申请号：CN202210453122.0
申请日：2022-04-27
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要： 本发明属于靶材制造技术领域，具体公开了高纯铁靶、铁镍合金靶及其制造方法。铁靶坯的制造方法包括以下步骤：在坩埚中加入铁；将加入铁的坩埚在真空感应炉中熔炼，得到熔液；熔液经浇铸后得到铸锭；铸锭经压力加工、热处理后，制成靶坯。铁合金靶坯的制造方法包括以下步骤：在坩埚中加入原料，各原料根据密度或熔点从低到高依次从坩埚的底部向坩埚的上部分布；将加入原料的坩埚在真空感应炉中熔炼，得到熔液；熔液经浇铸后得到铸锭；铸锭经压力加工、热处理后，制成靶坯。本发明得到的靶坯内部无孔洞，外部无裂纹，组织均匀，纯度高。本发明提供的靶材制造方法工艺简单、周期短、能耗可控，易于工业化应用。
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公开(公告)号：CN114878568A
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202210436093.7
申请日：2022-04-22
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要： 本发明涉及一种AlNd合金的金相显示方法，属于金相检测分析技术领域。该方法包括以下步骤：形成第一磨光面；通过抛光剂对所述第一磨光面进行机械抛光，形成第二抛光面；以不锈钢为阴极，第二抛光面为阳极置于氟硼酸水溶液中进行阳极覆膜，形成显示面；其中氟硼酸水溶液由5.5g硼酸、15ml浓度49％的氢氟酸、480ml纯水组成。本发明阳极覆膜过程是在氟硼酸水溶液进行，在AlNd合金的表面覆盖一层各异性的氧化薄膜，该氧化膜具有厚度差，该氧化膜在偏光照明下，不同位相的晶粒有明显的色差，因此可以获得清晰的AlNd金相组织。
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公开(公告)号：CN112760511B
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202011574318.2
申请日：2020-12-24
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要： 本发明提供一种钛镍钯合金的制备方法，所述方法包括以下步骤：将钛粉、镍粉、钯粉混匀后进行热压；所述热压包括以下条件，热压的真空度为‑0.1～1Pa，热压的压力为30～50Mpa，热压的温度为700℃～950℃；所述钛粉的粒径为40μm～150μm，所述镍粉的粒径为40μm～150μm，所述钯粉的粒径为：40μm～150μm。本发明的钛镍钯合金的制备方法采用将钛粉、镍粉、钯粉混匀后进行热压的方法，克服了钛镍钯合金铸锭制备的钛镍钯合金内部缺陷高，良品率低的问题，显著的减少了钛镍钯合金的内部缺陷，提高了良品率。
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公开(公告)号：CN113281335A
公开(公告)日：2021-08-20
申请号：CN202110533175.9
申请日：2021-05-17
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要： 本发明公开了一种金属铟的金相显示方法，包括如下步骤：用水切割方式对金属铟进行取样；然后依次用1000#、1500#和2000#的水性砂纸对样品的待观察面进行粗磨；然后依次用3000#和5000#的水性砂纸进行精磨；打磨过程避免在垂直方向上施力，同时使用冷却液冷却；然后用抛光剂抛光；然后将所述待观察面浸入腐蚀剂中，并与液面保持平行，以及避免与容器的底部接触，腐蚀完毕后，洗除样品表面的腐蚀剂残液，晾干；(6)观察金相：用扫描电镜观察所述待观察面，得到金相组织图像。本发明通过对取样、打磨、抛光和化学腐蚀工艺、以及金相观察设备进行优化改进，使铟的金相得以成功显示，解决了现有技术存在的铟塑性变形严重、以及金相显示效果不理想的问题。
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公开(公告)号：CN113275684A
公开(公告)日：2021-08-20
申请号：CN202110493339.X
申请日：2021-05-07
申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要： 本发明公开了一种基于钎焊方式的靶材绑定方法，包括如下步骤：(1)对靶材和背板的绑定面进行机加工，使绑定面的平面度≤0.1μm、以及粗糙度≤Ra 2μm；(2)对靶材和背板进行酸洗，酸洗后绑定面的粗糙度为Ra 2.8～3.2μm；(3)使用PVD磁控溅射方式在靶材和背板的绑定面上进行镀银处理；(4)使用熔融的SnAg合金对靶材和背板的绑定面进行浸润涂布；(5)将靶材和背板放入真空钎焊炉内，在靶材和背板的绑定面之间夹置SnCu合金箔片，然后在靶材上放置重物以施加压力，炉内抽真空至真空度≤6×10e‑3，加热至170～185℃后，保温至绑定完成。本发明钎焊所用原料的总成本为300元/kg，降低了靶材绑定的成本，焊接层的焊接强度高达15～18MPa，耐温200℃以上，提高了靶材绑定的强度和稳定性。
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