公开(公告)号：CN102576045A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201080030311.2

申请日：2010-06-23

申请人： 克拉-坦科股份有限公司

发明人： P·休伊特 ,  B·达菲 ,  M·费利豪尔 ,  T·托特泽赫 ,  C·马赫

IPC分类号： G01R31/26

CPC分类号： G01R31/2656 ,  G01R31/2894 ,  G05B19/41875 ,  G05B2219/37224 ,  H01L22/12 ,  H01L22/20 ,  H01L2924/0002 ,  Y02P90/22 ,  H01L2924/00

摘要： 公开了监视时变的分类性能的系统和方法。一种方法可包括但不限定于：从一个或更多个扫描检验工具接收指示一个或更多个样本的一种或更多种属性的一个或更多个信号；根据对从这一个或更多个扫描检验工具收到的一个或更多个信号应用一种或更多种分类规则来确定这一个或更多个样本的一种或更多种缺陷类型的种群；使用一个或更多个高分辨率的检验工具来确定这一个或更多个样本的这一种或更多种缺陷类型的种群；以及计算从应用到接收自这一个或更多个扫描检验工具的一个或更多个信号的一种或更多种分类规则的应用确定的一个或更多个样本的一种或更多种缺陷类型的种群与使用这一个或更多个高分辨率的检验工具确定的这一个或更多个样本的这一种或更多种缺陷类型的种群之间的一个或更多个相关性。